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1. 发明申请

WO2017142705A1 GAS OPTIMIZATION IN A GAS DISCHARGE LIGHT SOURCE 审中-公开
标题翻译：气体放散光源的气体优化
公开(公告)号：WO2017142705A1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：PCT/US2017/015889
申请日：2017-01-31
申请人： CYMER, LLC
发明人： AGGARWAL, Tanuj
IPC分类号： H01S3/11 , H01S3/23 , H01S3/036 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/134 , H01S3/036 , H01S3/0385 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/104 , H01S3/1305 , H01S3/225 , H01S3/2308 , H01S3/2366
摘要： One or more operating characteristics of a light source are adjusted by estimating a plurality of extreme values of operating parameters of the light source while operating the light source under a set of extreme test conditions. For each extreme test condition, a group of pulses of energy is supplied to a first gas discharge chamber of the light source while operating the first gas discharge chamber under the extreme test condition to produce a first pulsed amplified light beam; a group of pulses of energy is supplied to a second gas discharge chamber of the light source while operating the second «as discharge chamber under the extreme test condition to produce a second pulsed amplified light beam. An extreme value of an operating parameter for the extreme test condition is measured to thereby estimate the extreme value of the operating parameter.
摘要翻译：通过在一组极端测试条件下操作光源的同时估计光源的操作参数的多个极值来调整光源的一个或多个操作特性。对于每种极端测试条件，在极端测试条件下操作第一气体放电室的同时，将一组能量脉冲提供给光源的第一气体放电室，以产生第一脉冲放大光束; 一组能量脉冲被提供给光源的第二气体放电室，同时在极端测试条件下操作第二放电室作为放电室以产生第二脉冲放大光束。测量极端测试条件的运行参数的极值，从而估计运行参数的极值。

2. 发明申请

WO2016016309A1 IMPEDANZANPASSUNGSANORDNUNG FÜR EINE GASLASERANREGUNGSANORDNUNG UND GASLASERANREGUNGSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：阻抗匹配安排气体激光器刺激系统和气体激光器的激励装置
公开(公告)号：WO2016016309A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：PCT/EP2015/067390
申请日：2015-07-29
申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
发明人： SCHWANDT, Markus , MAHR, Gerold , KNUPFER, Stefan , FRIESEN, Sergej
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/097
CPC分类号： H01S3/09702 , H01S3/0385 , H01S3/0971
摘要： Impedanzanpassungsanordnung für eine Gaslaseranregungsanordnung (1, 1'), mit einer Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b'), die an einem ersten Anschlusspunkt (20.1, 20.1') an eine Leistungsquelle (20) und an einem zweiten Anschlusspunkt (10.1, 10.1') an eine Gaslaser-Elektrode (5, 5') anschließbar ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass sich die Impedanz der Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b') zumindest in einem Abschnitt (24, 24') durch Änderung der Ausgestaltung, insbesondere eines Parameters, der Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b') in diesem Abschnitt ändert.
摘要翻译：用于气体激光激发装置（1，1“）的阻抗匹配装置，其具有高频连接线（11B，11B”），其在第一连接点（20.1，20.1“）到电源（20）和在第二连接点（10.1，10.1”），以气体激光器的电极（5,5“）通过改变配置，特别是RF连接电缆的一个参数被连接，其特征在于RF连接电缆的阻抗（11B，11B”至少在一个部分（24，24“））（11B，11B“）在此部分改变。

3. 发明申请

WO2015198457A1 ガスレーザ装置及びコンデンサ审中-公开
标题翻译：气体激光器件和电容器
公开(公告)号：WO2015198457A1
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：PCT/JP2014/067045
申请日：2014-06-26
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：諏訪　輝 , 柿崎　弘司 , 對馬　弘朗 , 大久保　智幸 , 梅田　博 , 勝海　久和
IPC分类号： H01S3/097 , H01G4/14
CPC分类号： H01S3/09702 , H01G4/14 , H01G4/18 , H01G4/258 , H01G4/30 , H01S3/0305 , H01S3/036 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/097 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要：　レーザ性能を安定させる。　ガスレーザ装置は、内部にレーザガスを含むレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、前記レーザチャンバ内で前記第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、ポリイミドを誘電体として前記第１放電電極と前記第２放電電極との間に電力を供給するコンデンサと、を備えてもよい。
摘要翻译：本发明的目的是稳定激光器的性能。提供了一种可以设置有以下的气体激光装置：在其中包括激光气体的激光室; 设置在所述激光室内的第一放电电极; 与激光室内的第一放电电极相对设置的第二放电电极; 以及其中聚酰亚胺用作电介质并且在第一放电电极和第二放电电极之间供电的电容器。

4. 发明申请

WO2014186372A1 LASER TUBE WITH BAFFLES 审中-公开
标题翻译：激光管与BAFFLES
公开(公告)号：WO2014186372A1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：PCT/US2014/037865
申请日：2014-05-13
申请人： SYNRAD, INC.
发明人： BETHEL, Jason, W. , LIMA, Melvin, J. , LITMANOVICH, Yakov, L.
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/038 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0315 , H01S3/0385 , H01S3/2232
摘要： A tube for a gas slab laser includes a first electrode (203b) having a first electrode inner surface and a second electrode (203a) having a second electrode inner surface. The first electrode is separated, in a first transverse direction, from the second electrode thereby defining a gap region (207) serving as discharge region (205). The tube further includes a first and a second elongated baffle member (204a, 204b), each having a respective elongated central channel (209a, 209b) formed in an inner surface thereof. Thereby discharge free stand-off regions (209a, 209b) are formed. Thereby it may inter alia be possible to prevent stray discharge and/or peripheral laser radiation (211) from coming into contact with the inner surfaces (206a, 206b) of the baffles, prevent generation of higher order laser modes and improve beam pointing stability.
摘要翻译：用于气体板坯激光器的管包括具有第一电极内表面的第一电极（203b）和具有第二电极内表面的第二电极（203a）。第一电极在第一横向方向上与第二电极分离，从而限定用作放电区域（205）的间隙区域（207）。管还包括第一和第二细长挡板构件（204a，204b），每个具有形成在其内表面中的相应的细长中心通道（209a，209b）。从而形成排出自由的间隔区域（209a，209b）。因此，可以特别地可以防止杂散放电和/或外围激光辐射（211）与挡板的内表面（206a，206b）接触，防止产生更高阶激光模式并提高光束指向稳定性。

5. 发明申请

WO2010097301A1 BANDLEITERLASER MIT EINEM INSTABILEN RESONATOR 审中-公开
标题翻译：与不稳定谐振子带半导体激光
公开(公告)号：WO2010097301A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/EP2010/051762
申请日：2010-02-12
申请人： ROFIN SINAR LASER GMBH , RUPPIK, Stefan
发明人： RUPPIK, Stefan
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/038 , H01S3/0971 , H01S3/041 , H01S3/08 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/0315 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/08081 , H01S3/0971 , H01S3/2232
摘要： Bei einem Bandleiterlaser mit einem instabilen Resonator (2), bei dem sich ein Lasergas (LG) zwischen flächenhaft ausgedehnten Elektroden (6) befindet, die paarweise mit ihren Flachseiten einander gegenüberliegend angeordnet sind und einen schmalen Entladungsraum (7) mit einer Längsausdehnung (8) und einer Querausdehnung (10) festlegen und an einen getaktet betriebenen Hochfrequenzgenerator (HF) angeschlossen sind, ist zumindest eine der Elektroden (6) mit einer Vielzahl von Öffnungen (16) versehen, die sich ausgehend von ihrer dem Entladungsraum (7) abgewandten Flachseite bis zum Entladungsraum (7) erstrecken. Auf diese Weise ist ein stabiler Betrieb des Bandleiterlasers über einen großen Taktfrequenzbereich möglich.
摘要翻译：对于带状导体激光与不稳定谐振器（2），其中，区域性地延伸电极（6），其与它们的平坦侧彼此面对的和窄的放电空间（7）的纵向延伸设置在对之间的激光气体（LG）（8）设置和横向延伸部（10）和一个计时操作的高频发生器（HF）被连接时，电极中的至少一个（6），其具有设置有多个开口（16），所述平坦的侧面，从侧面向开始放电空间（7）的面向远离至到放电空间（7）。以这种方式，在带状线激光的在宽的频率范围内的稳定的操作是可能的。

6. 发明申请

WO2009105174A3 DIFFUSION-COOLED CO2 LASER WITH FLEXIBLE HOUSING 审中-公开
标题翻译：具有柔性外壳的扩散冷却CO2激光器
公开(公告)号：WO2009105174A3
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/US2009000917
申请日：2009-02-12
申请人： COHERENT INC , DEMARIA ANTHONY J
发明人： DEMARIA ANTHONY J
IPC分类号： H01S3/223 , H01S3/041
CPC分类号： H01S3/2232 , H01S3/03 , H01S3/0315 , H01S3/0385 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/0816 , H01S3/09702
摘要： A gas includes a housing having a symmetrical arrangement of upper and lower cooling members for removing heat generated in a gas- discharge excited by an electrode assembly. The electrode assembly is clamped between the cooling members and is itself essentially symmetrically arranged. The cooling members and the electrode assembly are mechanically isolated in the housing by a surrounding diaphragm-like arrangement that connects the cooling members to side-walls of the housing. An RF power-supply for supplying the electrode assembly is mounted on one of the sidewalls to avoid disturbing the symmetry of the cooling and electrode arrangements.
摘要翻译：气体包括具有对称布置的上部和下部冷却构件的壳体，用于去除由电极组件激发的气体放电中产生的热量。电极组件被夹持在冷却构件之间，并且本身基本上对称地布置。冷却构件和电极组件通过将冷却构件连接到壳体的侧壁的周围的隔膜状布置在壳体中机械隔离。用于供应电极组件的RF电源安装在一个侧壁上，以避免干扰冷却和电极布置的对称性。

7. 发明申请

WO2008045019A2 PULSED RF HIGH PRESSURE CO2 LASERS 审中-公开
标题翻译：脉冲射频高压CO2激光器
公开(公告)号：WO2008045019A2
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/US2006/027080
申请日：2006-07-12
申请人： COHERENT, INC. , LAUGHMAN, Lanny , SEGUIN, Vernon , CHENAUSKY, Peter, P. , HENSCHKE, Robert , MUELLER, Eric, R.
发明人： LAUGHMAN, Lanny , SEGUIN, Vernon , CHENAUSKY, Peter, P. , HENSCHKE, Robert , MUELLER, Eric, R.
CPC分类号： H01S3/2232 , H01S3/0315 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/076 , H01S3/0975
摘要： An improved laser system includes a sealed-off, RF excited, diffusion cooled, high pressure, short pulsed, high peak power waveguide and slab CO2 laser that avoids problems typically associated with obtaining a diffused discharge at high gas pressures, without arcing and without corona, while maintaining the unsaturated gain and gas temperature experienced at low pressures and scaling to higher pressures. Such a system has a long operating life-time, and is capable of operation at high gas pressures to obtain relative fast rise and fall time pulses. The system emits relatively short pulse widths, with pulse energies up to and exceeding 30 mJ, with reasonably high pulse repetition rates. The system also has a low pulsed RF power duty cycle, thereby enabling the generation of high peak power pulses, as well as reasonable average power and reasonably high peak powers.
摘要翻译：改进的激光系统包括密封的，RF激发的，扩散冷却的，高压的，短脉冲的，高峰值功率波导和平板CO 2激光器，其避免了在高气压下获得扩散放电的问题，没有电弧和没有电晕同时保持在低压下经历的不饱和增益和气体温度，并将其缩放到较高的压力。这样的系统具有长的使用寿命，并且能够在高气体压力下操作以获得相对快速的上升和下降时间脉冲。系统发射脉冲宽度相对较短，脉冲能量可达30 mJ，脉冲重复率相当高。该系统还具有低脉冲RF功率占空比，从而能够产生高峰值功率脉冲，以及合理的平均功率和合理的高峰值功率。

8. 发明申请

WO2007092235A2 WAVEGUIDE LASER HAVING REDUCED CROSS-SECTIONAL SIZE AND/OR REDUCED OPTICAL AXIS DISTORTION 审中-公开
标题翻译：具有减小的跨尺寸和/或减小的光轴失真的波长激光
公开(公告)号：WO2007092235A2
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：PCT/US2007/002690
申请日：2007-02-01
申请人： VIDEOJET TECHNOLOGIES , MONTY, Nathan, P.
发明人： MONTY, Nathan, P.
CPC分类号： H01S3/0315 , H01S3/036 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/0971 , H01S3/0975
摘要： Certain example embodiments of this invention relate to waveguide lasers (e.g., RF-excited waveguide lasers). Certain example embodiments of this invention provide combined waveguide cover and non-coupled top electrodes, and/or heat load balancing vacuum vessels including multiple (e.g., two or more) chambers. In certain example embodiments, RF energy may couple through the combined waveguide cover and non-coupled top electrode without significantly traversing the insulating carrier material via one or more cutouts or gaps formed in the RF coupling region of the top (or even a bottom) electrode. In certain example embodiments, first and second chambers of the vacuum vessel may be arranged so that heat generated in the discharge region flows away from the first and second chambers, thereby reducing thermally induced distortion of the optical component during laser operation. These techniques may be used alone or in various combinations.
摘要翻译：本发明的某些示例实施例涉及波导激光器（例如，RF激发波导激光器）。本发明的某些示例性实施例提供组合的波导盖和非耦合的顶部电极和/或包括多个（例如两个或更多个）腔室的热负载平衡真空容器。在某些示例性实施例中，RF能量可以耦合通过组合的波导盖和非耦合的顶部电极，而不会通过在顶部（或甚至底部）电极的RF耦合区域中形成的一个或多个切口或间隙显着地穿过绝缘载体材料。在某些示例性实施例中，真空容器的第一和第二腔室可以布置成使得在放电区域中产生的热量从第一和第二腔室流出，从而减少激光器操作期间光学部件的热诱导失真。这些技术可以单独使用或以各种组合使用。

9. 发明申请

WO2005013440A2 ELECTRODES FOR FLUORINE GAS DISCHARGE LASERS 审中-公开
标题翻译：氟化物放电激光电极
公开(公告)号：WO2005013440A2
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/US2004022809
申请日：2004-07-16
申请人： CYMER INC , MORTON RICHARD G , MOOSMAN BRYAN , DYER TIMOTHY , CARMICHAEL JAMES A , ZHANG JIPING
发明人： MORTON RICHARD G , MOOSMAN BRYAN , DYER TIMOTHY , CARMICHAEL JAMES A , ZHANG JIPING
IPC分类号： H01S20060101 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S
CPC分类号： H01S3/0385 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0384 , H01S3/0388 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2251
摘要： Fluorine gas discharge laser electrodes and electrode systems are disclosed that may comprise a plurality of current return tangs extending for less than the respective length of the second elongated gas discharge electrode. In addition disclosed are electrodes that may comprise a first discharge shaping magnet mounted in a first elongated gas discharge electrode and a second discharge shaping magnet mounted in a second elongated gas discharge electrode. This may also comprise at least one of the first and second gas discharge electrodes has imbedded therein a first and a second auxiliary field creating magnet. Also disclosed is an electrode that may comprise a crown straddling the centerline axis between the pair of side walls and the pair of end walls, comprising a first material, forming at least a portion of the discharge region of the electrode and a pair of elongated high erosion regions on either side of the crown comprising a second material with a relatively higher erosion rate during gas discharge than that of the first material. Also disclosed are electrodes that may comprise a first insert in the electrode body comprising an electrically conductive material having a different coefficient of thermal conductivity than the electrode body. Also disclosed are electrodes that may have a thin film of semi-conductive material coating at least the discharge footprint of the gas discharge electrode, or at least a portion of the discharge region covered with a pre-formed reef having generally uniform pore size and distribution, and methods of making such coatings or reef. Also disclosed is a method of forming an electrode by diffusion bonding a first piece of a first material to a second piece of a second material utilizing a diffusion bonding catalyst between the first piece of material and the second piece of material during the diffusion bonding step and machining the bonded pieces to form an electrode.
摘要翻译：公开了氟气放电激光电极和电极系统，其可以包括延伸小于第二细长气体放电电极的相应长度的多个电流返回脚。另外公开了可以包括安装在第一细长气体放电电极中的第一放电成形磁体和安装在第二细长气体放电电极中的第二放电成形磁体的电极。这也可以包括第一和第二气体放电电极中的至少一个嵌入其中的第一和第二辅助场产生磁体。还公开了一种电极，其可以包括跨越一对侧壁和一对端壁之间的中心线轴线的冠，包括形成电极的放电区域的至少一部分的第一材料和一对细长的高度在冠的任一侧的侵蚀区域包括在气体放电期间具有比第一材料的侵蚀速率相对较高的第二材料。还公开了可以包括电极体中的第一插入物的电极，其包括具有与电极体不同的导热系数的导电材料。还公开了电极，其可以具有至少涂覆气体放电电极的放电足迹的半导电材料薄膜，或至少一部分用预先形成的具有大致均匀的孔径和分布的预定形式的礁，以及制造这种涂层或珊瑚礁的方法。还公开了一种通过在扩散接合步骤期间利用第一片材料和第二片材料之间的扩散接合催化剂将第一片材料扩散接合到第二片材的第二片材来形成电极的方法，以及加工粘合片以形成电极。

10. 发明申请

WO0169731A9 COMPACT, FLEXIBLE, RAPID-PULSED, MOLECULAR GAS LASER 审中-公开
标题翻译：紧凑，灵活，快速脉冲，分子燃气激光
公开(公告)号：WO0169731A9
公开(公告)日：2003-03-06
申请号：PCT/US0106812
申请日：2001-03-01
申请人： HILL ALAN E
发明人： HILL ALAN E
IPC分类号： H01S1/00 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/102 , H01S3/223 , H01S3/22 , H01S3/00
CPC分类号： H01S1/005 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09707 , H01S3/0971 , H01S3/1024 , H01S3/2232
摘要： A compact molecular gas laser and circuit apparatus for same. A plasma volume and active laser gain region (110) is positioned centrally between two substantially symmetrical flow corridors (210, 210'). The laser gain region is further positioned between two electrodes (cathode (120) and anode (150)). An acoustic chamber (212) comprises at least one cylindrical metal speaker driver housing (200) for mounting at least two loudspeaker flow reciprocators (230, 230'), which comprise planar honeycomb loudspeaker driver diaphragms (240, 240').
摘要翻译：一种紧凑的分子气体激光器及其电路装置。等离子体体积和主动激光增益区域（110）位于两个基本对称的流动走廊（210,210'）之间的中心。激光增益区域进一步定位在两个电极（阴极（120）和阳极（150））之间。声室（212）包括至少一个圆柱形金属扬声器驱动器壳体（200），用于安装至少两个扬声器流动往复运动器（230,230'），其包括平面蜂窝扬声器驱动器隔片（240,240'）。

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