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1. 发明申请

WO2019101570A1 VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN EINER SONDENEINRICHTUNG FÜR DIE RASTERSONDENMIKROSKOPIE 审中-公开
公开(公告)号：WO2019101570A1
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：PCT/EP2018/081016
申请日：2018-11-13
申请人： NANOTOOLS GMBH
发明人： IRMER, Bernd
IPC分类号： G01Q30/04 , G01Q70/10 , G01Q70/16
CPC分类号： G01Q30/04 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , G01Q70/16
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bereitstellen einer Sondeneinrichtung (2) für die Rastersondenmikroskopie, insbesondere für die Rasterkraftmikroskopie, wobei ein Rastersondenmikroskop mit Hilfe einer auf einem Ausleger (3) der Sondeneinrichtung (2) angeordneten Spitze (1) mit einer Spitzengeometrie zur Vermessung einer Probe verwendet wird. Erfindungsgemäß wird in einem dem die Spitze (1) produzierenden Herstellungsprozess vorgelagerten Schritt die Spitzengeometrie ausgehend von einer ausgewählten Spitzengrundform hinsichtlich definierter, geforderter Messeigenschaften optimiert wird, indem die Spitzengeometrie bezüglich dieser Messeigenschaften rechnergestützt simuliert (9), bewertet (10) und in Abhängigkeit der Bewertung (10) die Spitzengeometrie verändert (11). Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Sondeneinrichtung (2) für die Rastersondenmikroskopie, insbesondere für die Rasterkraftmikroskopie, mit einem Ausleger (3) sowie eine auf dem Ausleger (3) ausgebildete Spitze (1) im Nanometerbereich, mit der zu vermessende Proben abtastbar sind.

2. 发明申请

WO2018029049A1 CAPTEUR MICROMECANIQUE AVEC TRANSDUCTION OPTIQUE 审中-公开
标题翻译：带光学转换的微机械传感器
公开(公告)号：WO2018029049A1
公开(公告)日：2018-02-15
申请号：PCT/EP2017/069477
申请日：2017-08-01
申请人： VMICRO , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , UNIVERSITE LILLE-1
发明人： WALTER, Benjamin , FAUCHER, Marc , MAIRIAUX, Estelle
IPC分类号： G01Q20/02 , G01P15/093 , G01D5/26 , G01Q20/04 , G01Q70/10 , B81B3/00
CPC分类号： G01Q20/04 , G01P15/093 , G01Q20/02 , G01Q70/10
摘要： Capteur micromécanique comprenant un élément micromécanique mobile (EMM) et un résonateur optique (ROP4) de type disque ou anneau, caractérisée en ce que - le résonateur optique présente au moins une interruption (GR1, GR2); et en ce que - l'élément micromécanique mobile est couplé mécaniquement au résonateur optique de telle façon qu'un mouvement de l'élément micromécanique mobile induit une modification de la largeur de l'interruption dudit résonateur optique en déplaçant au moins un bord de cette dernière dans une direction sensiblement parallèle à une direction de propagation de la lumière dans le résonateur en correspondance de l'interruption.
摘要翻译：微机械传感器包括移动微机械元件（EMM）和盘式或环形光学电阻器（ROP4），其特征在于 - 光电阻器具有至少一个中断（GR1，GR2）; 而且 - 移动微观元素是耦合的所述光学电阻器使得所述可移动微观元件的运动通过脱离所述光学微带而引起所述光学抗蚀剂的所述中断的宽度的变化。后者的至少一个边缘在基本上平行的方向上; 对应于中断，接收器中光的传播方向。

3. 发明申请

WO2016138398A1 SYSTEMS AND METHODS FOR MANUFACTURING NANO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM PROBES 审中-公开
标题翻译：制造纳米电子机械系统探针的系统和方法
公开(公告)号：WO2016138398A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/US2016/019806
申请日：2016-02-26
申请人： XALLENT, LLC
发明人： AMPONSAH, Kwame
IPC分类号： G01Q60/30 , G01Q70/06 , G01Q70/10 , G01Q70/14
CPC分类号： G01Q70/06 , G01Q60/30 , G01Q70/10 , G01Q70/14
摘要： Systems and methods for manufacturing multiple integrated tip probes for scanning probe microscopy. According to an embodiment is a microscope probe configured to analyze a sample, the microscope probe including: a movable probe tip including a terminal probe end; a first actuator configured to displace the movable probe tip along a first axis; and a detection component configured to detect motion of the movable probe tip in response to an applied signal; where the moveable probe tip comprises a metal layer affixed to a supporting layer, at least a portion of the metal layer at the terminal probe end extending past the supporting layer.
摘要翻译：用于扫描探针显微镜制造多个集成尖端探针的系统和方法。根据一个实施例，被配置为分析样品的显微镜探针，所述显微镜探针包括：可移动探针末端，其包括末端探针末端; 第一致动器，其构造成沿着第一轴线移动所述可移动探针尖端; 以及检测部件，被配置为响应于所施加的信号来检测所述可移动探针尖端的运动; 其中所述可移动探针尖端包括固定到支撑层的金属层，所述终端探针端处的所述金属层的至少一部分延伸穿过所述支撑层。

4. 发明申请

WO2011055346A2 WEAR-LESS OPERATION OF A MATERIAL SURFACE WITH A SCANNING PROBE MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：使用扫描探针显微镜对材料表面进行无磨损操作
公开(公告)号：WO2011055346A2
公开(公告)日：2011-05-12
申请号：PCT/IB2010055062
申请日：2010-11-08
申请人： IBM , DUERIG URS T , GOTSMANN BERND W , KNOLL ARMIN W , LANTZ MARK A
发明人： DUERIG URS T , GOTSMANN BERND W , KNOLL ARMIN W , LANTZ MARK A
CPC分类号： G01Q60/363 , G01Q70/10
摘要： The invention concerns a method for scanning a surface (52) of a material (50) with a scanning probe microscope or SPM (10), the SPM having a cantilever sensor (100) configured to exhibit distinct spring behaviors (C, Ck), the method comprising: - operating the SPM in contact mode, whereby the sensor is scanned on the material surface and a first spring behavior (C) of the sensor (e.g. a fundamental mode of flexure thereof) is excited by deflection of the sensor by the material surface; and - exciting with excitation means a second spring behavior (Ck) of the sensor at a resonance frequency thereof (e.g. one or more higher-order resonant modes) of the cantilever sensor to modulate an interaction of the sensor and the material surface and thereby reduce the wearing of the material surface.
摘要翻译：本发明涉及一种用扫描探针显微镜或SPM（10）扫描材料（50）的表面（52）的方法，SPM具有悬臂传感器（100），其被配置为呈现明显的弹簧行为（C，Ck），该方法包括： - 以接触模式操作SPM，由此在材料表面上扫描传感器，并且传感器的第一弹性（C）（例如其基本弯曲模式）被传感器的偏转激发材料表面; 和 - 激发激励意味着传感器在悬臂传感器的共振频率（例如一个或多个高阶谐振模式）下的第二弹簧行为（Ck），以调制传感器和材料表面的相互作用，从而减少材料表面的磨损。

5. 发明申请

WO2010011398A3 SCANNING PROBE EPITAXY 审中-公开
标题翻译：扫描探头外观
公开(公告)号：WO2010011398A3
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：PCT/US2009043866
申请日：2009-05-13
申请人： UNIV NORTHWESTERN , NANOINK INC , MIRKIN CHAD A , LIU CHANG , WANG YUHUANG , BRAUNSCHWEIG ADAM B , LIAO XING , GIAM LOUISE R , LEE BYUNG YANG , FRAGALA JOSEPH S , HENNING ALBERT K
发明人： MIRKIN CHAD A , LIU CHANG , WANG YUHUANG , BRAUNSCHWEIG ADAM B , LIAO XING , GIAM LOUISE R , LEE BYUNG YANG , FRAGALA JOSEPH S , HENNING ALBERT K
IPC分类号： G03F7/00 , G01Q70/10
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q20/04 , G01Q40/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01Q80/00
摘要： A dual tip probe for scanning probe epitaxy is disclosed. The dual tip probe includes first and second tips disposed on a cantilever arm. The first and second tips can be a reader tip and a synthesis tip, respectively. The dual tip probe further includes a rib disposed on the cantilever arm between the first and second tips. The dual tip probe can also include a strain gauge disposed along the length of the cantilever arm.
摘要翻译：公开了一种用于扫描探针外延的双尖端探针。双尖头探针包括设置在悬臂上的第一和第二尖端。第一和第二提示可以分别是读取器尖端和合成尖端。双尖头探针还包括设置在第一和第二尖端之间的悬臂上的肋条。双尖头探针还可以包括沿着悬臂的长度设置的应变仪。

6. 发明申请

WO2009140439A1 NANOMANUFACTURING DEVICES AND METHODS 审中-公开
标题翻译：纳米制备装置和方法
公开(公告)号：WO2009140439A1
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：PCT/US2009/043862
申请日：2009-05-13
申请人： NANOINK, INC. , BUSSAN, John, Edward , NELSON, Michael, R. , FRAGALA, Joseph, S. , HENNING, Albert, K. , RENDLEN, Jeffrey, R.
发明人： BUSSAN, John, Edward , NELSON, Michael, R. , FRAGALA, Joseph, S. , HENNING, Albert, K. , RENDLEN, Jeffrey, R.
IPC分类号： G01N13/10 , G03F7/00 , G12B21/22
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q20/04 , G01Q40/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01Q80/00
摘要： Devices for performing nanofabrication are provided which provide small volume reaction space and high reaction versatility. A device may include a reaction chamber adapted for nanoscale modification of a substrate and vacuum conditions; a scanning probe tip assembly enclosed within the reaction chamber; a first port coupled to the reaction chamber for delivering a gas; a second port coupled to the reaction chamber for applying a vacuum; and a substrate assembly insertedly mounted to the reaction chamber. The reaction chamber may include a body having one or more flexible walls and one or more supports to prevent the reaction chamber from collapsing under a vacuum. The device may further include an electrical conduit for coupling the tips of the scanning probe tip assembly to electrical components outside the reaction chamber. Also provided are apparatuses incorporating the devices and methods of using the devices and apparatuses.
摘要翻译：提供用于进行纳米制造的装置，其提供小体积的反应空间和高反应多功能性。装置可以包括适于对基底进行纳米尺寸改性的反应室和真空条件; 包围在反应室内的扫描探针头组件; 耦合到所述反应室的用于输送气体的第一端口; 耦合到所述反应室的第二端口，用于施加真空; 以及插入安装到反应室的基板组件。反应室可以包括具有一个或多个柔性壁和一个或多个支撑物的主体，以防止反应室在真空下塌缩。该装置还可以包括用于将扫描探针头组件的尖端耦合到反应室外部的电气部件的电导管。还提供了结合装置的装置和使用装置和装置的方法。

7. 发明申请

WO2004015362A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINE SCHMALE SCHNEIDE ODER SPITZE AUFWEISENDEN STRUKTUR UND MIT EINER SOLCHEN STRUKTUR VERSEHENER BIEGEBALKEN 审中-公开
标题翻译：一种用于生产窄，切割或峰分别具有结构和这样的结构中提供弯梁
公开(公告)号：WO2004015362A2
公开(公告)日：2004-02-19
申请号：PCT/DE2003/002627
申请日：2003-08-04
申请人： UNIVERSITÄT KASSEL , ÖSTERSCHULZE, Egbert , KASSING, Rainer , GEORGIEV, Georgi
发明人： ÖSTERSCHULZE, Egbert , KASSING, Rainer , GEORGIEV, Georgi
IPC分类号： G01B7/34
CPC分类号： B81B1/008 , B81B2203/0118 , B81C1/00111 , G01Q70/10 , G01Q70/16
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer eine scharfe Spitze oder Schneide (20) aufweisenden Struktur (21) beschrieben. Ein Substrat (1), insbesondere ein Halbleitersubstrat, wird auf einer Oberfläche (2) mit wenigstens einer spitz zulaufenden, einen Spitzenabschnitt (4) und Seitenwände (5) aufweisenden Vertiefung (6) und zumindest im Bereich der Vertiefung (6) mit einer nachträglich aufgebrachten Schicht (7) versehen, und die Struktur (21) wird dann durch Abformung des Substrats (1) im Bereich der Vertiefung (6) erhalten. Erfindungsgemäss wird die Schicht (7) vor der Abformung im Bereich des Spitzenabschnitts (4) durch selektives Ätzen mit einer die Höhe der Vertiefung (6) vergrössernden Öffnung (10) versehen. Ausserdem wird ein nach diesem Verfahren hergestellter Biegebalken beschrieben.
摘要翻译：描述了一种用于尖点的制备或切削刃（20），其具有结构（21）的步骤。的基板（1），特别是半导体基板，在表面上（2），具有至少一个锥形，前端部（4）和侧壁（5），其具有凹部（6）和至少在所述凹部（6）与随后的区域中涂布层（7）被设置，然后在凹部（6）的区域中通过在衬底（1）的成型而得到的结构（21）。根据本发明，对由于选择性腐蚀提供在尖端部分（4）的区域中的印象之前，层（7）与一个放大凹部（6）的开口（10）的高度。另外，通过这种方法产生的光束偏转进行说明。

8. 发明申请

WO2003042627A2 FELDEFFEKTTRANSISTOR-SENSOR 审中-公开
标题翻译：场效应晶体管传感器
公开(公告)号：WO2003042627A2
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：PCT/EP2002/012513
申请日：2002-11-08
申请人： UNIVERSITÄT KASSEL , EDINGER, Klaus , RANGELOW, Ivajlo , GRABIEC, Piotr , MELNGAILIS, John
发明人： EDINGER, Klaus , RANGELOW, Ivajlo , GRABIEC, Piotr , MELNGAILIS, John
IPC分类号： G01B7/34
CPC分类号： G01Q60/30 , G01N27/82 , G01Q70/10 , G01R1/07 , G01R33/06
摘要： Die Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere für eine Sonde eines Rastersondenmikroskops, zum Untersuchen sich benachbart zum Sensor befindlicher Probenoberflächen oder Felder mit zumindest einem, wenigs-tens ein Halbleitermaterial aufweisenden Feldeffekttransistor (FET). Des Weiteren betrifft die Erfindung einen Hallsensor aus zumindest einem Halbleitermaterial zum Detektieren von magnetischen Feldern, dessen laterales Auflösungsvermögen elektrisch einstellbar ist, sowie eine Halblei-terelektrode, deren Elektrodenfläche elektrisch einstellbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种传感器，特别是用于扫描探针显微镜的相邻具有场效应晶体管（FET）的半导体材料检查到传感器befindlicher样品表面或场与至少一种，Wenig-几十的探针。此外，本发明涉及一种用于检测磁场的至少一个半导体材料的霍尔传感器，该横向分辨率可电动调节的，和一个半导体-terelektrode，电极面积是电可调的。

9. 发明申请

WO1997009584A1 CANTILEVER WITH INTEGRATED DEFLECTION SENSOR 审中-公开
标题翻译：带集成偏差传感器的CANTILEVER
公开(公告)号：WO1997009584A1
公开(公告)日：1997-03-13
申请号：PCT/IB1995000724
申请日：1995-09-01
申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION , BINNIG, Gerd, Karl , ROHRER, Heinrich , VETTIGER, Peter
IPC分类号： G01B07/34
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q70/10 , Y10S977/873
摘要： A cantilever for scanning probe microscopy and other force of deflection measurements is decribed; said cantilever comprising at least one integrated strain sensing element within a constriction section (62). The cantilever is improved over known cantilevers by reducing the longitudinal extension of the constriction, such that its contribution to the total deflection of the cantilever is reduced. The design of the cantilever is further improved by applying a beam (63) with an essentially triangular cross section in either a vertical or a horizontal plane or both.
摘要翻译：用于扫描探针显微镜的悬臂和其他挠度测量力被描述; 所述悬臂包括在收缩部分（62）内的至少一个集成应变感测元件。悬臂通过减小收缩部的纵向延伸而比已知的悬臂更大，从而减小其对悬臂的总挠度的贡献。通过在垂直或水平面或两者中施加具有基本三角形横截面的梁（63）来进一步改善悬臂的设计。

10. 发明申请

WO2019088833A1 PROBE, METHOD OF MANUFACTURING A PROBE AND SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2019088833A1
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：PCT/NL2018/050725
申请日：2018-10-31
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： HERFST, Roelof, Willem , DEKKER, Albert , BIJNAGTE, Anton, Adriaan , BIEMOND, Jan, Jacobus, Benjamin
IPC分类号： G01Q70/10
CPC分类号： G01Q70/10 , G01Q70/12
摘要： This document relates to a probe for use in a scanning probe microscopy device. The probe comprises a cantilever and a probe tip being located at a first end section of the cantilever. The cantilever is configured for bending in a Z -direction perpendicular to a surface of a substrate in use. The cantilever comprises a neck section and a paddle section, and the probe tip is located on the paddle section. The neck section has a width and height in cross section thereof, comprises a base part having a rectangular cross section. The cantilever at least across a length of the neck section comprises a ridge extending in a direction away from the base part. The base part and the ridge together define the width and height of the neck section, and have dimensions such that a vertical bending stiffness of the cantilever for bending in the Z-direction matches a lateral stiffness of the cantilever with respect to forces acting on the probe tip in a direction transverse to the Z- direction. The document further describes a manufacturing method.

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