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    • 4. 发明专利
    • 用以降低超低k介電薄膜之黏著層厚度並增進其破壞抵抗性之製程 PROCESS FOR LOWERING ADHESION LAYER THICKNESS AND IMPROVING DAMAGE RESISTANCE FOR THIN ULTRA LOW-K DIELECTRIC FILM
    • 用以降低超低k介电薄膜之黏着层厚度并增进其破坏抵抗性之制程 PROCESS FOR LOWERING ADHESION LAYER THICKNESS AND IMPROVING DAMAGE RESISTANCE FOR THIN ULTRA LOW-K DIELECTRIC FILM
    • TW201230192A
    • 2012-07-16
    • TW100140756
    • 2011-11-08
    • 應用材料股份有限公司
    • 查哈布拉瑪亨德拉任康樹狄摩斯亞歷山卓T
    • H01L
    • C23C16/401C23C8/10C23C16/45523C23C16/56
    • 在此提供一種改良的方法用於沉積超低介電常數薄膜堆疊。本發明實施例藉由將超低介電薄膜堆疊(小於2k)中的氧化物黏著層厚度降低至約或小於200,而將來自沉積超低介電常數薄膜堆疊的最初階段的k(介電常數)影響最小化,因而將薄膜堆疊的厚度非均勻性降低至小於2%。該改良的製程以較低的沉積速率與較低的電漿密度以及較高的總流速,於超低介電薄膜堆疊中沉積氧化物黏著層與塊層,而在薄膜沉積期間,產生共沉積物種的較佳封裝/排序,此導致較高機械强度與較低孔隙率。改良的黏著層提供高附著能,使超低介電常數薄膜與下層阻障/襯墊層間具有較佳的附著性。所產生的低介電薄膜具有奈米尺寸的孔洞以及較緊密的孔洞尺寸分佈,而得到具有約2.5或更低的介電常數的低介電常數薄膜。
    • 在此提供一种改良的方法用于沉积超低介电常数薄膜堆栈。本发明实施例借由将超低介电薄膜堆栈(小于2k)中的氧化物黏着层厚度降低至约或小于200,而将来自沉积超低介电常数薄膜堆栈的最初阶段的k(介电常数)影响最小化,因而将薄膜堆栈的厚度非均匀性降低至小于2%。该改良的制程以较低的沉积速率与较低的等离子密度以及较高的总流速,于超低介电薄膜堆栈中沉积氧化物黏着层与块层,而在薄膜沉积期间,产生共沉积物种的较佳封装/排序,此导致较高机械强度与较低孔隙率。改良的黏着层提供高附着能,使超低介电常数薄膜与下层阻障/衬垫层间具有较佳的附着性。所产生的低介电薄膜具有奈米尺寸的孔洞以及较紧密的孔洞尺寸分布,而得到具有约2.5或更低的介电常数的低介电常数薄膜。
    • 7. 发明专利
    • 半導體製程用氧化裝置與方法 OXIDATION APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
    • 半导体制程用氧化设备与方法 OXIDATION APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
    • TW200834720A
    • 2008-08-16
    • TW096135603
    • 2007-09-21
    • 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 井上久司 INOUE, HISASHI問谷昌孝 TOIYA, MASATAKA水野功勝 MIZUNO, YOSHIKATSU
    • H01L
    • C23C8/10H01L21/02238H01L21/02255H01L21/31662H01L21/67109
    • 一種半導體製程用氧化裝置,其包含:一製程容器,該製程容器具有一製程場域,其經組態用以在間隔處垂直地容納目標基板;一加熱器,其經組態用以加熱該製程場域;一排氣系統,其經組態用以從該製程場域內排氣;一個氧化氣體供應電路,其經組態用以將一種氧化氣體供應至該製程場域;及一去氧氣體供應電路,其經組態用以將一去氧氣體供應至該製程場域。該氧化氣體供應電路包含一個氧化氣體噴嘴,其係在一對應於該製程場域之垂直長度上延伸,且具有在對應於該製程場域之垂直長度上排列的氣體噴流孔。該去氧氣體供應電路包括去氧氣體噴嘴,該等去氧氣體噴嘴具有分別對應於垂直排列之製程場域的區之不同高度,及各具有一形成在一對應區之高度處的氣體噴流孔。
    • 一种半导体制程用氧化设备,其包含:一制程容器,该制程容器具有一制程场域,其经组态用以在间隔处垂直地容纳目标基板;一加热器,其经组态用以加热该制程场域;一排气系统,其经组态用以从该制程场域内排气;一个氧化气体供应电路,其经组态用以将一种氧化气体供应至该制程场域;及一去氧气体供应电路,其经组态用以将一去氧气体供应至该制程场域。该氧化气体供应电路包含一个氧化气体喷嘴,其系在一对应于该制程场域之垂直长度上延伸,且具有在对应于该制程场域之垂直长度上排列的气体喷流孔。该去氧气体供应电路包括去氧气体喷嘴,该等去氧气体喷嘴具有分别对应于垂直排列之制程场域的区之不同高度,及各具有一形成在一对应区之高度处的气体喷流孔。