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1. 发明专利

TW201441631A 基於電荷整合的靜電夾鉗健康監視器审中-公开
简体标题：基于电荷集成的静电夹钳健康监视器
公开(公告)号：TW201441631A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW102148139
申请日：2013-12-25
申请人：艾克塞利斯科技公司 , AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：麥英泰爾愛德華 , MCINTYRE, EDWARD , 蘭尼愛德華 , LADNY, EDWARD , 羅賓森娜塔尼爾 , ROBINSON, NATHANIEL , 李 W 戴維斯 , LEE, W. DAVIS
IPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： G01R29/24 , H01L21/67288 , H01L21/6833 , H01L21/68707
摘要：本發明提供一種靜電夾鉗監視系統，其具有一靜電夾鉗，該靜電夾鉗經組態以經由一或多個電極選擇性地將一工件靜電夾持至與該工件相關聯之一夾持表面。一電源供應器電耦接至該靜電夾鉗，其中該電源供應器經組態以選擇性地供應一夾持電壓至該靜電夾鉗之該一或多個電極。一資料獲取系統耦接至該電源供應器且經組態以量測供應至該一或多個電極之一電流，從而界定一經量測電流。一控制器隨時間整合該經量測電流，從而判定與在該工件與靜電夾鉗之間的一夾持力相關聯之一電荷值。一記憶體儲存在複數個夾持循環中與該夾持力相關聯之該電荷值，從而界定複數個電荷值，且該控制器基於一當前判定之電荷值與該複數個電荷值之一比較判定該靜電夾鉗之一夾持能力。
简体摘要：本发明提供一种静电夹钳监视系统，其具有一静电夹钳，该静电夹钳经组态以经由一或多个电极选择性地将一工件静电夹持至与该工件相关联之一夹持表面。一电源供应器电耦接至该静电夹钳，其中该电源供应器经组态以选择性地供应一夹持电压至该静电夹钳之该一或多个电极。一数据获取系统耦接至该电源供应器且经组态以量测供应至该一或多个电极之一电流，从而界定一经量测电流。一控制器随时间集成该经量测电流，从而判定与在该工件与静电夹钳之间的一夹持力相关联之一电荷值。一内存存储在复数个夹持循环中与该夹持力相关联之该电荷值，从而界定复数个电荷值，且该控制器基于一当前判定之电荷值与该复数个电荷值之一比较判定该静电夹钳之一夹持能力。

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