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    • 1. 发明申请
    • ガスレーザ発振器
    • 气体激光振荡器
    • WO2016181511A1
    • 2016-11-17
    • PCT/JP2015/063678
    • 2015-05-12
    • 三菱電機株式会社
    • 黒崎 芳晴海老原 成
    • H01S3/036H01S3/03H01S3/097
    • H01S3/03H01S3/036H01S3/097
    • ガスレーザ発振器10は、ガス封入手段11と、放電励起手段12と、部分反射鏡13と、全反射鏡14と、レーザガス循環手段15と、ダクト26,27と、制御装置29とを備える。レーザガス循環手段15は、熱交換器21と、レーザガスを循環させる3つの送風機22a,22b,22cと、ガイド25とを有し、通過するレーザガスを冷却しながらレーザガスの流れを形成する。ガスレーザ発振器10は、ダクト26、27内に、放電励起領域R1に向かう流れを形成することで、非励起領域R2,R3,R4,R5により冷却されたレーザガスを流入させ、この流れを速くすることでレーザ出力を安定させる。
    • 气体激光振荡器10设置有:气体密封装置11; 放电激励装置12; 部分反射镜13; 全反射镜14; 激光气体循环装置15; 导管26,27; 和控制装置29.激光气体循环装置15具有热交换器21,用于循环激光气体的三个吹风机22a,22b,22c和引导件25,并且在冷却通过该激光气体的激光气体的同时产生激光气流 通过。 气体激光振荡器10在导管26,27内产生朝向放电激励区域R1的流动,从而使已经通过非激发区域R2,R3,R4冷却的激光气体流入, 和R5,并且该流量的加速稳定了激光输出。
    • 5. 发明申请
    • METHOD AND DEVICE FOR OBTAINING AN OPTICAL DISCHARGE IN A GAS
    • 在气体中获取光学排放的方法和装置
    • WO2012025836A2
    • 2012-03-01
    • PCT/IB2011002842
    • 2011-07-11
    • CHIVEL YURI ALEKSANDROVICH
    • CHIVEL YURI ALEKSANDROVICH
    • H01S3/097
    • H01S3/034H01S3/03H01S3/07H01S3/0813H01S3/082H01S3/09775H01S3/2232H01S3/2383
    • The invention relates to the field of laser physics and laser technology and can be used in the development and production of laser-based plasma chemical systems. The method for obtaining an optical discharge in a gas comprises the optical breakdown of a gas to produce an absorbing plasma region and the maintaining of said region in the beam of a laser throughout the active period thereof. The method is novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in a laser resonator. The method is also novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in an additional resonator of a three-mirror laser resonator. The method is also novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in the focal region of a focused conical laser beam. The method is also novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in the focal region of a three-dimensional laser beam. The device for obtaining an optical discharge in a gas comprises a laser which is optically coupled to a focusing lens. The device is novel in that it additionally comprises a laser which is optically coupled to a focusing lens and a system for generating a circular beam in the form of a reflective axicon and a conical mirror, as well as a conical swivel mirror, wherein the angle of convergence of the conical beam is equal to 180°. The device is also novel in that it additionally comprises a laser in the form of a set of disk or diode laser segments situated on the surface of a sphere with a centre at the point at which the optical axes of said laser segments intersect.
    • 本发明涉及激光物理和激光技术领域,可用于开发和生产基于激光的等离子体化学系统。 用于获得气体中的光放电的方法包括气体的光学击穿以产生吸收等离子体区域,并且在其整个活动时段内保持激光束中的所述区域。 该方法的新颖之处在于,产生等离子体区域的气体的分解和所述区域的维持在激光谐振器中进行。 该方法的新颖之处在于,在三镜式激光谐振器的附加谐振器中进行产生等离子体区域的气体的击穿和所述区域的维持。 该方法的新颖之处在于,在聚焦的圆锥形激光束的聚焦区域中进行气体的击穿以产生等离子体区域和所述区域的维持。 该方法还是新颖的,即在三维激光束的焦点区域中进行气体的分解以产生等离子体区域和维持所述区域。 用于获得气体中的光放电的装置包括光学耦合到聚焦透镜的激光器。 该装置是新颖的,其还包括光学地耦合到聚焦透镜的激光器和用于产生呈反射轴向晶圆和锥形反射镜形式的圆形光束的系统以及锥形旋转镜,其中角度 锥形束的会聚等于180°。 该器件还是新颖的,其还包括位于球体表面上的一组盘或二极管激光器段形式的激光器,其中心在所述激光器段的光轴相交的点处。
    • 10. 发明申请
    • TRANSVERSAL ELEKTRISCH ANGEREGTER GASENTLADUNGSLASER ZUR ERZEUGUNG VON LICHTPULSEN MIT HOHER PULSFOLGEFREQUENZ UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
    • 横截电动激励气体放电激光器,用于生成与高频脉冲序列和方法的光脉冲用于生产
    • WO2006125433A2
    • 2006-11-30
    • PCT/DE2006/000919
    • 2006-05-23
    • LTB-LASERTECHNIK GMBHSCHOLZ, MatthiasSCHURACK, JohannesSPRANZ, EdgarSEGSA, Karl, HeinzMÜLLER, Joachim
    • SCHOLZ, MatthiasSCHURACK, JohannesSPRANZ, EdgarSEGSA, Karl, HeinzMÜLLER, Joachim
    • H01S3/09713H01S3/03H01S3/0384H01S3/0385H01S3/0388H01S3/0975H01S3/105
    • Gasentladungslaser mit einer Entladungsröhre, Haupt- und Hilfselektroden, Resonatorspiegeln und einem elektrischen Anregungskreis können Lichtpulse bis in den Subnanosekundenbereich generieren. Sie besitzen ein breites Anwendungsspektrum, beispielsweise als Anregungs- oder Ionisationslichtquelle bei verschiedenen Spektroskopieverfahren und im Zusammenhang mit dem UV-Mikroskop. Bekannte Gasentladungslaser weisen verschiedene Dichtungen im Bereich der Entladungsröhre auf und sind im endmontierten Zustand nicht nachjustierbar. Bei dem erfindungsgemäßen, wartungsfreien Gasentladungslaser (GL) mit einer Leistungsfähigkeit im Bereich von einigen 100 Millionen Lichtpulsen sind zur Feinjustage die Hauptelektroden (HE1 , HE2) in verformbaren Trägerwannen (TW) und die Resonatorspiegel (RS) in verformbaren Trägerringen (TR) gelagert, die durch Hartlot (HL) stoffschlüssig mit partiellen Metallbelägen (MB) auf der Entladungsröhre (ER) verbunden sind. Alle ultrahochvakuumtauglichen Komponenten sind zur vollständigen Wasserentfernung über die zweite Wassergrenze (355 °C) ausheizbar. Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung sieht ein Hartlöten oberhalb von 900°C der Trägerkomponenten mit partiellen Metallbelägen (MB) auf der Entladungsröhre (ER), ein Einschweißen der Resonatorspiegeln (RS), ein Ausheizen über die zweite Wassergrenze und eine anschließende Feinjustage vor.
    • 气体放电激光器的放电管中,主电极和辅助电极,谐振腔反射镜和电动励磁电路可以产生光脉冲下降到亚纳秒范围内。 它们具有广泛的应用范围,例如作为激励或Ionisationslichtquelle在各种光谱技术,以及与所述UV显微镜连接。 已知的气体放电激光器具有在放电管的区域不同的密封件,并且不会在最终组装状态下被重新调整。 在本发明,免维护气体放电激光器(GL),在大约1亿光脉冲的范围内的效率是用于精细调整时,在可变形的支撑托盘的主电极(HE1,HE2)(TW)和在所述可变形的支承环(TR)的谐振镜(RS)被安装时, 通过硬钎焊(HL)与内聚在放电管(ER)部分金属层(MB)被连接。 所有超高真空相容的组分是可烘烤通过第二水极限(355℃)的完全除去水。 用于制备的优选方法提供了上面在放电管部分金属层(MB)(ER),谐振器反射镜(RS),经由第二水边界和随后的精细调整时的烘烤的焊接的载波要素的900℃的钎焊。