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    • 9. 发明申请
    • 絶縁トランス
    • WO2022210541A1
    • 2022-10-06
    • PCT/JP2022/015019
    • 2022-03-28
    • ローム株式会社
    • 田中 文悟
    • H01L25/00H01F19/04H03K17/691H01L21/822H01L27/04H01F27/00H02M1/08
    • 絶縁トランスは、絶縁層と、トランスと、第1キャパシタ電極と第2キャパシタ電極とを有するキャパシタと、を備える。トランスは、第1信号端と第1接地端を有し、第1信号端に低圧を印加可能に構成された第1コイルと、絶縁層の厚さ方向に第1コイルから離れて配置され、第2信号端と第2接地端を有し、第2信号端に高圧を印加可能に構成された第2コイルとを有する。絶縁層は、厚さ方向において交互に積層された複数の薄膜および複数の層間絶縁膜を有し、複数の薄膜は、厚さ方向において互いに離れた第1薄膜と第2薄膜とを含み、複数の層間絶縁膜は、厚さ方向において第1薄膜と隣り合う第1層間絶縁膜と、厚さ方向において第2薄膜と隣り合う第2層間絶縁膜とを含み、第1キャパシタ電極は、第1薄膜と第1層間絶縁膜との間に形成され、第2キャパシタ電極は、第2薄膜と第2層間絶縁膜との間に形成されている。