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    • 4. 发明专利
    • 紅外線感測器模組及其製造方法 INFRARED SENSOR MODULE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
    • 红外线传感器模块及其制造方法 INFRARED SENSOR MODULE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
    • TW201237377A
    • 2012-09-16
    • TW100141246
    • 2011-11-11
    • 松下電器產業股份有限公司
    • 杉山貴則
    • G01J
    • G01J5/12G01J1/0271G01J1/0411G01J5/045G01J5/046G01J5/0806G01J5/0875H01L2224/48091H01L2224/48137H01L2224/49171H01L2224/73265H01L2924/3025H01L2924/00014H01L2924/00
    • 本發明提供一種紅外線感測器模組,其可減低固定透鏡用之接著劑之溢出,並可一面高精度的維持開度大小,一面以高精度進行高可靠性之紅外線檢測。該紅外線感測器模組,係將檢測紅外線之紅外線感測器元件30及處理紅外線感測器元件30之輸出的信號處理電路元件40配置於基板10上,並收納於外殼20。於外殼20設置有作為光學構件用開口窗之開口窗23;於開口窗23上安裝有作為光學構件之透鏡22,其係從該紅外線感測器元件間隔既定的距離而設置,並用以將外部之紅外線成像於該紅外線感測器元件30。於開口窗23之周緣部23R,在安裝透鏡22之一側具有薄壁部,且於透鏡22的周緣部與開口窗23的周緣部23R之間構成凹狀部25,該凹狀部25構成填充接著劑24的填充部。
    • 本发明提供一种红外线传感器模块,其可减低固定透镜用之接着剂之溢出,并可一面高精度的维持开度大小,一面以高精度进行高可靠性之红外线检测。该红外线传感器模块,系将检测红外线之红外线传感器组件30及处理红外线传感器组件30之输出的信号处理电路组件40配置于基板10上,并收纳于外壳20。于外壳20设置有作为光学构件用开口窗之开口窗23;于开口窗23上安装有作为光学构件之透镜22,其系从该红外线传感器组件间隔既定的距离而设置,并用以将外部之红外线成像于该红外线传感器组件30。于开口窗23之周缘部23R,在安装透镜22之一侧具有薄壁部,且于透镜22的周缘部与开口窗23的周缘部23R之间构成凹状部25,该凹状部25构成填充接着剂24的填充部。
    • 5. 发明专利
    • 測量基板溫度之感測器
    • 测量基板温度之传感器
    • TW399147B
    • 2000-07-21
    • TW088113452
    • 1999-08-07
    • 應用材料公司
    • 布魯斯阿達馬斯亞潤杭特艾力克斯魯賓奇克馬克亞姆保羅A.歐白恩
    • G01K
    • G01J5/04G01J5/0003G01J5/0007G01J5/046G01J5/08G01J5/0806G01J5/0809G01J5/0815G01J5/0818G01J5/0821G01J5/0846G01J5/0862G01J2005/0048
    • 揭示在一種用以在一熱處理室中測量一基板溫度之溫度感測器。該室包括當一基板被置於該室中時與該基板形成一反射穴之反射器。該溫度感測器包括一探針,具有經定位以接收來自該反射穴之輻射之輸入端,及一探測器,以光學方式耦合於該探針之輸出端,進入該探針之輻射包括被反射之輻射及非反射之輻射。該探測器測量進入該探針之輻射之第一部分強度以產生第一強度信號,及測量進入該探針之輻射之第二部分強度以產生第二強度信號。該探測器係經結構配置以使反射之輻射與非反射輻射之比例在第一部份中高於第二部份者。此兩強度信號乃用以計算該基板之溫度及發射係數。
    • 揭示在一种用以在一热处理室中测量一基板温度之温度传感器。该室包括当一基板被置于该室中时与该基板形成一反射穴之反射器。该温度传感器包括一探针,具有经定位以接收来自该反射穴之辐射之输入端,及一探测器,以光学方式耦合于该探针之输出端,进入该探针之辐射包括被反射之辐射及非反射之辐射。该探测器测量进入该探针之辐射之第一部分强度以产生第一强度信号,及测量进入该探针之辐射之第二部分强度以产生第二强度信号。该探测器系经结构配置以使反射之辐射与非反射辐射之比例在第一部份中高于第二部份者。此两强度信号乃用以计算该基板之温度及发射系数。
    • 6. 发明专利
    • 溫度探針
    • 温度探针
    • TW387992B
    • 2000-04-21
    • TW087115258
    • 1998-09-14
    • 應用材料公司
    • 馬克彥布魯斯W.仆斯
    • G01J
    • G01J5/0003G01J5/0007G01J5/04G01J5/046G01J5/048G01J5/08G01J5/0821G01J5/0893
    • 一種溫度探針,具有一光導體,可經由光學方式將溫度資料傳送至高溫計。該光導體具有一第一部份,可用於捕捉溫度資料;與一第二部份,連接於該高溫計。該探針亦具有一包覆層,用於保護光導體之第二部份。該包覆層具有一通路,用於收納光導體之第二部份;與一開口,供光導體之第一部份自通路伸出包覆層外。此外,通路內鄰近該開口處設有一封口,可將光導體之第二部份封於通路內。
    • 一种温度探针,具有一光导体,可经由光学方式将温度数据发送至高温计。该光导体具有一第一部份,可用于捕捉温度数据;与一第二部份,连接于该高温计。该探针亦具有一包覆层,用于保护光导体之第二部份。该包覆层具有一通路,用于收纳光导体之第二部份;与一开口,供光导体之第一部份自通路伸出包覆层外。此外,通路内邻近该开口处设有一封口,可将光导体之第二部份封于通路内。
    • 10. 发明专利
    • 鐵電裝置 FERROELECTRIC DEVICE
    • 铁电设备 FERROELECTRIC DEVICE
    • TW201203638A
    • 2012-01-16
    • TW100113808
    • 2011-04-20
    • 松下電工股份有限公司
    • 小川純矢山內規裕松嶋朝明相澤浩一
    • H01L
    • H01L41/1136B81B2201/032B81C1/00658G01J5/04G01J5/046G01J5/34G01P15/09G01P2015/0828H01L37/02H01L41/0815H02N2/186
    • 本發明係關於一種鐵電裝置(ferroelectric device),其係具備:形成於矽基板(第1基板)10之上述其中一表面側的下部電極(第1電極)14a、形成於下部電極14a中之第1基板10側之相反側的鐵電膜14b、及形成於鐵電膜14b中之下部電極14a側之相反側的上部電極(第2電極)14c,其中鐵電膜14b係藉由與矽具有晶格常數差之鐵電材料所形成。於下部電極14a之正下方設置有一緩衝層14d,此緩衝層14d相較於矽來說,係由與鐵電膜14b之晶格匹配性較佳之材料所構成的,於第1基板10中形成有一空洞10a,此空洞10a係使與緩衝層14d中之下部電極14a側之相反面予以露出。
    • 本发明系关于一种铁电设备(ferroelectric device),其系具备:形成于硅基板(第1基板)10之上述其中一表面侧的下部电极(第1电极)14a、形成于下部电极14a中之第1基板10侧之相反侧的铁电膜14b、及形成于铁电膜14b中之下部电极14a侧之相反侧的上部电极(第2电极)14c,其中铁电膜14b系借由与硅具有晶格常数差之铁电材料所形成。于下部电极14a之正下方设置有一缓冲层14d,此缓冲层14d相较于硅来说,系由与铁电膜14b之晶格匹配性较佳之材料所构成的,于第1基板10中形成有一空洞10a,此空洞10a系使与缓冲层14d中之下部电极14a侧之相反面予以露出。