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1. 发明专利

TW201441631A 基於電荷整合的靜電夾鉗健康監視器审中-公开
简体标题：基于电荷集成的静电夹钳健康监视器
公开(公告)号：TW201441631A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW102148139
申请日：2013-12-25
申请人：艾克塞利斯科技公司 , AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：麥英泰爾愛德華 , MCINTYRE, EDWARD , 蘭尼愛德華 , LADNY, EDWARD , 羅賓森娜塔尼爾 , ROBINSON, NATHANIEL , 李 W 戴維斯 , LEE, W. DAVIS
IPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67288 , H01L21/6833 , H01L21/68707
摘要：本發明提供一種靜電夾鉗監視系統，其具有一靜電夾鉗，該靜電夾鉗經組態以經由一或多個電極選擇性地將一工件靜電夾持至與該工件相關聯之一夾持表面。一電源供應器電耦接至該靜電夾鉗，其中該電源供應器經組態以選擇性地供應一夾持電壓至該靜電夾鉗之該一或多個電極。一資料獲取系統耦接至該電源供應器且經組態以量測供應至該一或多個電極之一電流，從而界定一經量測電流。一控制器隨時間整合該經量測電流，從而判定與在該工件與靜電夾鉗之間的一夾持力相關聯之一電荷值。一記憶體儲存在複數個夾持循環中與該夾持力相關聯之該電荷值，從而界定複數個電荷值，且該控制器基於一當前判定之電荷值與該複數個電荷值之一比較判定該靜電夾鉗之一夾持能力。
简体摘要：本发明提供一种静电夹钳监视系统，其具有一静电夹钳，该静电夹钳经组态以经由一或多个电极选择性地将一工件静电夹持至与该工件相关联之一夹持表面。一电源供应器电耦接至该静电夹钳，其中该电源供应器经组态以选择性地供应一夹持电压至该静电夹钳之该一或多个电极。一数据获取系统耦接至该电源供应器且经组态以量测供应至该一或多个电极之一电流，从而界定一经量测电流。一控制器随时间集成该经量测电流，从而判定与在该工件与静电夹钳之间的一夹持力相关联之一电荷值。一内存存储在复数个夹持循环中与该夹持力相关联之该电荷值，从而界定复数个电荷值，且该控制器基于一当前判定之电荷值与该复数个电荷值之一比较判定该静电夹钳之一夹持能力。

2. 发明专利

TW203657B 靜電荷警告裝置失效
简体标题：静电荷警告设备
公开(公告)号：TW203657B
公开(公告)日：1993-04-11
申请号：TW081103883
申请日：1992-05-19
申请人：伊扎特.G.貝克霍姆
发明人：伊扎特.G.貝克霍姆
IPC分类号： G08B , G01R
CPC分类号： G01R29/24
摘要：一種腕戴式靜電荷警告裝置，被構建和配置成在大部時間保持無聲。當穿戴該裝置之被充電之人靠近一個接地或接地不良之電子電路之情況時，該裝置就發出一個可耳聞之信號，藉以在發生損壞之前用來警告對電路之可能損害。本發明所根據之基本觀念是可以利用連接成主－從組態的二個RC電路來檢測靜電荷之移動。
简体摘要：一种腕戴式静电荷警告设备，被构建和配置成在大部时间保持无声。当穿戴该设备之被充电之人靠近一个接地或接地不良之电子电路之情况时，该设备就发出一个可耳闻之信号，借以在发生损坏之前用来警告对电路之可能损害。本发明所根据之基本观念是可以利用连接成主－从组态的二个RC电路来检测静电荷之移动。

3. 发明专利

TW200641364A 離子控制偵測器审中-公开
简体标题：离子控制侦测器
公开(公告)号：TW200641364A
公开(公告)日：2006-12-01
申请号：TW094119625
申请日：2005-06-14
申请人：修谷魯電子機器股份有限公司 HUGLE ELECTRONICS INC.
发明人：中島用松 NAKAJIMA YOMATSU
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R19/0061 , G01R29/12 , G01R29/24
摘要：〔課題〕提供一種低價格之離子控制偵測器，藉著極簡單之構造，使得可檢測離子平衡或被消除靜電物之表面電位，可有助於提高電離器之消除靜電之性能。〔解決手段〕一種離子控制偵測器，在係供給被消除靜電物正負離子而消除靜電之靜電消除裝置，包括用以量測被消除靜電物之表面電位之表面電位偵測用探針，其中包括：電位檢測部11a，構成表面電位偵測用探針11；及導電性之蓋13，配置成包圍該電位檢測部；利用電位檢測部11a檢測因被消除靜電物30之帶電電荷或自靜電消除裝置20所供給之離子而在蓋13產生之電位後，作為回授信號向靜電消除裝置20內之控制電路24送出。
简体摘要：〔课题〕提供一种低价格之离子控制侦测器，借着极简单之构造，使得可检测离子平衡或被消除静电物之表面电位，可有助于提高电离器之消除静电之性能。〔解决手段〕一种离子控制侦测器，在系供给被消除静电物正负离子而消除静电之静电消除设备，包括用以量测被消除静电物之表面电位之表面电位侦测用探针，其中包括：电位检测部11a，构成表面电位侦测用探针11；及导电性之盖13，配置成包围该电位检测部；利用电位检测部11a检测因被消除静电物30之带电电荷或自静电消除设备20所供给之离子而在盖13产生之电位后，作为回授信号向静电消除设备20内之控制电路24送出。

4. 发明专利

TW538249B 電荷量測裝置有权
简体标题：电荷量测设备
公开(公告)号：TW538249B
公开(公告)日：2003-06-21
申请号：TW089120861
申请日：2000-10-06
申请人：華普索魯瓊股份有限公司
发明人：鈴本功一
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R29/24
摘要：本發明揭露一種靜電計(electrometer)，包括：一外導電體(external electrical conductor)、一表面靜電計(surface electrometer)、一內導電體(inner electrical conductor)、一放大電路(amplifier circuit)以及一控制部份(control section)。該外導電體具有一用來探測待測物電位之第一部份(first section)和用來適合地接觸上述待測物之第二部份(second section)。該表面靜電計則是偵測第一部份的電位。該內導電體與外導電體隔絕，支承表面靜電計並使表面靜電計屏蔽於外部電場。表面靜電計的輸出則是由該放大電路轉換成一低阻抗信號並放大之。該控制部份是根據放大電路的輸出計算出上述待測物的電位。該第一部份則被配置成使其適應表面靜電計的量測。
简体摘要：本发明揭露一种静电计(electrometer)，包括：一外导电体(external electrical conductor)、一表面静电计(surface electrometer)、一内导电体(inner electrical conductor)、一放大电路(amplifier circuit)以及一控制部份(control section)。该外导电体具有一用来探测待测物电位之第一部份(first section)和用来适合地接触上述待测物之第二部份(second section)。该表面静电计则是侦测第一部份的电位。该内导电体与外导电体隔绝，支承表面静电计并使表面静电计屏蔽于外部电场。表面静电计的输出则是由该放大电路转换成一低阻抗信号并放大之。该控制部份是根据放大电路的输出计算出上述待测物的电位。该第一部份则被配置成使其适应表面静电计的量测。

5. 发明专利

TW257872B 自偏壓測量方法及其裝置以及靜電吸附裝置失效
简体标题：自偏压测量方法及其设备以及静电吸附设备
公开(公告)号：TW257872B
公开(公告)日：1995-09-21
申请号：TW083105399
申请日：1994-06-15
申请人：東京電子股份有限公司
发明人：佐伯弘明 , 近藤昌樹
IPC分类号： H01L , H05H
CPC分类号： H01J37/32935 , G01R29/24 , H01L21/6833
摘要：本發明係一種對於產生電漿於載置在處理容器內之一對電極間且藉具備靜電吸附結構被載置於一對電極一方之電極上之被處理體加以實施電漿處理時之測量被處理體之自偏壓電壓之方法，將提供具備有，對於靜電吸附用電極施加改變直流電壓大小之直流電壓，以檢出被處理體和靜電吸附用電極間之漏電流之工程，及依據所檢出之漏電流以算出被處理體之自偏壓電壓之工程的自偏壓測量方法及測量自偏壓用之裝置，以及具有能測量自偏壓機構之靜電吸附裝置者。
简体摘要：本发明系一种对于产生等离子于载置在处理容器内之一对电极间且藉具备静电吸附结构被载置于一对电极一方之电极上之被处理体加以实施等离子处理时之测量被处理体之自偏压电压之方法，将提供具备有，对于静电吸附用电极施加改变直流电压大小之直流电压，以检出被处理体和静电吸附用电极间之漏电流之工程，及依据所检出之漏电流以算出被处理体之自偏压电压之工程的自偏压测量方法及测量自偏压用之设备，以及具有能测量自偏压机构之静电吸附设备者。

6. 发明专利

TW201741236A 奈米碳管陣列電學特性的原位測量裝置审中-公开
简体标题：奈米碳管数组电学特性的原位测量设备
公开(公告)号：TW201741236A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW105118374
申请日：2016-06-13
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：王江濤 , WANG, JIANG-TAO , 金翔 , JIN, XIANG , 柳鵬 , LIU, PENG , 魏洋 , WEI, YANG , 姜開利 , JIANG, KAI-LI , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： C01B32/158 , C01B32/182 , B82Y40/00 , B82B3/00
CPC分类号： G01R29/24 , B82Y40/00 , C23C16/26 , C23C16/46 , C23C16/52 , G01N27/02 , G01N27/041 , G01N27/226 , G01R15/12 , G01R31/025 , G01R31/026 , H01L22/14 , H01L51/0002 , H01L51/0031 , H01L51/0048
摘要：一種奈米碳管陣列電學特性的原位測量裝置，包括一反應室、一基底、一第一電極、一連接線、一第二電極、一支撐結構、一測量表和若干導線；所述基底、第一電極、連接線、第二電極和支撐結構均設置於所述反應室的內部；所述測量表位於反應室的外部，且該測量表通過導線與所述第一電極和第二電極電連接；所述第一電極具有一空腔；所述支撐結構、第二電極和連接線相互配合，使基底懸空於所述空腔內。
简体摘要：一种奈米碳管数组电学特性的原位测量设备，包括一反应室、一基底、一第一电极、一连接线、一第二电极、一支撑结构、一测量表和若干导线；所述基底、第一电极、连接线、第二电极和支撑结构均设置于所述反应室的内部；所述测量表位于反应室的外部，且该测量表通过导线与所述第一电极和第二电极电连接；所述第一电极具有一空腔；所述支撑结构、第二电极和连接线相互配合，使基底悬空于所述空腔内。

7. 发明专利

TW201445273A 靜電偵測電路及靜電偵測方法审中-公开
简体标题：静电侦测电路及静电侦测方法
公开(公告)号：TW201445273A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW102118347
申请日：2013-05-24
申请人：瑞鼎科技股份有限公司 , RAYDIUM SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉政欽 , LIU, CHENG CHIN
IPC分类号： G05F1/571
CPC分类号： G01R31/002 , G01N27/60 , G01R5/28 , G01R15/165 , G01R19/0023 , G01R29/12 , G01R29/24 , G01R31/12
摘要：本發明提供一種靜電偵測電路，包含至少一靜電防護模組、至少一偵測模組及微處理控制模組。其中，至少一偵測模組分別連接於至少一靜電防護模組，且至少一偵測模組根據至少一靜電防護模組之驅動狀態產生驅動記錄訊號。微處理控制模組耦接於至少一偵測模組，其中當至少一偵測模組傳送驅動記錄訊號至微處理控制模組時，微處理控制模組記錄驅動記錄訊號。
简体摘要：本发明提供一种静电侦测电路，包含至少一静电防护模块、至少一侦测模块及微处理控制模块。其中，至少一侦测模块分别连接于至少一静电防护模块，且至少一侦测模块根据至少一静电防护模块之驱动状态产生驱动记录信号。微处理控制模块耦接于至少一侦测模块，其中当至少一侦测模块发送驱动记录信号至微处理控制模块时，微处理控制模块记录驱动记录信号。

8. 发明专利

TW200532212A 電流-電壓變換電路 CURRENT/CHARGE-VOLTAGE CONVERTER 审中-公开
简体标题：电流-电压变换电路 CURRENT/CHARGE-VOLTAGE CONVERTER
公开(公告)号：TW200532212A
公开(公告)日：2005-10-01
申请号：TW093135131
申请日：2004-11-16
申请人：安捷倫科技公司 AGILENT TECHNOLOGIES, INC.
发明人：籐崎朝也 FUJISAKI, TOMOYA , 後藤正治 GOTO, MASAHARU
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R29/24 , G01R19/0092
摘要：本發明提供一種電流–電壓變換器，其可以簡單之電路構造減輕運算放大器之負荷，防止漏電流，並且進行電容器11之充分放電。本發明藉由一種電流–電壓變換電路解決上述課題，該電流–電壓變換電路具有運算放大器、以及連接於與上述運算放大器之輸入端子及輸出端子之間的電容器，其特徵為包含第1一對二極體，其互相逆向連接於上述輸入端子，第2一對二極體，其與上述第1一對二極體逆向地連接於上述第1一對二極體之各他端，一對電流源，其互相逆向地連接於上述第1一對二極體之各他端，一對開關，其連接於上述第1一對二極體之各他端，以及電阻器，其連接於上述第2一對二極體之各他端與上述輸出端子之間。
简体摘要：本发明提供一种电流–电压变换器，其可以简单之电路构造减轻运算放大器之负荷，防止漏电流，并且进行电容器11之充分放电。本发明借由一种电流–电压变换电路解决上述课题，该电流–电压变换电路具有运算放大器、以及连接于与上述运算放大器之输入端子及输出端子之间的电容器，其特征为包含第1一对二极管，其互相逆向连接于上述输入端子，第2一对二极管，其与上述第1一对二极管逆向地连接于上述第1一对二极管之各他端，一对电流源，其互相逆向地连接于上述第1一对二极管之各他端，一对开关，其连接于上述第1一对二极管之各他端，以及电阻器，其连接于上述第2一对二极管之各他端与上述输出端子之间。

9. 发明专利

TW497369B 電漿領域中之電子能量分布的測定方法及其測定裝置失效
简体标题：等离子领域中之电子能量分布的测定方法及其测定设备
公开(公告)号：TW497369B
公开(公告)日：2002-08-01
申请号：TW090120729
申请日：2001-08-23
申请人：進藤春雄 , 東京威力科創股份有限公司
发明人：進藤春雄 , 深澤孝之
IPC分类号： H05H
CPC分类号： G01R29/24
摘要：本發明之電漿領域中之電子能量分布的測定方法，係測定以高頻電力生成之電槳領域中之電子能量分布者；其依下列步驟進行，即：將可藉通電加熱之加熱探針插入前述電漿領域中；令朝該加熱探針施加具有周期足以較前述加熱探針之加熱時間常數還短之脈衝電壓，維持可使熱電子釋出之狀態；形成一使欲釋出之前述熱電子之數量充分，且前述釋出電子所具有之電漿振動數足以較前述高頻電力之頻率高之狀態，使前述加熱探針之浮動電位追隨著高頻電位振動；檢測前述脈衝電壓之有電壓期與無電壓期之浮動電位差；並求出電漿領域中之電子能量分布。
简体摘要：本发明之等离子领域中之电子能量分布的测定方法，系测定以高频电力生成之电桨领域中之电子能量分布者；其依下列步骤进行，即：将可藉通电加热之加热探针插入前述等离子领域中；令朝该加热探针施加具有周期足以较前述加热探针之加热时间常数还短之脉冲电压，维持可使热电子发佈之状态；形成一使欲发佈之前述热电子之数量充分，且前述发佈电子所具有之等离子振动数足以较前述高频电力之频率高之状态，使前述加热探针之浮动电位追随着高频电位振动；检测前述脉冲电压之有电压期与无电压期之浮动电位差；并求出等离子领域中之电子能量分布。

10. 发明专利

TW201730568A 用於測量基板的靜電荷的方法及設備审中-公开
简体标题：用于测量基板的静电荷的方法及设备
公开(公告)号：TW201730568A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105139391
申请日：2016-11-30
申请人：康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：艾格奈羅賈伯瑞皮爾思 , AGNELLO, GABRIEL PIERCE , 樓氏彼得 , KNOWLES, PETER , 烏斯坦尼克柯瑞羅伯特 , USTANIK, CORREY ROBERT
IPC分类号： G01R15/16 , G01R29/24
CPC分类号： G01R29/24 , G01R31/2831
摘要：於此揭露用於測量基板表面上的靜電荷之設備及方法。該設備包括基板裝設平台、基板接觸組件、及至少一個電壓感應器，其中該設備經程式化以獨立控制滾輪的旋轉及平移速度及/或測量基板多點處的電壓，以產生針對該基板的至少一部分的一電壓二維映射。
简体摘要：于此揭露用于测量基板表面上的静电荷之设备及方法。该设备包括基板装设平台、基板接触组件、及至少一个电压感应器，其中该设备经进程化以独立控制滚轮的旋转及平移速度及/或测量基板多点处的电压，以产生针对该基板的至少一部分的一电压二维映射。

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