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1. 发明专利

TW538249B 電荷量測裝置有权
简体标题：电荷量测设备
公开(公告)号：TW538249B
公开(公告)日：2003-06-21
申请号：TW089120861
申请日：2000-10-06
申请人：華普索魯瓊股份有限公司
发明人：鈴本功一
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R29/24
摘要：本發明揭露一種靜電計(electrometer)，包括：一外導電體(external electrical conductor)、一表面靜電計(surface electrometer)、一內導電體(inner electrical conductor)、一放大電路(amplifier circuit)以及一控制部份(control section)。該外導電體具有一用來探測待測物電位之第一部份(first section)和用來適合地接觸上述待測物之第二部份(second section)。該表面靜電計則是偵測第一部份的電位。該內導電體與外導電體隔絕，支承表面靜電計並使表面靜電計屏蔽於外部電場。表面靜電計的輸出則是由該放大電路轉換成一低阻抗信號並放大之。該控制部份是根據放大電路的輸出計算出上述待測物的電位。該第一部份則被配置成使其適應表面靜電計的量測。
简体摘要：本发明揭露一种静电计(electrometer)，包括：一外导电体(external electrical conductor)、一表面静电计(surface electrometer)、一内导电体(inner electrical conductor)、一放大电路(amplifier circuit)以及一控制部份(control section)。该外导电体具有一用来探测待测物电位之第一部份(first section)和用来适合地接触上述待测物之第二部份(second section)。该表面静电计则是侦测第一部份的电位。该内导电体与外导电体隔绝，支承表面静电计并使表面静电计屏蔽于外部电场。表面静电计的输出则是由该放大电路转换成一低阻抗信号并放大之。该控制部份是根据放大电路的输出计算出上述待测物的电位。该第一部份则被配置成使其适应表面静电计的量测。

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