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热词
    • 1. 发明申请
    • 미소 캔틸레버 제조방법
    • 制造微型CANTILEVER的方法
    • WO2016017866A1
    • 2016-02-04
    • PCT/KR2014/012112
    • 2014-12-10
    • 서강대학교 산학협력단
    • 이정철송정기이일
    • G01Q70/16
    • G01Q70/16
    • 캔틸레버 및 캔틸레버 상에 제공되는 탐침을 갖는 미소 캔틸레버의 제조방법은, 탐침을 위한 액상의 탐침용 용액이 수용되며, 탐침의 형상에 대응하는 그루브를 갖는 탐침 몰드를 제공하는 단계, 탐침의 위치에 대응하여 캔틸레버를 그루브가 형성된 탐침 몰드에 접촉시키는 단계, 캔틸레버를 탐침 몰드에 접촉시킨 상태에서 그루브 내에 수용된 탐침용 용액을 경화시켜 캔틸레버 상에 탐침을 형성시키는 단계, 및 캔틸레버를 탐침 몰드에서 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
    • 用于制造具有悬臂的悬臂的悬臂的方法和设置在悬臂上的探针可以包括以下步骤:提供具有槽的探针模具,该探针模具容纳用于探针的液态探针溶液并且对应于探针的形状 ; 使悬臂与探针位置相对应的具有槽的探针模具接触; 通过在悬臂与探针模具接触的状态下固化容纳在槽中的探针溶液,在悬臂上形成探针; 并从探针模具分离悬臂。
    • 5. 发明申请
    • 透明基板を用いるプローブ顕微鏡のプローブ、その製造方法およびプローブ顕微鏡装置
    • 使用透明基板的探针显微镜探针,其制造方法和探针显微镜装置
    • WO2005015570A1
    • 2005-02-17
    • PCT/JP2004/011351
    • 2004-08-06
    • 独立行政法人科学技術振興機構小林 大川勝 英樹
    • 小林 大川勝 英樹
    • G12B21/08
    • G01Q70/16G01Q20/02
    • 光学的に透明な基板の表面にカンチレバーを形成したプローブを使用し、しかも、のぞき窓の機能を併せ持つ小型で精度が向上した透明基板を用いるプローブ顕微鏡のプローブ、その製造方法およびプローブ顕微鏡装置を提供する。 可視光または近赤外光に対して透明な材質からなる透明基板1201,1203の片方の表面に該表面から所定の間隔を保持して支持されている薄膜からなる1個または複数のカンチレバー1202,1204を有するプローブを備え、前記透明基板1201は、容器の内外の環境を仕切りながら光学的な観察や測定を可能にするのぞき窓の機能を併せ持つとともに、前記カンチレバー1202,1204を前記透明基板1201,1203の裏面から光学的に観察または計測し、また光学的に駆動可能に構成する。
    • 用于探针显微镜的探针,具有形成在具有观察窗口的功能的光学透明基板的表面上的悬臂的探针的尺寸小,并且具有提高的精度。 还提供了一种生产探针和探针显微镜装置的方法。 探针显微镜具有在每个透明基板(1201,1203)的一个表面上具有一个或多个悬臂(1202,1204)的探针,所述透明基板由对可见光或近红外光透明的材料形成,所述悬臂 被从表面预定距离地支撑并由薄膜形成。 透明基板(1201)分隔容器内外的环境,具有能够进行光学观察和测量的观察窗的功能。 可以从透明基板(1201,1203)的后表面光学地观察或测量悬臂(1202,1204),并且可以被光学驱动。