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    • 9. 发明申请
    • EXTENDED PROBE TIPS
    • 扩展的探索提示
    • WO2007130517A3
    • 2008-04-17
    • PCT/US2007010739
    • 2007-05-02
    • FORMFACTOR INCGRITTERS JOHN K
    • GRITTERS JOHN K
    • H01L23/48
    • G01R3/00G01R1/06727G01R1/06738G01R1/07342
    • Probe tips, methods for making probe tips, and method for using such probe trips are described. The probe tips can include a pedestal portion connected to a beam of a cantilever structure and a contact portion that can contact an electronic component that to be tested. The pedestal portion and contact portions can have a generally trapezoidal shape. The probe tips can also include a rectangular-shaped extension portion located between the base and contact portions. The probe tips can be made using a dual-etching process that creates the generally trapezoidal shape of the base and contact portions and the generally rectangular-shaped extension portion.
    • 介绍探针提示,探针提示的方法以及使用这种探针跳闸的方法。 探针尖端可以包括连接到悬臂结构的梁的基座部分和可以接触待测试的电子部件的接触部分。 基座部分和接触部分可以具有大致梯形的形状。 探针尖端还可以包括位于基部和接触部分之间的矩形延伸部分。 可以使用双蚀刻工艺制造探针尖端,该工艺产生基部和接触部分以及大致矩形延伸部分的大致梯形形状。