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1. 发明专利

TWI601962B 靜電檢測系統與方法有权
简体标题：静电检测系统与方法
公开(公告)号：TWI601962B
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：TW105142347
申请日：2016-12-21
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：唐敏注 , TUNG, MEAN-JUE , 湯士源 , TONG, SHI-YUAN , 黃玉婷 , HUANG, YU-TING , 楊明達 , YANG, MING-DA
IPC分类号： G01R29/24
CPC分类号： G01R29/12 , H01L21/67253 , H01L21/67288

2. 发明专利

TW201441631A 基於電荷整合的靜電夾鉗健康監視器审中-公开
简体标题：基于电荷集成的静电夹钳健康监视器
公开(公告)号：TW201441631A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW102148139
申请日：2013-12-25
申请人：艾克塞利斯科技公司 , AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：麥英泰爾愛德華 , MCINTYRE, EDWARD , 蘭尼愛德華 , LADNY, EDWARD , 羅賓森娜塔尼爾 , ROBINSON, NATHANIEL , 李 W 戴維斯 , LEE, W. DAVIS
IPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67288 , H01L21/6833 , H01L21/68707
摘要：本發明提供一種靜電夾鉗監視系統，其具有一靜電夾鉗，該靜電夾鉗經組態以經由一或多個電極選擇性地將一工件靜電夾持至與該工件相關聯之一夾持表面。一電源供應器電耦接至該靜電夾鉗，其中該電源供應器經組態以選擇性地供應一夾持電壓至該靜電夾鉗之該一或多個電極。一資料獲取系統耦接至該電源供應器且經組態以量測供應至該一或多個電極之一電流，從而界定一經量測電流。一控制器隨時間整合該經量測電流，從而判定與在該工件與靜電夾鉗之間的一夾持力相關聯之一電荷值。一記憶體儲存在複數個夾持循環中與該夾持力相關聯之該電荷值，從而界定複數個電荷值，且該控制器基於一當前判定之電荷值與該複數個電荷值之一比較判定該靜電夾鉗之一夾持能力。
简体摘要：本发明提供一种静电夹钳监视系统，其具有一静电夹钳，该静电夹钳经组态以经由一或多个电极选择性地将一工件静电夹持至与该工件相关联之一夹持表面。一电源供应器电耦接至该静电夹钳，其中该电源供应器经组态以选择性地供应一夹持电压至该静电夹钳之该一或多个电极。一数据获取系统耦接至该电源供应器且经组态以量测供应至该一或多个电极之一电流，从而界定一经量测电流。一控制器随时间集成该经量测电流，从而判定与在该工件与静电夹钳之间的一夹持力相关联之一电荷值。一内存存储在复数个夹持循环中与该夹持力相关联之该电荷值，从而界定复数个电荷值，且该控制器基于一当前判定之电荷值与该复数个电荷值之一比较判定该静电夹钳之一夹持能力。

3. 发明专利

TWI645200B 非接觸式靜電量測裝置有权
简体标题：非接触式静电量测设备
公开(公告)号：TWI645200B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW107100397
申请日：2018-01-04
申请人：國立彰化師範大學 , NATIONAL CHANGHUA UNIVERSITY OF EDUCATION
发明人：沈志雄 , SHEN, CHIH-HSIUNG , 郭宜庭 , KUO, I-TING
IPC分类号： G01R29/12 , G01R29/24

4. 发明专利

TW201823740A 靜電檢測系統與方法审中-公开
简体标题：静电检测系统与方法
公开(公告)号：TW201823740A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW105142347
申请日：2016-12-21
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：唐敏注 , TUNG, MEAN-JUE , 湯士源 , TONG, SHI-YUAN , 黃玉婷 , HUANG, YU-TING , 楊明達 , YANG, MING-DA
IPC分类号： G01R29/24
摘要：一種靜電檢測系統與方法，其適於檢測產生於基板的主動表面處的靜電。所述靜電檢測系統包括感測裝置與訊號處理裝置。感測裝置設置於至少鄰近所述基板的與所述主動表面相對的背面，用以量測產生於所述主動表面處的靜電並產生初始電訊號。訊號處理裝置與所述感測裝置電性連接，用以接收所述初始電訊號並對所述初始電訊號以電壓補償值進行修正以得到最終電訊號。
简体摘要：一种静电检测系统与方法，其适于检测产生于基板的主动表面处的静电。所述静电检测系统包括传感设备与信号处理设备。传感设备设置于至少邻近所述基板的与所述主动表面相对的背面，用以量测产生于所述主动表面处的静电并产生初始电信号。信号处理设备与所述传感设备电性连接，用以接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正以得到最终电信号。

5. 发明专利

TWI606681B 具有輸入節點和輸出節點的功率供應系統和從輸入節點供應功率至輸出節點的方法有权
简体标题：具有输入节点和输出节点的功率供应系统和从输入节点供应功率至输出节点的方法
公开(公告)号：TWI606681B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：TW102149339
申请日：2013-12-31
申请人：線性科技股份有限公司 , LINEAR TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：諾克山繆H , NORK, SAMUEL H.
IPC分类号： H02M3/10 , G01R29/24 , H02J7/00
CPC分类号： G05F1/62 , G01R29/24 , H02J7/0078 , H02M3/156 , H02M3/1582 , H02M2001/0032

6. 发明专利

TW201304345A 偵測器，電力接收器，電力傳送器，無接觸電力傳輸系統，及偵測方法审中-公开
简体标题：侦测器，电力接收器，电力发送器，无接触电力传输系统，及侦测方法
公开(公告)号：TW201304345A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101123056
申请日：2012-06-27
申请人：新力股份有限公司 , SONY CORPORATION
发明人：中野裕章 , NAKANO, HIROAKI , 福田伸一 , FUKUDA, SHINICHI , 村山雄二 , MURAYAMA, YUJI , 藤卷健一 , FUJIMAKI, KENICHI , 村上知倫 , MURAKAMI, TOMOMICHI
IPC分类号： H02J17/00 , G01R29/24
CPC分类号： H02J50/10 , G01V3/101 , H01F38/14 , H02J5/005 , H02J7/0068 , H02J50/12 , H02J50/60 , H02J50/80 , H02J50/90
摘要：本發明揭示一種用於偵測一外來物體之偵測器及方法。該偵測器包含具有一次級側線圈之一諧振電路、一偵測區段、一電力儲存區段及一控制區段。該偵測區段經組態以量測該諧振電路之一品質因數。該電力儲存區段經組態以基於該偵測區段中之該品質因數量測期間所消耗之電力量而自電力(該電力透過該次級側線圈而自一初級側線圈接收)接收一電荷。該控制區段經組態以在來自該初級側線圈之電力傳輸之暫停期間使用該電力儲存區段來操作該偵測區段。
简体摘要：本发明揭示一种用于侦测一外来物体之侦测器及方法。该侦测器包含具有一次级侧线圈之一谐振电路、一侦测区段、一电力存储区段及一控制区段。该侦测区段经组态以量测该谐振电路之一品质因子。该电力存储区段经组态以基于该侦测区段中之该品质因子量测期间所消耗之电力量而自电力(该电力透过该次级侧线圈而自一初级侧线圈接收)接收一电荷。该控制区段经组态以在来自该初级侧线圈之电力传输之暂停期间使用该电力存储区段来操作该侦测区段。

7. 发明专利

TW202030488A 電容檢測區域感測器及具有該電容檢測區域感測器之導電圖案檢查裝置审中-公开
简体标题：电容检测区域传感器及具有该电容检测区域传感器之导电图案检查设备
公开(公告)号：TW202030488A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108133632
申请日：2019-09-18
申请人：國立大學法人東北大學 , TOHOKU UNIVERSITY , 日商OHT股份有限公司 , OHT INC.
发明人：須川成利 , SUGAWA, SHIGETOSHI , 黒田理人 , KURODA, RIHITO , 後藤哲也 , GOTO, TETSUYA , 羽森寛 , HAMORI, HIROSHI , 村上真一 , MURAKAMI, SHINICHI , 安田俊朗 , YASUDA, TOSHIRO
IPC分类号： G01R29/24 , G01N27/22 , G01R31/02 , H05K3/00
摘要：本發明之電容檢測區域感測器將複數個電容感測器元件配置成二維陣列狀，呈任意的形狀且與外部電極進行電容耦合。具有電位差之檢查信號被供電至外部電極。第1、第2感測器輸出信號相對於所選擇之要與外部電極進行電容耦合之電容感測器元件，在上述檢查信號之第1信號時與第2信號時之時序，自上述電容感測器元件所取得。生成取所取得之第1、第2感測器輸出信號之差分而得到之差分信號，並根據差分信號之位準，生成以不同顏色或不同灰階來表示外部電極之形狀的圖像。
简体摘要：本发明之电容检测区域传感器将复数个电容传感器组件配置成二维数组状，呈任意的形状且与外部电极进行电容耦合。具有电位差之检查信号被供电至外部电极。第1、第2传感器输出信号相对于所选择之要与外部电极进行电容耦合之电容传感器组件，在上述检查信号之第1信号时与第2信号时之时序，自上述电容传感器组件所取得。生成取所取得之第1、第2传感器输出信号之差分而得到之差分信号，并根据差分信号之位准，生成以不同颜色或不同灰阶来表示外部电极之形状的图像。

8. 发明专利

TW201907166A 用於平坦表面之間的附著力測量之方法及裝置审中-公开
简体标题：用于平坦表面之间的附着力测量之方法及设备
公开(公告)号：TW201907166A
公开(公告)日：2019-02-16
申请号：TW107117202
申请日：2018-05-21
申请人：美商康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：艾格奈羅賈伯瑞皮爾思 , AGNELLO, GABRIEL PIERCE , 布朗塔緹雅娜維亞切斯拉沃夫娜 , BROWN, TATYANA VYACHESLAVOVNA , 寇爾卡爾登威斯里 , COLE, CARLTON WESLEY , 樓氏彼得 , KNOWLES, PETER , 曼利羅伯喬治 , MANLEY, ROBERT GEORGE , 熱列夫尼古拉拉雷夫 , ZHELEV, NIKOLAY ZHELEV
IPC分类号： G01R5/28 , G01R29/24 , B32B7/02
摘要：一種用於測量平坦表面之間的附著力之方法及裝置包括一測力計及一基板接觸組件，該基板接觸組件具有帶有與一真空源流體連通之至少一個開口或凹入通道之一平坦表面。該裝置與具有一平坦表面之一基板在第一位置、第二位置及第三位置之間相對於彼此移動，以便判定該基板接觸組件與該基板之該等平坦表面之間的一附著力。
简体摘要：一种用于测量平坦表面之间的附着力之方法及设备包括一测力计及一基板接触组件，该基板接触组件具有带有与一真空源流体连通之至少一个开口或凹入信道之一平坦表面。该设备与具有一平坦表面之一基板在第一位置、第二位置及第三位置之间相对于彼此移动，以便判定该基板接触组件与该基板之该等平坦表面之间的一附着力。

9. 发明专利

TWI647461B 基於電荷整合的靜電夾鉗健康監視器有权
简体标题：基于电荷集成的静电夹钳健康监视器
公开(公告)号：TWI647461B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW102148139
申请日：2013-12-25
申请人：美商艾克塞利斯科技公司 , AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：麥英泰爾愛德華 , MCINTYRE, EDWARD , 蘭尼愛德華 , LADNY, EDWARD , 羅賓森娜塔尼爾 , ROBINSON, NATHANIEL , 李 W 戴維斯 , LEE, W. DAVIS
IPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67 , H01L21/68

10. 发明专利

TW201734472A 具電荷偵測裝置之電子元件測試分類機审中-公开
简体标题：具电荷侦测设备之电子组件测试分类机
公开(公告)号：TW201734472A
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW105109465
申请日：2016-03-25
申请人：鴻勁科技股份有限公司
发明人：謝旼達 , 張簡榮力 , 陳振峯
IPC分类号： G01R29/24
摘要：一種具電荷偵測裝置之電子元件測試分類機，該測試分類機之機台係包括有供料裝置、收料裝置、測試裝置、輸送裝置、控制裝置、至少一離子產生器以及至少一電荷偵測裝置，該電荷偵測裝置係包括至少一偵測感知器及微處理器，該偵測感知器係架設於機台所屬環境空間中，以偵測機台之電荷訊號，並透過微處理器分析出機台所屬環境空間中是否有電荷不平衡的情形，而得以進一步控制該離子產生器調變釋放出更多的正離子或負離子，以中和機台所屬環境空間中的靜電荷而消除靜電，進而有效避免機台在測試過程中發生靜電放電現象，達到確保電子元件的測試品質。
简体摘要：一种具电荷侦测设备之电子组件测试分类机，该测试分类机之机台系包括有供料设备、收料设备、测试设备、输送设备、控制设备、至少一离子产生器以及至少一电荷侦测设备，该电荷侦测设备系包括至少一侦测感知器及微处理器，该侦测感知器系架设于机台所属环境空间中，以侦测机台之电荷信号，并透过微处理器分析出机台所属环境空间中是否有电荷不平衡的情形，而得以进一步控制该离子产生器调制释放出更多的正离子或负离子，以中和机台所属环境空间中的静电荷而消除静电，进而有效避免机台在测试过程中发生静电放电现象，达到确保电子组件的测试品质。

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