会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 51. 发明申请
    • 銅配線ポリイミドフィルムの製造方法および銅配線ポリイミドフィルム
    • 生产铜线聚酰亚胺膜和铜线聚酰亚胺薄膜的工艺
    • WO2007111268A1
    • 2007-10-04
    • PCT/JP2007/056076
    • 2007-03-23
    • 宇部興産株式会社下川 裕人番場 啓太
    • 下川 裕人番場 啓太
    • H05K3/18H05K1/09H05K3/38B32B15/08
    • H05K3/108H05K1/0346H05K3/025H05K3/427H05K2201/0154H05K2203/0264H05K2203/0353Y10T156/11Y10T428/24917Y10T428/265
    • This invention provides a highly linear and very small-pitch copper wiring polyimide film. The copper wiring polyimide film is produced by a process for producing a copper wiring polyimide film having a 20 to 45 µm-pitch copper wiring part by a semi-additive method using a copper foil stacked polyimide film (1) with a carrier. The production process comprises (a) the step of providing a copper foil stacked film comprising a copper foil (4b) having a film-side surface roughness Rz of not more than 1.0 µm and a thickness in the range of 0.5 µm to 2 µm on a surface of a polyimide film (2), (b) the step of forming a plating resist pattern layer (17) in which a 20 to 45 µm-pitch wiring pattern can be formed on the upper surface of the copper foil, (c) the step of conducting copper plating (10) on the copper foil part exposed from the resist, (d) the step of removing the plating resist, and (e) the step of removing the copper foil exposed on the plating resist-removed part to expose a polyimide film face (8).
    • 本发明提供一种高度线性且非常小间距的铜布线聚酰亚胺膜。 铜布线聚酰亚胺膜是通过使用铜箔层叠聚酰亚胺膜(1)与载体的半添加法制造具有20〜45μm间距铜布线部分的铜布线聚酰亚胺膜的方法制造的。 制造方法包括:(a)提供铜箔层叠膜的工序,该铜箔层叠膜包括膜侧表面粗糙度Rz为1.0μm以下且厚度为0.5μm〜2μm的铜箔(4b) 聚酰亚胺膜(2)的表面,(b)形成能够在铜箔的上表面上形成20〜45μm间距的布线图案的电镀抗蚀剂图案层(17)的工序,(c )在从抗蚀剂露出的铜箔部分上进行镀铜(10)的步骤,(d)去除电镀抗蚀剂的步骤,以及(e)除去暴露在电镀抗蚀剂去除部分上的铜箔的步骤 以暴露聚酰亚胺膜面(8)。
    • 60. 发明申请
    • 金属被膜とその形成方法および金属配線
    • 金属涂层膜,其形成方法和金属接线
    • WO2006129482A1
    • 2006-12-07
    • PCT/JP2006/309838
    • 2006-05-17
    • 住友電気工業株式会社岡田 一誠下田 浩平
    • 岡田 一誠下田 浩平
    • C23C26/00C22C5/06H01B1/22H01B5/14H01B13/00
    • C23C24/08C22C5/06C23C24/00C23C26/00H01B1/02H01B1/22H05K1/097Y10T428/12Y10T428/12014Y10T428/24355Y10T428/24917
    • 金属微粒子と、水と、分子量2000~30000の分散剤とを含む金属微粒子分散液を、基材の表面に塗布し、焼成して形成され、(1) Agと、(2) Au、Pt、Pd、Ru、Ir、Sn、Cu、Ni、Fe、Co、Ti、およびInからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属と、を含む合金からなり、合金の総量中の、Agの含有割合が80~99.9原子%、平均結晶粒径が0.2~5μmとすることにより、表面粗度が小さく、平滑性や緻密性に優れ、しかも、基材への密着性やエッチング性に優れた金属被膜を得るとともに、前記金属被膜を形成するための形成方法と、前記金属被膜をパターン形成した金属配線とを提供する。 700°C以下の温度で焼成する。金属配線は、金属被膜をパターン形成した。
    • 公开了一种金属涂膜,其通过将含有膳食微粒,水和分子量为2,000-3,000的分散剂的金属颗粒分散体施加到基底表面并进行烧制而形成。 该金属涂膜由含有(1)Ag的合金和(2)选自Au,Pt,Pd,Ru,Ir,Sn,Cu,Ni,Fe,Co,Ti中的至少一种金属和 In中,Ag含量相对于总合金为80-99.9at%,平均晶粒尺寸为0.2-5μm。 通过具有这种结构,金属涂膜具有低的表面粗糙度,优异的平滑性和优异的致密性,同时表现出优异的对基材的粘附性和优异的蚀刻性能。 还公开了形成这种金属涂膜的方法和通过图案化这种金属涂膜而获得的金属布线。 涂膜在不高于700℃的温度下焙烧。