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1. 发明专利

TW399147B 測量基板溫度之感測器有权
简体标题：测量基板温度之传感器
公开(公告)号：TW399147B
公开(公告)日：2000-07-21
申请号：TW088113452
申请日：1999-08-07
申请人：應用材料公司
发明人：布魯斯阿達馬斯 , 亞潤杭特 , 艾力克斯魯賓奇克 , 馬克亞姆 , 保羅A.歐白恩
IPC分类号： G01K
CPC分类号： G01J5/04 , G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/046 , G01J5/08 , G01J5/0806 , G01J5/0809 , G01J5/0815 , G01J5/0818 , G01J5/0821 , G01J5/0846 , G01J5/0862 , G01J2005/0048
摘要：揭示在一種用以在一熱處理室中測量一基板溫度之溫度感測器。該室包括當一基板被置於該室中時與該基板形成一反射穴之反射器。該溫度感測器包括一探針，具有經定位以接收來自該反射穴之輻射之輸入端，及一探測器，以光學方式耦合於該探針之輸出端，進入該探針之輻射包括被反射之輻射及非反射之輻射。該探測器測量進入該探針之輻射之第一部分強度以產生第一強度信號，及測量進入該探針之輻射之第二部分強度以產生第二強度信號。該探測器係經結構配置以使反射之輻射與非反射輻射之比例在第一部份中高於第二部份者。此兩強度信號乃用以計算該基板之溫度及發射係數。
简体摘要：揭示在一种用以在一热处理室中测量一基板温度之温度传感器。该室包括当一基板被置于该室中时与该基板形成一反射穴之反射器。该温度传感器包括一探针，具有经定位以接收来自该反射穴之辐射之输入端，及一探测器，以光学方式耦合于该探针之输出端，进入该探针之辐射包括被反射之辐射及非反射之辐射。该探测器测量进入该探针之辐射之第一部分强度以产生第一强度信号，及测量进入该探针之辐射之第二部分强度以产生第二强度信号。该探测器系经结构配置以使反射之辐射与非反射辐射之比例在第一部份中高于第二部份者。此两强度信号乃用以计算该基板之温度及发射系数。

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