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1. 发明专利

TW201640244A 處理工具監控审中-公开
简体标题：处理工具监控
公开(公告)号：TW201640244A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW105103816
申请日：2016-02-04
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：穆尼麥可 , MOONEY, MICHAEL , 喬吉文森 , GIORGI, VINCENT
IPC分类号： G05B23/02
CPC分类号： G06F11/3409 , G01F1/00 , G01K13/02 , G01L19/00 , G01R21/00 , G05B23/0229 , G05B23/0245 , G05B2219/31455 , G05B2219/33296 , G05B2219/45031 , G06F11/3013 , G06Q10/20
摘要：本發明揭示一種用於監控至少一個處理工具之監控裝置、一種方法及電腦程式產品。用於在處理來自一半導體處理工具之一排出流期間監控至少一個處理工具之該監控裝置包括：接收邏輯，其可操作以接收在該排出流之該處理期間產生之處理特性資料；分離邏輯，其可操作以將該處理特性資料分為與促成該至少一個處理工具之一條件之促成週期相關聯之促成處理特性資料及與未能促成該條件之非促成週期相關聯之非促成處理特性資料；及故障邏輯，其可操作以當判定該條件之一狀態時利用該促成處理特性資料且排除該非促成處理特性資料。如此，當判定該工具之該條件之一狀態時僅使用在促成該工具之該條件之週期期間產生之資料。忽略或省略在未促成該條件之週期期間產生之其他資料，使得可判定該工具之該條件之該狀態之一準確評估。此有助於提供該工具之該條件之該狀態之一準確且更可靠之評估。
简体摘要：本发明揭示一种用于监控至少一个处理工具之监控设备、一种方法及电脑进程产品。用于在处理来自一半导体处理工具之一排出流期间监控至少一个处理工具之该监控设备包括：接收逻辑，其可操作以接收在该排出流之该处理期间产生之处理特性数据；分离逻辑，其可操作以将该处理特性数据分为与促成该至少一个处理工具之一条件之促成周期相关联之促成处理特性数据及与未能促成该条件之非促成周期相关联之非促成处理特性数据；及故障逻辑，其可操作以当判定该条件之一状态时利用该促成处理特性数据且排除该非促成处理特性数据。如此，当判定该工具之该条件之一状态时仅使用在促成该工具之该条件之周期期间产生之数据。忽略或省略在未促成该条件之周期期间产生之其他数据，使得可判定该工具之该条件之该状态之一准确评估。此有助于提供该工具之该条件之该状态之一准确且更可靠之评估。

2. 发明专利

TW201546455A 熱敏電阻式測量系統审中-公开
简体标题：热敏电阻式测量系统
公开(公告)号：TW201546455A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：TW104108552
申请日：2015-03-18
申请人：瓦里安半導體設備公司 , VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人：尼爾森拉力G , NELSON, LARRY G.
IPC分类号： G01P5/10 , G01K7/02
CPC分类号： G01K7/22 , G01F1/6847 , G01F1/6888 , G01F1/6965 , G01F1/698 , G01K13/02 , G01K2013/024 , G01K2201/02 , G01P5/12
摘要：揭露一種監測環境溫度與空氣速度的測量系統。測量系統使用單一溫度感測器，其配置於試驗的環境中，所述溫度感測器與控制器連通。控制器供應第一電流至溫度感測器以測量環境的環境溫度。選擇所述第一電流以使溫度感測器幾乎沒有或無自加熱。在環境溫度被確定之後，較高的第二電流被施加至溫度感測器。所述電流加熱溫度感測器到預定量。基於預期的溫度上升、環境溫度與實際已監測到的溫度，以確定空氣速度。
简体摘要：揭露一种监测环境温度与空气速度的测量系统。测量系统使用单一温度传感器，其配置于试验的环境中，所述温度传感器与控制器连通。控制器供应第一电流至温度传感器以测量环境的环境温度。选择所述第一电流以使温度传感器几乎没有或无自加热。在环境温度被确定之后，较高的第二电流被施加至温度传感器。所述电流加热温度传感器到预定量。基于预期的温度上升、环境温度与实际已监测到的温度，以确定空气速度。

3. 发明专利

TW201326800A 風扇測試裝置及測試方法审中-公开
简体标题：风扇测试设备及测试方法
公开(公告)号：TW201326800A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW100149680
申请日：2011-12-29
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：張耀廷 , CHANG, YAO TING
IPC分类号： G01N25/20 , G01K17/08
CPC分类号： G01M99/002 , G01K13/02 , G01K2013/024
摘要：一種風扇測試裝置，包括一設有一進風口及一出風口的導風罩、一收容於該導風罩內的發熱體、一貼靠於該發熱體的第一溫度測量儀及一設置於該導風罩的進風口處的第二溫度測量儀，待測風扇在該導風罩內產生自該進風口流至該出風口的風流以對該發熱體散熱，該第一溫度測量儀測量該發熱體的表面溫度，該第二溫度測量儀測量該進風口處的環境溫度。
简体摘要：一种风扇测试设备，包括一设有一进风口及一出风口的导风罩、一收容于该导风罩内的发热体、一贴靠于该发热体的第一温度测量仪及一设置于该导风罩的进风口处的第二温度测量仪，待测风扇在该导风罩内产生自该进风口流至该出风口的风流以对该发热体散热，该第一温度测量仪测量该发热体的表面温度，该第二温度测量仪测量该进风口处的环境温度。

4. 发明专利

TW201812262A 溫溼度感測裝置审中-公开
简体标题：温湿度传感设备
公开(公告)号：TW201812262A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106126154
申请日：2017-08-02
申请人：仁寶電腦工業股份有限公司 , COMPAL ELECTRONICS, INC.
发明人：陳右儒 , CHEN, YU-JU , 葉秀金 , YEH, HSIU-CHIN , 陳彥霖 , CHEN, YEN-LIN , 林敏雄 , LIN, MIN-HSIUNG
IPC分类号： G01K13/00 , G01W1/02
CPC分类号： G01N33/0062 , G01K1/08 , G01K13/02 , G01K2013/024 , G01N33/0036 , G01N2001/2276
摘要：一種溫溼度感測裝置包括本體以及溫溼度感測器。本體具有進氣孔、出氣孔以及流道。進氣孔與出氣孔彼此相對，且流道配置用以連通進氣孔與出氣孔。溫溼度感測器設置於流道內。溫溼度感測器配置用以在本體周圍環境的空氣自進氣孔流入流道，並流經流道而自出氣孔流出的過程中，感測本體周圍環境的空氣的相對濕度。
简体摘要：一种温湿度传感设备包括本体以及温湿度传感器。本体具有进气孔、出气孔以及流道。进气孔与出气孔彼此相对，且流道配置用以连通进气孔与出气孔。温湿度传感器设置于流道内。温湿度传感器配置用以在本体周围环境的空气自进气孔流入流道，并流经流道而自出气孔流出的过程中，传感本体周围环境的空气的相对湿度。

5. 发明专利

TW201602532A 特別是高溫感測器之溫度感測器、排氣溫度監測系統及用於製作溫度感測器之方法审中-公开
简体标题：特别是高温传感器之温度传感器、排气温度监测系统及用于制作温度传感器之方法
公开(公告)号：TW201602532A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104115039
申请日：2015-05-12
申请人：赫拉爾斯感測科技有限責任公司 , HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH
发明人：木利歐馬蒂斯 , MUZIOL, MATTHIAS , 迪特曼史蒂芬 , DIETMANN, STEFAN , 維納德卡爾辛茲 , WIENAND, KARLHEINZ
IPC分类号： G01K1/12 , G01K7/20 , F01N11/00
CPC分类号： G01K13/02 , G01K1/08 , G01K2013/024 , G01K2205/04
摘要：本發明係有關一溫度感測器、特別是一高溫感測器，其具有一配有接觸導線的測量元件，其中至少一接觸導線經由一補償元件被連接至一饋入導線，其中補償元件具有一曲折扁平彈簧的形式。本發明進一步有關一排氣溫度監測系統及一用於製作該溫度感測器之方法。
简体摘要：本发明系有关一温度传感器、特别是一高温传感器，其具有一配有接触导线的测量组件，其中至少一接触导线经由一补偿组件被连接至一馈入导线，其中补偿组件具有一曲折扁平弹簧的形式。本发明进一步有关一排气温度监测系统及一用于制作该温度传感器之方法。

6. 发明专利

TWI471540B 溫度檢測裝置，基板處理裝置，及半導體裝置的製造方法有权
简体标题：温度检测设备，基板处理设备，及半导体设备的制造方法
公开(公告)号：TWI471540B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW101124779
申请日：2012-07-10
申请人：日立國際電氣股份有限公司 , HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
发明人：小杉哲也 , KOSUGI, TETSUYA , 上野正昭 , UENO, MASAAKI , 山口英人 , YAMAGUCHI, HIDETO
IPC分类号： G01K7/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L22/10 , C23C16/0209 , G01K1/12 , G01K7/026 , G01K7/04 , G01K13/02 , G01K2013/024 , H01L21/67248 , H01L22/30 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

7. 发明专利

TWI382163B 流量計的溫度測量電路有权
简体标题：流量计的温度测量电路
公开(公告)号：TWI382163B
公开(公告)日：2013-01-11
申请号：TW098108451
申请日：2009-03-16
申请人：奧巴爾股份有限公司 , OVAL CORPORATION
发明人：嶋田英樹 , SHIMADA, HIDEKI
IPC分类号： G01K7/24
CPC分类号： G01F15/024 , G01F1/8431 , G01F1/8436 , G01K1/026 , G01K7/206 , G01K13/02

8. 发明专利

TW201732245A 氣體溫度測量方法及氣體導入系統审中-公开
简体标题：气体温度测量方法及气体导入系统
公开(公告)号：TW201732245A
公开(公告)日：2017-09-16
申请号：TW105138343
申请日：2016-11-23
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：木村英利 , KIMURA, HIDETOSHI , 松井裕 , MATSUI, YUTAKA
IPC分类号： G01K1/26 , G01F1/88
CPC分类号： H01L21/67248 , B01F13/0266 , G01K11/00 , G01K13/02 , G01K2013/024 , G01L19/0007
摘要：提供一種可測量配管內之氣體溫度的氣體溫度測量方法。基於第2配管的內部體積、將氮氣導入至第1配管內及第2配管內時之第1配管內的氣體之壓力上升率、將氮氣僅導入至第1配管內時之第1配管內的氣體之壓力上升率、置換為SI單位系統後之所導入氮氣流量以及置換為絕對溫度後之氮氣溫度來計算出第1配管內之氣體溫度。
简体摘要：提供一种可测量配管内之气体温度的气体温度测量方法。基于第2配管的内部体积、将氮气导入至第1配管内及第2配管内时之第1配管内的气体之压力上升率、将氮气仅导入至第1配管内时之第1配管内的气体之压力上升率、置换为SI单位系统后之所导入氮气流量以及置换为绝对温度后之氮气温度来计算出第1配管内之气体温度。

9. 发明专利

TW201614202A 用於測量溫度之裝置审中-公开
简体标题：用于测量温度之设备
公开(公告)号：TW201614202A
公开(公告)日：2016-04-16
申请号：TW104127707
申请日：2015-08-25
申请人：賀利氏控股股份有限公司 , HERAEUS HOLDING GMBH
发明人：韋納德卡爾漢茲 , WIENAND, KARLHEINZ , 穆齊奧馬夏斯 , MUZIOL, MATTHIAS , 路斯湯瑪士 , LOOSE, THOMAS , 舍茲傑哈德 , SCHOTZ, GERHARD , 申克克里斯汀 , SCHENK, CHRISTIAN
IPC分类号： G01J5/08 , G01K11/32
CPC分类号： G01K13/02 , G01J5/0014 , G01J5/046 , G01J5/0818 , G01J5/0887
摘要：本發明有關一種用於測量特別是一流動氣體之溫度的裝置，包含至少一黑色陶瓷體用以發射紅外線輻射，以及至少一光纖纜線用以將由該黑色陶瓷體射出的紅外線輻射傳送至一檢測器，其中該光纖纜線之朝向該陶瓷體的該第一端係被一毛細管相隔開於該黑色陶瓷體。
简体摘要：本发明有关一种用于测量特别是一流动气体之温度的设备，包含至少一黑色陶瓷体用以发射红外线辐射，以及至少一光纤缆线用以将由该黑色陶瓷体射出的红外线辐射发送至一检测器，其中该光纤缆线之朝向该陶瓷体的该第一端系被一毛细管相隔开于该黑色陶瓷体。

10. 发明专利

TW201443359A 流體控制裝置及朝流體控制裝置設置溫度感測器之構造审中-公开
简体标题：流体控制设备及朝流体控制设备设置温度传感器之构造
公开(公告)号：TW201443359A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW103107621
申请日：2014-03-06
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：橫田淳 , YOKOTA, JUN , 吉田貴洋 , YOSHIDA, TAKAHIRO , 具太東 , NGUYEN, THANH TUNG , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO
IPC分类号： F16K37/00 , G01K1/14
CPC分类号： G05D7/03 , F16K27/003 , F16K37/0025 , G01K13/02 , G01M3/002 , G05D23/22
摘要：提供一種流體控制裝置及朝流體控制裝置設置溫度感測器之構造，其可有效地使用流體控制裝置所具有之空間，且能藉由簡單之施工來設置溫度管理用的溫度感測器。流體控制裝置1係具備彼此鄰接之第一流體控制機器3與第二流體控制機器4、及對流入第一流體控制機器3內之流體的溫度進行測量之溫度感測器17。流體控制裝置1更具備支持構件19，其安裝於第二流體控制機器4，對溫度感測器17進行支持。
简体摘要：提供一种流体控制设备及朝流体控制设备设置温度传感器之构造，其可有效地使用流体控制设备所具有之空间，且能借由简单之施工来设置温度管理用的温度传感器。流体控制设备1系具备彼此邻接之第一流体控制机器3与第二流体控制机器4、及对流入第一流体控制机器3内之流体的温度进行测量之温度传感器17。流体控制设备1更具备支持构件19，其安装于第二流体控制机器4，对温度传感器17进行支持。

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