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1. 发明申请

WO2023079803A1 走査型プローブ顕微鏡审中-公开
公开(公告)号：WO2023079803A1
公开(公告)日：2023-05-11
申请号：PCT/JP2022/028894
申请日：2022-07-27
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平出　雅人
IPC分类号： G01Q60/30
摘要：制御装置（１００）は、フォースカーブを測定する場合に、試料（Ｓ）にカンチレバー（１２）を押し付けるときの押し付け量の設定値（ＤＳ１，ＤＳ２）に基づいて当該押し付け量である撓み量（Ｄ２）を目標値（ＤＴ）である撓み量（Ｄ１）に制御し、フォースカーブを測定する場合に、過去に実行されたフォースカーブの測定における目標値（ＤＴ）である撓み量（Ｄ１）と実際の押し付け量である撓み量（Ｄ２）との差を示す差分データである撓み量（Ｄ３）に基づいて、設定値（ＤＳ１）を設定値（ＤＳ２）に変更する。

2. 发明申请

WO2020126136A1 A METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNING A PROBE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPY TO THE TIP OF A POINTED SAMPLE 审中-公开
公开(公告)号：WO2020126136A1
公开(公告)日：2020-06-25
申请号：PCT/EP2019/075506
申请日：2019-09-23
申请人： IMEC VZW , KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN
发明人： PAREDIS, Kristof , OP DE BEECK, Jonathan , FLEISCHMANN, Claudia , VANDERVORST, Wilfried
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q60/30 , G01Q60/50 , H01J37/285
摘要： The invention is related to a method and apparatus for aligning a probe (1) suitable for scanning probe microscopy (SPM) relative to the apex region (21) of a pointed sample (11), such as a sample for atom probe tomography, in order to perform an SPM acquisition of said apex region to thereby obtain an image of said region. The alignment takes place by scanning an area above the sample tip while the SPM probe operates in contactless acquisition mode, and while an electric and/or a magnetic field appears around the tip of the sample. A preferred embodiment involves a DC biased sample scanned by a grounded probe operating in EFM mode (Electric Force Microscopy). The scan is repeated multiple times at decreasing distances from the sample tip, until the field is detected in the form of an area in the detected image, exhibiting a gradient of the measured probe parameter on which the image is based. Further decreasing the distance and repeating the scan allows to define the position of the sample tip's apex area (21) and align the probe tip to said area.

3. 发明申请

WO2019147399A1 METHODS, SYSTEMS AND APPARATUSES FOR DETERMINING COMPOSITE MATERIAL CHARACTERISTICS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019147399A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/US2019/012137
申请日：2019-01-03
申请人： THE BOEING COMPANY , WASHINGTON UNIVERSITY
发明人： THIMSEN, Elijah James , OLDHAM, III, Harold Eugene , FERRIELL, Daniel Richard , RUBIN, Alexander
IPC分类号： G01Q60/30 , B29C70/06 , G01N27/20 , G01Q70/06 , G01N27/61 , B64F5/60
CPC分类号： G01Q60/30 , B29C70/06 , B64F5/60 , G01Q70/06
摘要： Methods, systems and apparatuses for determining the surface potential distribution of treated composite material surfaces, and for non-destructively predicting the fracture toughness of a composite material are disclosed herein.

4. 发明申请

WO2018033657A1 DISPOSITIVO Y MÉTODO PARA MEDIR MUESTRAS FERROELÉCTRICAS Y/O PIEZOELÉCTRICAS 审中-公开
标题翻译：用于测量铁电和/或压电样品的装置和方法
公开(公告)号：WO2018033657A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：PCT/ES2017/070581
申请日：2017-08-11
申请人： CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC)
发明人： RODRÍGUEZ GÓMEZ, Andrés , GICH GARCÍA, Marti , PUIG MOLINA, María Teresa , OBRADORS BERENGUER, Francesc Xavier , CARRETERO GENEVRIER, Adrien
IPC分类号： G01Q60/30 , G02B21/00
CPC分类号： G01Q60/30
摘要： La presente invención se refiere a un microscopio piezoeléctrico de fuerza directa (1) y a un método de formación de imágenes y/o caracterización de muestras (9) ferroeléctricas y/o piezoeléctricas mediante el microscopio piezoeléctrico de fuerza directa (1). Este dispositivo y este método permiten obtener una medición cuantitativa directa de la constante piezoeléctrica en muestras (9) piezoeléctricas y/o ferroeléctricas mediante el uso de medios amplificadores (5) y una sonda que comprende una punta (3), que está adaptada para descargar todas las cargas superficiales de la muestra y tensionar un material piezoeléctrico con el fin de recoger la carga acumulada por el efecto piezoeléctríco directo.
摘要翻译：本发明涉及压电直接力显微镜（1）以及样品（9）的成像和/或表征方法。）使用直接力压电显微镜（1）进行铁电和/或压电。该装置和该M＆eacute;所有可能获得的测量COLLISION定量Ñ直接恒定piezoel＆eacute; ctrica样品（9）piezoel＆eacute;电气和/或ferroel＆eacute;电机使用放大装置（5），并包括一个探针点（3），这是适用于释放样品的所有表面负载并对压电材料施加应力，以通过直接压电效应收集累积的负载。

5. 发明申请

WO2011138738A1 APPAREIL DE MESURE DE LA RESISTANCE ELECTRIQUE LOCALE D'UNE SURFACE 审中-公开
标题翻译：测量表面局部电阻的装置
公开(公告)号：WO2011138738A1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：PCT/IB2011/051951
申请日：2011-05-03
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , ECOLE SUPERIEURE D'ELECTRICITE , SCHNEEGANS, Olivier , CHRETIEN, Pascal , HOUZE, Frédéric
发明人： SCHNEEGANS, Olivier , CHRETIEN, Pascal , HOUZE, Frédéric
IPC分类号： G01Q60/30 , G01R15/08 , G01R27/20
CPC分类号： G01R27/02 , B82Y35/00 , G01Q60/30
摘要： Appareil de mesure de la résistance électrique locale d'une surface, comprenant : une source de tension continue pour appliquer une tension de polarisation (Vp0i) à un échantillon (E) à caractériser; un circuit de mesure (CM), pouvant être connecté à une sonde conductrice susceptible d'entrer en contact avec une surface (SE) dudit échantillon, pour générer un signal (S) représentatif d'une résistance de contact entre ladite sonde conductrice et ladite surface de l'échantillon; et un dispositif de commande (CMD) pour piloter ledit circuit de mesure; caractérisé en ce que ledit circuit de mesure comprend : un dipôle résistif de mesure (DM) présentant une résistance variable, connecté entre ladite sonde conductrice et une masse du circuit; et une unité de calcul (UC) pour générer ledit signal représentatif d'une résistance de contact entre ladite sonde conductrice et ladite surface de l'échantillon en fonction d'une tension (V s ) aux bornes dudit dipôle résistif de mesure.
摘要翻译：用于测量表面的局部电阻的装置，包括：用于向要表征的样品（E）施加极化电压（Vp0i）的DC电压源; 测量电路（CM），其可以连接到能够与所述样品的表面（SE）接触的导电探针，以便产生代表所述导电探针之间的接触电阻的信号（S）和所述样品的所述表面; 和用于指示所述测量电路的控制装置（CMD）; 其特征在于，所述测量电路包括：连接在所述导电探针和电路接地之间的具有可变电阻的电阻测量偶极子（DM）以及用于产生表示所述导电探针和所述样品表面之间的接触电阻的所述信号的计算单元（UC），作为所述电阻测量偶极子的所述端子两端的电压（Vs）的函数。

6. 发明申请

WO99023483A1 ELECTROSTATIC FORCE DETECTOR WITH CANTILEVER FOR AN ELECTROSTATIC FORCE MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：静电强度检测器，用于静电强度显微镜
公开(公告)号：WO99023483A1
公开(公告)日：1999-05-14
申请号：PCT/US1998/023059
申请日：1998-10-30
IPC分类号： G01B7/34 , G01N27/60 , G01Q40/00 , G01Q60/30 , G01Q60/40 , G01R29/12
CPC分类号： G01Q40/00 , G01Q60/30 , G01Q60/40 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要： An atomic force microscope using a cantilevered sensor (12) which is influenced by an electrostatic force given by the charge in the Unit Under Test (40). The cantilever sensor is preferably made of nickel foil. Both charge distribution and thickness of the sample are plotted in a 3D graph.
摘要翻译：使用悬臂传感器（12）的原子力显微镜，其受被测单元（40）中的电荷给出的静电力的影响。悬臂传感器优选由镍箔制成。样品的电荷分布和厚度都绘制在3D图中。

7. 发明申请

WO2018129226A1 SYSTEM, METHOD, COMPUTER-ACCESSIBLE MEDIUM AND APPARATUS FOR DNA MAPPING 审中-公开
公开(公告)号：WO2018129226A1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：PCT/US2018/012449
申请日：2018-01-05
申请人： VIRGINIA COMMONWEALTH UNIVERSITY , NEW YORK UNIVERSITY , UNIVERSITY OF BRISTOL
发明人： REED, Jason , MISHRA, Bhubaneswar , MIKHEYKIN, Andrey , PICCO, Loren , PAYTON, Oliver , RUSSELL-PAVIER, Freddie
IPC分类号： C12N9/22 , C12N15/10 , C12Q1/68 , G01Q60/30
摘要： Exemplary embodiments of the present disclosure can include, for example, an atomic force microscopy (AFM) system, including a cantilever(s), an optical pickup unit(s) (OPU(s)) including a laser positioned over the cantilever(s), and a power source providing noise with a noise level that is below 300 Picometers. The noise level of the power source can be below 200 Picometers. A digitizing arrangement can be included which can be associated with the OPU. The digitizing arrangement(s) can have a bandwidth of about 2 MHZ. The OPU(s) can have a detection bandwidth of at least 80 MHZ. The exemplary apparatus can be combined with a chemical protocol and statistical signal processing and image analysis procedures to map DNA at high speed and accuracy.

8. 发明申请

WO2016138398A1 SYSTEMS AND METHODS FOR MANUFACTURING NANO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM PROBES 审中-公开
标题翻译：制造纳米电子机械系统探针的系统和方法
公开(公告)号：WO2016138398A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/US2016/019806
申请日：2016-02-26
申请人： XALLENT, LLC
发明人： AMPONSAH, Kwame
IPC分类号： G01Q60/30 , G01Q70/06 , G01Q70/10 , G01Q70/14
CPC分类号： G01Q70/06 , G01Q60/30 , G01Q70/10 , G01Q70/14
摘要： Systems and methods for manufacturing multiple integrated tip probes for scanning probe microscopy. According to an embodiment is a microscope probe configured to analyze a sample, the microscope probe including: a movable probe tip including a terminal probe end; a first actuator configured to displace the movable probe tip along a first axis; and a detection component configured to detect motion of the movable probe tip in response to an applied signal; where the moveable probe tip comprises a metal layer affixed to a supporting layer, at least a portion of the metal layer at the terminal probe end extending past the supporting layer.
摘要翻译：用于扫描探针显微镜制造多个集成尖端探针的系统和方法。根据一个实施例，被配置为分析样品的显微镜探针，所述显微镜探针包括：可移动探针末端，其包括末端探针末端; 第一致动器，其构造成沿着第一轴线移动所述可移动探针尖端; 以及检测部件，被配置为响应于所施加的信号来检测所述可移动探针尖端的运动; 其中所述可移动探针尖端包括固定到支撑层的金属层，所述终端探针端处的所述金属层的至少一部分延伸穿过所述支撑层。

9. 发明申请

WO2016138373A1 MULTIPLE INTEGRATED TIPS SCANNING PROBE MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：多个集成提示扫描探针显微镜
公开(公告)号：WO2016138373A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/US2016/019763
申请日：2016-02-26
申请人： XALLENT, LLC
发明人： AMPONSAH, Kwame
IPC分类号： G01Q70/06 , G01Q60/30 , G01Q60/04
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q10/045 , G01Q20/04 , G01Q30/025 , G01Q60/04 , G01Q60/30 , G01Q70/06
摘要： Device and system for characterizing samples using multiple integrated tips scanning probe microscopy. Multiple Integrated Tips (MiT) probes are comprised of two or more monolithically integrated and movable AFM tips positioned to within nm of each other, enabling unprecedented micro to nanoscale probing functionality in vacuum or ambient conditions. The tip structure is combined with capacitive comb structures offering laserless high-resolution electric-in electric-out actuation and sensing capability and novel integration with a Junction Field Effect Transistor for signal amplification and low-noise operation. This "platform-on-a-chip" approach is a paradigm shift relative to current technology based on single tips functionalized using stacks of supporting gear: lasers, nano-positioners and electronics.
摘要翻译：使用多个集成尖端扫描探针显微镜来表征样品的装置和系统。多个集成提示（MiT）探针由两个或多个单片集成和可移动的AFM尖端组成，定位在彼此的nm内，在真空或环境条件下实现了前所未有的微纳米级探测功能。尖端结构与提供无激光高分辨率电气输出启动和感测能力的电容梳结构组合，并与用于信号放大和低噪声操作的结型场效应晶体管新颖集成。这种“片上平台”方法是相对于基于使用支持齿轮堆叠功能化的单个提示的当前技术的范式转变：激光器，纳米定位器和电子器件。

10. 发明申请

WO2014129896A1 TERAHERTZ SCANNING PROBE MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译： TERAHERTZ扫描探针显微镜
公开(公告)号：WO2014129896A1
公开(公告)日：2014-08-28
申请号：PCT/NL2014/050103
申请日：2014-02-20
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
发明人： KLAPWIJK, Teunis Martien
IPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/40 , G01N21/35 , H01Q1/38 , H01Q13/20 , H01Q19/06
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/40 , H01Q13/206
摘要： The invention provides aterahertz scanning probe microscope setup comprising (i) a terahertz radiation source configured to generate terahertz radiation; (ii) a terahertz lens configured to receive at least part of the terahertz radiation from the terahertz radiation source; (iii) a cantilever unit comprising a cantilever with at its distal end an electrically conductive tip, a slot-line basedleaky wave antenna configured to receive at least part of the focused terahertz radiation, a stripline electrode with a terahertz radiation receiving part wave antenna and with a tip part in electrical conductive connection with the electrically conductive tip; (iv) a terahertz radiation receiver, configured to receive via the leaky wave antenna returning terahertz radiation from a sample.
摘要翻译：本发明提供了一种包括（i）被配置为产生太赫兹辐射的太赫兹辐射源的扫描探针显微镜设备; （ii）配置成从太赫兹辐射源接收至少部分太赫兹辐射的太赫兹透镜; （iii）悬臂单元，其包括在其远端处具有导电尖端的悬臂，被配置为接收至少部分聚焦的太赫兹辐射的缝线线性雷达波天线，具有太赫兹辐射接收部分波天线的带状线电极，其末端部分与导电尖端导电连接; （iv）太赫兹辐射接收器，被配置为经由漏波天线接收从样品返回的太赫兹辐射。

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