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1. 发明申请

WO2018029049A1 CAPTEUR MICROMECANIQUE AVEC TRANSDUCTION OPTIQUE 审中-公开
标题翻译：带光学转换的微机械传感器
公开(公告)号：WO2018029049A1
公开(公告)日：2018-02-15
申请号：PCT/EP2017/069477
申请日：2017-08-01
申请人： VMICRO , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , UNIVERSITE LILLE-1
发明人： WALTER, Benjamin , FAUCHER, Marc , MAIRIAUX, Estelle
IPC分类号： G01Q20/02 , G01P15/093 , G01D5/26 , G01Q20/04 , G01Q70/10 , B81B3/00
CPC分类号： G01Q20/04 , G01P15/093 , G01Q20/02 , G01Q70/10
摘要： Capteur micromécanique comprenant un élément micromécanique mobile (EMM) et un résonateur optique (ROP4) de type disque ou anneau, caractérisée en ce que - le résonateur optique présente au moins une interruption (GR1, GR2); et en ce que - l'élément micromécanique mobile est couplé mécaniquement au résonateur optique de telle façon qu'un mouvement de l'élément micromécanique mobile induit une modification de la largeur de l'interruption dudit résonateur optique en déplaçant au moins un bord de cette dernière dans une direction sensiblement parallèle à une direction de propagation de la lumière dans le résonateur en correspondance de l'interruption.
摘要翻译：微机械传感器包括移动微机械元件（EMM）和盘式或环形光学电阻器（ROP4），其特征在于 - 光电阻器具有至少一个中断（GR1，GR2）; 而且 - 移动微观元素是耦合的所述光学电阻器使得所述可移动微观元件的运动通过脱离所述光学微带而引起所述光学抗蚀剂的所述中断的宽度的变化。后者的至少一个边缘在基本上平行的方向上; 对应于中断，接收器中光的传播方向。

2. 发明申请

WO2016103111A1 DISPOSITIF DE MODULATION COMPORTANT UNE NANO-DIODE 审中-公开
标题翻译：包含纳米体系的调制装置
公开(公告)号：WO2016103111A1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：PCT/IB2015/059623
申请日：2015-12-15
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , UNIVERSITE LILLE 1 - SCIENCES ET TECHNOLOGIES
发明人： GAQUIERE, Christophe Pierre Paul , DUCOURNAU, Guillaume , FAUCHER, Marc
IPC分类号： H01L29/861 , H01L29/06 , H01L29/20
CPC分类号： H01L29/7391 , H01L29/0649 , H01L29/0657 , H01L29/0665 , H01L29/2003 , H01L29/205 , H01L29/401 , H01L29/475 , H01L29/7786
摘要： L'invention est relative à un dispositif de modulation réalisé sur un substrat (1) comportant au moins une nano-diode qui se présente comme un T encastré dans un U, le canal (31) de cette nano-diode étant la jambe du T qui pénètre dans le U. Le dispositif est remarquable en ce qu'il comporte au moins une ligne électriquement conductrice (37) qui passe par-dessus une partie au moins de ce canal (31).
摘要翻译：本发明涉及一种在衬底（1）上形成的调制装置，包括至少一个形成U形式的纳米二极管，所述纳米二极管的通道（31）是插入到所述衬底该装置的特征在于它包括至少一个穿过所述通道（31）的至少一部分的导电线（37）。

3. 发明申请

WO2017140664A1 TRANSDUCTEUR ELECTROMECANIQUE A BASE DE NITRURE DE GALLIUM DOPE 审中-公开
标题翻译：基于氮化镓掺杂的机电传感器
公开(公告)号：WO2017140664A1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：PCT/EP2017/053263
申请日：2017-02-14
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , UNIVERSITE LILLE 1, SCIENCES ET TECHNOLOGIES
发明人： FAUCHER, Marc , CORDIER, Yvon
IPC分类号： H01L27/20 , H01L41/18 , H01L41/08 , H01L29/778 , H01L29/84
CPC分类号： H01L41/1132 , H01L27/20 , H01L29/0657 , H01L29/0843 , H01L29/2003 , H01L29/7786 , H01L29/84 , H01L41/0805 , H01L41/094 , H01L41/18
摘要： Le dispositif microélectromécanique proposé comprend un empilement de couches semi-conductrices comportant un substrat (Sub), une première couche (Nue), une deuxième couche (Nit) et une troisième couche (SD) d'un matériau semi-conducteur. Au moins l'une desdites couches est constituée d'un matériau semi-conducteur piézoélectrique dopé, de préférence réalisée en GaN dopé par du Si, Ge, 0 ou Mg. Ledit empilement peut comprendre un élément suspendu telle qu'une poutre (P), formée par des prolongements d'une ou de plusieurs desdites couches s'étendant au-delà d'un bord (E) dudit substrat. Un dispositif microélectromécanique selon l'invention peut comprendre une pluralité d'électrodes (S, G, D) connectées à ladite deuxième couche, et/ou à ladite troisième couche, et/ou à un gaz bidimensionnel (2DEG) de porteurs de charge.
摘要翻译：所提出的微机电装置包括包含基板（子）半导体层，一个Premi＆egrave的堆叠;重层（NUC），第二＆egrave;层I（NIT）和第三＆egrave;躺下（SD）的垫的é廖内半导体。所述层中的至少一个由掺杂光学材料半导体材料构成，其在GaN掺杂状态下是已知的。由Si，Ge，O或Mg所取代。所述堆叠可以包括诸如梁（P）的悬挂元件，由所述层中的一个或多个延伸超过其的延伸部形成; 所述衬底的边缘（E）。根据本发明的微机电装置可以包括多个电池。的电极（S，G，D）互相连接＆nbsp; 所述第二层，和/或所述第三层，和/或电荷载体的二维气体（2DEG）。

4. 发明申请

WO2017194509A1 ACCELEROMETRE VIBRANT PRECONTRAINT 审中-公开
标题翻译：振动加速度计预防措施
公开(公告)号：WO2017194509A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/EP2017/061007
申请日：2017-05-09
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , UNIVERSITE LILLE 1, SCIENCES ET TECHNOLOGIES
发明人： FAUCHER, Marc , MORELLE, Christophe
IPC分类号： G01P15/097
CPC分类号： G01P15/097
摘要： Dispositif de mesure d'une accélération caractérisé en ce qu'il comporte un accéléromètre vibrant comprenant : - un substrat (Sub) constitué d'un matériau semi-conducteur et formant un cadre fixe (C) dudit accéléromètre; - une masse d'épreuve (ME) constituée d'un même matériau que ledit substrat et reliée audit cadre fixe, ladite masse d'épreuve étant apte à se déplacer en translation suivant au moins un axe sensible dudit accéléromètre vibrant; - des moyens de guidage (PG1, PG2, PG3, PG4) constitués d'un même matériau que ledit substrat, et reliés audit cadre fixe et à ladite masse d'épreuve, lesdits moyens de guidage étant aptes à guider ladite masse d'épreuve selon la direction dudit au moins un axe sensible; - une couche (Nit1) constituée d'un matériau semi-conducteur piézoélectrique et déposée sur ledit substrat, ladite couche étant précontrainte en tension; - un résonateur (R) situé dans ladite couche et relié audit cadre fixe, ledit résonateur étant apte à subir une tension ou une compression selon la direction dudit au moins un axe sensible; et - au moins un transducteur relié audit résonateur, ledit au moins transducteur étant apte à actionner ledit résonateur, à maintenir une oscillation dudit résonateur et/ou à détecter un signal électrique généré par ledit résonateur.
摘要翻译：
用于测量特征加速度的装置。其包括振动加速度，该振动加速度包括： - 构成的基板（Sub）半导体材料并形成所述存取器的固定框架（C）; e。 - de证据的质量（ME），其由éE中的M＆ecirc;垫我é廖内所述衬底和连接éE要所述固定框架，所述é作为适合＆agraveDé证据的质量; 沿着所述振动加速度的至少一个敏感轴线平移; - 引导装置（PG1，PG2，PG3，PG4）构成éS M＆ecirc;垫我é廖内所述到所述衬底上并连接（E S）固定框架和＆agrave; 说大量的证据说，指导意味着能够在所述至少一个敏感轴的方向上引导所述大量证据; - 层（NIT1）构成的垫é廖半导体PI在所述衬底上，所述层如éPRé拉伸应力éZOé电动和DE POSé电子商务éë; - 一个电阻（R）位于o＆rd; 在所述层中并连接在所述固定帧中，所述复位器适合于在所述至少一个敏感轴的方向上经受张力或压缩; 和 - 至少一个连接的换能器所述反应器，所述至少一个换能器适合于操作所述接收器，＆amp; 保持所述谐振器的振荡和/或检测一般电信号。由评价者。

5. 发明申请

WO2017012927A1 SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE A FAIBLE ENCOMBREMENT ET MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE COMPRENANT UNE TELLE SONDE 审中-公开
标题翻译：用于原子力显微镜和包括这种探针的原子力显微镜的紧凑探针
公开(公告)号：WO2017012927A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：PCT/EP2016/066549
申请日：2016-07-12
申请人： VMICRO , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
发明人： WALTER, Benjamin , FAUCHER, Marc
IPC分类号： G01Q10/04 , G01Q60/38 , G01Q70/10
CPC分类号： G01Q10/045 , G01Q20/02 , G01Q20/04 , G01Q30/14 , G01Q60/06 , G01Q60/22 , G01Q60/30 , G01Q60/38 , G01Q60/40 , G01Q60/58 , G01Q70/06 , G01Q70/10
摘要： Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction dite longitudinale (y) et faisant saillie d'un bord (B) d'un substrat (S1) dans ladite direction longitudinale, caractérisée en ce que ladite pointe est agencée à une extrémité d'une navette (PJ1) fixée audit substrat au moins par l'intermédiaire d'une première (ET) et d'une deuxième (R, RA) structure, dites de support, au moins ladite première structure de support étant une structure flexible, s'étendant dans une direction dite transversale (x), perpendiculaire à la dite direction longitudinale et ancrée au substrat par au moins une liaison mécanique dans ladite direction transversale, lesdites structures de support étant adaptées pour permettre à la navette de se déplacer dans la direction longitudinale. Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.
摘要翻译：本发明涉及一种用于原子力显微镜的探针，包括用于原子力显微镜（PT1）的尖端，所述尖端在所谓的纵向方向（y）上定向并从所述纵向上的衬底（S1）的边缘（B）突出方向，其特征在于，所述尖端至少经由第一（ET）和第二（R，RA）所谓的支撑结构布置在连接到所述基底的梭子（PJ1）的一端，至少所述第一支撑结构为柔性结构，其沿垂直于所述纵向方向的所谓横向（x）延伸，并通过所述横向方向上的至少一个机械连接锚定到所述基底，所述支撑结构适于允许梭子沿纵向移动。本发明还涉及包括至少一个这样的探针的原子力显微镜。

6. 发明申请

WO2018134377A1 SONDE POUR MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE ÉQUIPÉ D'UN RÉSONATEUR OPTOMÉCANIQUE, ET MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE COMPORTANT UNE TELLE SONDE 审中-公开
公开(公告)号：WO2018134377A1
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：PCT/EP2018/051360
申请日：2018-01-19
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , UNIVERSITE PARIS DIDEROT - PARIS 7 DIDEROT VALORISATION , UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE 1 , VMICRO
发明人： LEGRAND, Bernard , HENTZ, Sébastien , DURAFFOURG, Laurent , FAVERO, Ivan , FAUCHER, Marc , ALLAIN, Pierre , WALTER, Benjamin
IPC分类号： G01Q10/04 , G01Q20/04 , G01Q60/38 , G02B6/293
摘要： Il est proposé une sonde (100) pour microscope à force atomique comprenant un résonateur optomécanique (102) et une pointe de sonde (103) faisant saillie du résonateur, le résonateur étant couplé à des moyens optiques configurés pour émettre un faisceau de lumière incident vers le résonateur et recevoir un faisceau de lumière émergent depuis le résonateur. Le résonateur optomécanique comprend un corps configuré pour résonner à la fois sur un mode de vibration mécanique de volume et sur un mode de vibration optique de volume, ledit mode de vibration optique étant couplé audit mode de vibration mécanique de telle sorte qu'une déformation mécanique dudit corps résonant selon ledit mode de vibration mécanique induit une modification de l'état de transmission de la lumière dudit mode de vibration optique, venant modifier le faisceau de lumière émergent.

7. 发明申请

WO2010116061A1 DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE PIEZOELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：压电微电子设备
公开(公告)号：WO2010116061A1
公开(公告)日：2010-10-14
申请号：PCT/FR2010/000299
申请日：2010-04-09
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , FAUCHER, Marc , THERON, Didier , GAQUIERE, Christophe
发明人： FAUCHER, Marc , THERON, Didier , GAQUIERE, Christophe
IPC分类号： H01L41/09 , B81B3/00 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0098 , B81B3/0086 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , G01L1/005 , H01L27/20 , H03H3/0073 , H03H9/02259 , H03H9/02409 , H03H2009/02511
摘要： Dispositif microélectromécanique comportant : un substrat (SS); une première couche (Ci) d'un matériau piézoélectrique, déposée sur une surface dudit substrat; une deuxième couche (C2) d'un matériau semiconducteur, déposée sur ladite première couche; au moins un élément suspendu (ES), formé par des prolongements desdites couches s'étendant au- delà d'un bord (B) dudit substrat; et un transistor à effet de champ (FET) intégré à ladite deuxième couche et à sa prolongement, ayant au moins un canal s'étendant au moins en partie à l'intérieur dudit élément suspendu, comportant des électrodes (D, S1 G) connectées à des pistes conductrices (PCD) s'étendant au-dessus de ladite deuxième couche et dont au moins une passe par-dessous ledit bord du substrat; caractérisé en ce qu'au moins deux pistes conductrices connectées à deux électrodes respectives du transistor à effet de champ se chevauchent, sans contact électrique entre elles, de manière à former une structure d'interconnexion tridimensionnelle.
摘要翻译：微机电装置，包括：基板（SS）; 沉积在所述衬底的表面上的压电材料的第一层（Ci）; 沉积在所述第一层上的半导体材料的第二层（C2）; 至少一个悬挂元件（ES），其由所述层的延伸部延伸超过所述基底的边缘（B）形成; 以及整合到所述第二层并进入其延伸部的场效应晶体管（FET），具有至少部分地在所述悬置元件内延伸的至少一个通道，包括连接到导电轨迹（PCD）的电极（D，S1，G）其延伸在所述第二层的顶部上，并且其中的至少一个通过所述衬底的所述边缘下方; 其特征在于，连接到所述场效应晶体管的两个相应电极的至少两个导电迹线与其之间没有电接触重叠，以便形成三维互连结构。

8. 发明申请

WO2012107888A1 DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE AVEC STRUCTURE D'ACTIONNEMENT PIEZOELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：具有压电致动结构的微电子器件
公开(公告)号：WO2012107888A1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：PCT/IB2012/050567
申请日：2012-02-08
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , FAUCHER, Marc
发明人： FAUCHER, Marc
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/09 , B81B3/00
CPC分类号： H01L41/0973 , H01L27/20 , H01L41/047 , H01L41/0933 , H01L41/094
摘要： Dispositif microélectromécanique comportant : un substrat (SS); une première couche (C 1 ) d'un premier matériau semi-conducteur, déposée sur une surface dudit substrat; une deuxième couche (C 2 ) d'un deuxième matériau semi- conducteur piézoélectrique différent dudit premier matériau semi-conducteur, déposée sur ladite première couche, lesdites première et deuxième couches formant une hétérostructure susceptible de confiner un gaz bidimensionnel de porteurs (2DEG); au moins un élément suspendu (ES), formé par des prolongements desdites couches s'étendant au-delà d'un bord (B) dudit substrat; et une première (E 1 ) et une deuxième (E 2 ) électrodes d'actionnement pour établir une différence de potentiel entre ledit gaz bidimensionnel de porteurs et ladite première couche de manière à former une structure d'actionnement piézoélectrique dudit élément suspendu; caractérisé en ce qu'une couche diélectrique (CD) est prévue entre ladite deuxième électrode d'actionnement et ladite deuxième couche pour empêcher le passage d'un courant électrique entre elles.
摘要翻译：微机电装置，包括：基板（SS）; 第一半导体材料的第一层（C1），沉积在所述衬底的表面上; 沉积在所述第一层上的与所述第一半导体材料不同的第二压电半导体材料的第二层（C2），所述第一和第二层形成能够限制载流子（2DEG）的二维气体的异质结构; 至少一个悬挂元件（ES），其由所述层的延伸延伸超过所述基底的边缘（B）形成; 以及第一（E1）和第二（E2）致动电极，用于以所述悬浮元件形成压电致动结构的方式建立载体和所述第一层的所述二维气体之间的电位差; 其特征在于，在所述第二致动电极和所述第二层之间提供电介质层（CD），以防止它们之间的电流通过。

9. 发明申请

WO2008148951A1 SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE 审中-公开
标题翻译：原子力显微镜探头
公开(公告)号：WO2008148951A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/FR2008/000580
申请日：2008-04-23
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , FAUCHER, Marc , BUCHAILLOT, Lionel , AIME, Jean-Pierre , LEGRAND, Bernard Louis Amand , COUTURIER, Gérard
发明人： FAUCHER, Marc , BUCHAILLOT, Lionel , AIME, Jean-Pierre , LEGRAND, Bernard Louis Amand , COUTURIER, Gérard
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q30/12 , G01Q60/32 , G01Q60/38
摘要： Sonde pour microscopie à force atomique (SM) comportant un résonateur micromécanique (RMM) et une pointe pour microscopie à force atomique (P1) faisant saillie dudit résonateur, caractérisée en ce que : elle comporte également un moyen (EL1) pour exciter sélectivement un mode d'oscillation de volume dudit résonateur (RMM); et en ce que ladite pointe pour microscopie à force atomique (P1, P1') fait saillie dudit résonateur sensiblement en correspondance d'un point ventral (PV1) dudit mode d'oscillation de volume. Microscope à force atomique comportant une telle sonde (SM'). Procédé de microscopie à force atomique comportant l'utilisation d'une telle sonde.
摘要翻译：本发明涉及一种包括微机械谐振器（RMM）和从所述谐振器突出的原子力显微镜（P1）的尖端的原子力显微镜探针（SM），其特征在于它还包括用于选择性激发振荡的装置（EL1）所述谐振器（RMM）的体积模式，并且所述用于原子力显微镜（P1，P1'）的所述尖端基本上与所述体积振荡模式的腹点（PV1）相对应地从所述谐振器突出。本发明还涉及包括这种探针（SM'）的原子力显微镜以及涉及使用这种探针的原子力显微镜方法。

10. 发明申请

WO2004094690A1 PROCEDE DE CROISSANCE DE NANOTUBES DE CARBONE 审中-公开
标题翻译：碳纳米管生长法
公开(公告)号：WO2004094690A1
公开(公告)日：2004-11-04
申请号：PCT/FR2004/050160
申请日：2004-04-14
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , BONNOT, Anne-Marie , BOUCHIAT, Vincent , FAUCHER, Marc
发明人： BONNOT, Anne-Marie , BOUCHIAT, Vincent , FAUCHER, Marc
IPC分类号： C23C16/26
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , H01L21/28562 , H01L51/0048 , H01L51/0052 , Y10T428/24967 , Y10T428/25 , Y10T428/30
摘要： L'invention concerne un procédé de croissance de nano-tubes de carbone (5) sur un substrat (1) par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par filament chaud, consistant à déposer au préalable sur le substrat un bicouche de titane (12) et de cobalt (13) tel que l'épaisseur de la couche de titane est comprise entre 0,5 et 5 nm ; l'épaisseur de la couche de cobalt est comprise entre 0,25 et 10 nm ; et l'épaisseur de la couche de cobalt est comprise entre la moitié et le double de l'épaisseur de la couche de titane.
摘要翻译：本发明涉及使用热丝辅助化学气相沉积法在基片（1）上生长碳纳米管（5）的方法。本发明的方法包括首先在基底上沉积钛（12）和钴（13）的双层，使得钛层的厚度在0.5和5nm之间，钴层的厚度在0.25和10nm之间，钴层的厚度为钛层的一半的一半。

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