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    • 9. 发明专利
    • 以氧化或氮化處理方式增加電阻器之電阻
    • 以氧化或氮化处理方式增加电阻器之电阻
    • TW543040B
    • 2003-07-21
    • TW090127578
    • 2001-11-06
    • 萬國商業機器公司
    • 阿內W 波蘭汀丹尼爾C 艾德斯坦安東尼K 史丹博
    • H01C
    • C23C8/02C23C8/04C23C8/10C23C8/24C25D11/00C25D11/02C25D11/026H01C7/006H01C17/26H01L21/263H01L27/0802H01L29/8605Y10S257/904Y10S257/914
    • 一種用於增加位在半等體結構中電阻器之電阻的方法,係藉由分別使用氧/氮(亦即氧或氮)粒子氧化或氮化該點阻器之表層之一部份。半導體結構可包括半導體晶圓、半導體晶片以及積體電路。第一貴施例包括加熱一加熱反應室之內部,加熱反應室包含氧/氮粒子為氣體的含氧/氮分子(例如氧/氮分子)。第二實施例包括藉由輻射波束(例如雷射輻射)或粒子波束加熱表層之部分,使半導體結構位在含有氧/氮粒子為氣體的含氧/氮分子(例如氧/氮分子)之反應室中。第三實施例包括:使用電漿反應室產生電漿氧/氮雜子;以及施加直流電壓至電漿氧/氮離子以加速電漿氧/氮離子進入電阻器中,使氧/氮離子包含電漿氧/氮離子。第四實施例包括使用陽極電鍍電路在電阻器浸漬之電解溶液中電解產生氧/氮離子,其中氧/氮離子包含電解產生氧/氮離子。第五實施例包括浸漬半導體結構於包含氧/氮粒子之化學溶液中,其中氧/氮粒子可包括含氧/氮液體分子、氧/氮離子或是施壓溶解於化學溶液之含氧/氮氣體。
    • 一种用于增加位在半等体结构中电阻器之电阻的方法,系借由分别使用氧/氮(亦即氧或氮)粒子氧化或氮化该点阻器之表层之一部份。半导体结构可包括半导体晶圆、半导体芯片以及集成电路。第一贵施例包括加热一加热反应室之内部,加热反应室包含氧/氮粒子为气体的含氧/氮分子(例如氧/氮分子)。第二实施例包括借由辐射波束(例如激光辐射)或粒子波束加热表层之部分,使半导体结构位在含有氧/氮粒子为气体的含氧/氮分子(例如氧/氮分子)之反应室中。第三实施例包括:使用等离子反应室产生等离子氧/氮杂子;以及施加直流电压至等离子氧/氮离子以加速等离子氧/氮离子进入电阻器中,使氧/氮离子包含等离子氧/氮离子。第四实施例包括使用阳极电镀电路在电阻器浸渍之电解溶液中电解产生氧/氮离子,其中氧/氮离子包含电解产生氧/氮离子。第五实施例包括浸渍半导体结构于包含氧/氮粒子之化学溶液中,其中氧/氮粒子可包括含氧/氮液体分子、氧/氮离子或是施压溶解于化学溶液之含氧/氮气体。