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1. 发明公开

KR1020080105731A 복합 구조의 빔을 이용한 나노 공진기 有权
标题翻译：使用光束与复合结构的纳米谐振器
公开(公告)号：KR1020080105731A
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：KR1020070053705
申请日：2007-06-01
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 전성찬 , 김선일 , 백찬욱
IPC分类号： H01P7/00
CPC分类号： H03H9/2463 , B82Y15/00 , H03H9/02244 , Y10S977/712 , Y10S977/72 , Y10S977/724 , Y10S977/932
摘要： A nano-resonator using beam with composite structure is provided to supply sufficient resonance at quasi-resonant condition without a magnetic line induced from super-conduction. In a nano-resonator using beam with composite structure, a support layer(213), having a sandwich structure while having low density, is deposited on the silicon carbide resonator(211). A sacrificial layer(212) is used for the bond of two layers having capable of enduring the high frequency resonance, and a support layer(213) is composed of mental having low density. A beam of the composite structure includes the silicon carbide beam, the metallic conductor of the low density evaporated on the sacrificial layer and the sacrificial layer evaporated on the silicon carbide beam.
摘要翻译：使用具有复合结构的光束的纳米谐振器被提供以在准谐振条件下提供足够的谐振，而没有由超导导致的磁线。在使用具有复合结构的光束的纳米谐振器中，在碳化硅谐振器（211）上沉积具有夹层结构而具有低密度的支撑层（213）。牺牲层（212）用于能够承受高频共振的两层的结合，并且支撑层（213）由具有低密度的精神构成。复合结构的梁包括碳化硅束，在牺牲层上蒸发的低密度的金属导体和在碳化硅束上蒸发的牺牲层。

2. 发明公开

KR1020170058978A 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들 审中-实审
标题翻译：用于频率和时序生成的复合弹簧MEMS谐振器
公开(公告)号：KR1020170058978A
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020177010414
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要： 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.
摘要翻译：复合弹簧MEMS谐振器包括谐振器本体，谐振器本体使用形成复合弹簧块55,95的一个或多个弹簧单元单元和构成谐振器本体的一个或多个复合弹簧块54a构成。每个复合弹簧块固定在节点上以确保高质量因子（56,58）。谐振器本体包括附接到复合弹簧块的开放端并且电容性地耦合到驱动/感测电极66,68的质量块60a，60b，94a，94b。弹簧单元电池的尺寸时，选择弹簧单元电池的用于复合弹簧块时，块的尺寸和重量，以及长度和支撑梁的宽度的数量以实现期望的谐振频率。多个谐振器单元可以并联连接以形成谐振器本体90。另一方面，选择复合弹簧块的数量来调整期望的电特性，例如MEMS谐振器的阻抗。释放孔94可用于调节谐振器本体的重量。

3. 发明公开

KR1020100118121A 공진기 및 공진기 어레이 无效
标题翻译：谐振器和谐振器阵列
公开(公告)号：KR1020100118121A
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：KR1020107018608
申请日：2009-03-03
申请人： 산요덴키가부시키가이샤 , 더 리츠메이칸 트러스트
发明人： 다마노아키마사 , 오카다미츠히로 , 스즈키겐이치로
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/007 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2447 , H03H9/02244 , H03H2009/02519
摘要： 치수의 극단적인 축소를 하지 않아도 공진주파수를 용이하게 높게 할 수 있어 Q값을 높게 할 수 있는 공진기를 제공한다.
공진기(112)는, 기재(基材)로서의 기판(12)과, 양단이 고정접속부(14a, 14b)를 통하여 기판(12)에 고정되어 있고, 길이방향에 수직인 방향으로 직선왕복운동을 부여하기 위한 진동입력개소(3)를 도중에 가지는 제1 대들보(2)와, 제1 대들보(2) 중 진동입력개소(3)와는 다른 복수의 분기(分岐)개소(4a, 4b)로부터 한쪽으로 분기한다, 전기 직선왕복운동을 바탕으로 비틀림진동을 발생시키기 위한 제2 대들보(5a, 5b)를 구비한다. 또한, 공진기(112)는 복수의 분기개소(4a, 4b)로부터 복수의 제2 대들보(5a, 5b)와는 반대 측으로 연장하는 비틀림진동을 발생시키기 위한 복수의 제3 대들보(6a, 6b)를 구비한다.

4. 发明授权

KR101521763B1 캡슐화장치를 제조하는 방법 有权
标题翻译：制造装置的方法
公开(公告)号：KR101521763B1
公开(公告)日：2015-05-19
申请号：KR1020147017124
申请日：2012-10-23
申请人： 마이크로 크리스탈 아게(마이크로 크리스탈 에스에이)(마이크로 크리스탈 리미티드)
发明人： 데이롱레아 , 달라피아차실비오 , 헤쓸러티에리
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H03H3/0072 , B81C1/00269 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/02244 , H03H2003/022 , H03H2003/026 , H03H2003/0478 , H03H2003/0485 , H03H2003/0492 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49574
摘要： 본발명은메탈리제이션 (11, 9, 49, 69) 으로적어도부분적으로코팅된요소 (2, 4) 를포함하는부품 (5) 용캡슐화장치 (3) 를형성하도록다른요소 (4, 2) 와협동하도록배치된요소 (2, 4, 44, 64) 에관한것이다. 본발명에따라, 상기메탈리제이션은융점이 250℃보다낮은재료의비확산부분 (12', 52', 72') 에의해코팅된금속간화합물 (19, 59, 79) 에의해보호되는적어도하나의금속층 (15) 을포함한다. 본발명은또한캡슐화장치 (3) 를제조하는방법 (21) 에관한것이다.

5. 发明授权

KR101336962B1 복합 구조의 빔을 이용한 나노 공진기 有权
标题翻译：纳米谐振器采用复合结构梁
公开(公告)号：KR101336962B1
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：KR1020070053705
申请日：2007-06-01
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 전성찬 , 김선일 , 백찬욱
IPC分类号： H01P7/00
CPC分类号： H03H9/2463 , B82Y15/00 , H03H9/02244 , Y10S977/712 , Y10S977/72 , Y10S977/724 , Y10S977/932
摘要： 복합 구조의 빔을 이용한 나노 공진기가 개시된다. 본 발명은 나노 빔을 이용하는 공진기에 있어서, 실리콘 카바이드 빔; 상기 실리콘 카바이드 빔 위에 증착된 희생층; 및 상기 희생층 위에 증착된 저밀도의 금속 전도체를 포함하는 복합 구조의 빔을 이용한다. 본 발명에 의하면, 나노 빔의 전기적 전도성을 높이고, 초전도 자력선을 필요로 하지 않고 실온, 준공진의 조건에서도 충분한 공진이 가능하여 실용화가 용이하고, 양호도를 향상시킬 수 있으며, 기가 헤르쯔 이상의 고주파 영역에서의 동작이 용이하다.

6. 发明公开

KR1020060131953A ＭＥＭＳ 디바이스 및 프로세스 无效
标题翻译：电子机械装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060131953A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：KR1020067020384
申请日：2005-03-02
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 긴스버그이얄 , 타라라에브스키알렉산더 , 바-사데흐이얄
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02 , H03H9/17
CPC分类号： H03H3/02 , H03H3/0072 , H03H9/02244 , H03H9/587 , H03H2003/027 , H03H2009/02511 , H03H2009/241
摘要： The present invention provides an electro-mechanical device, for example, a Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) device, for example a low-loss Film Bulk Acoustic Resonators (FBAR) filter, and a process to produce the same. In order to avoid the contamination of the cavities of the membrane that may affect the operation of the MEMS device, the present invention relates to a MEMS Film Bulk Acoustic Resonator comprising a base structure (102), a membrane (112) and a cap layer (114) having first side attached to said base structure and second side attached to said membrane wherein one or more sealed cavities (116)are encapsulated between said base structure and said cap layer.
摘要翻译：本发明提供一种机电装置，例如微机电系统（MEMS）装置，例如低损耗薄膜体积声谐振器（FBAR）滤波器及其制造方法。本发明涉及一种MEMS薄膜体积声谐振器，其包括基底结构（102），薄膜（112）和盖层（112），所述隔膜（114），其具有附接到所述基部结构的第一侧和附接到所述膜的第二侧，其中一个或多个密封空腔（116）被封装在所述基部结构和所述盖层之间。

7. 发明授权

KR101917088B1 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들 有权
公开(公告)号：KR101917088B1
公开(公告)日：2018-11-12
申请号：KR1020177010414
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要： 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.

8. 发明公开

KR20180053031A 압전 미소 기계식 공진기 审中-公开
公开(公告)号：KR20180053031A
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：KR20160150337
申请日：2016-11-11
申请人： SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
发明人： YOON YONG SEOP , KANG SUNG CHAN , KIM CHE HEUNG , PARK SANG HA , RHEE CHOONG HO
IPC分类号： H03H9/17 , H03H9/56 , H03H9/58
CPC分类号： H03H9/02244 , H01L41/047 , H01L41/0477 , H03H9/17 , H03H2009/155
摘要： 개시된압전미소기계식공진기는, 지지부재에일단이고정되며타단이자유단인지지빔과, 상기지지빔의제1면상에서그 일측이상기지지부재에부착되며순차적으로배치된하부전극, 압전부, 상부전극을포함하는압전센서부와, 상기지지빔의제1면상에서상기지지빔의자유단측 상에배치된집중질량을포함한다. 상기상부전극의영률이상기하부전극의영률보다작다.

9. 发明公开

KR1020170056008A 발진기들 및 실시간 클럭 응용들을 위한 다수의 코일 스프링 MEMS 공진기 审中-实审
标题翻译：用于振荡器和实时时钟应用的多个螺旋弹簧MEMS谐振器
公开(公告)号：KR1020170056008A
公开(公告)日：2017-05-22
申请号：KR1020177010412
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 슈완-타 , 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2431 , B81B2201/0271 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02346 , H03H2009/02496
摘要： 다수의코일스프링 MEMS 공진기는센터앵커및 센터앵커로부터외부폐쇄링(104)으로나선형패턴으로연장되는 2 개이상의코일스프링들(102a, 102b)을포함하는공진기바디(106)를포함한다. 코일스프링들의각 쌍은센터앵커의반대지점들에서시작하여나선형패턴으로외부링의반대지점들까지연장된다. 코일스프링들의수, 코일스프링들의길이및 폭, 및외부링의중량은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 외부링(104)은수직의변환기들(108)을포함하고외부링(104)의중량을조정하기위해홀들(130)을포함할수 있다. 구동전극들(110) 및감지전극들(112)의세트는기판에부착된다.
摘要翻译：到MEMS谐振器的多个螺旋弹簧包括一谐振器本体（106），其包括以螺旋形图案的外延伸的至少两个螺旋弹簧从中心锚和中心锚（102A，102B）封闭环104。每对螺旋弹簧从中心锚的相对点开始以螺旋图案在外环的相反方向上延伸。选择螺旋弹簧的数量，螺旋弹簧的长度和宽度以及外环的重量以实现期望的谐振频率。外环104包括垂直换能器108并且可以包括用于调节外环104的重量的孔130。一组驱动电极110和感测电极112附着到衬底。

10. 发明授权

KR101724488B1 MEMS 공진기 有权
公开(公告)号：KR101724488B1
公开(公告)日：2017-04-07
申请号：KR1020150177465
申请日：2015-12-11
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 유일선
IPC分类号： H03H9/24 , B81B7/02 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/02244 , B81B3/0021 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , B81B2203/0136 , B81B2207/015 , G01C19/5719 , G01P15/097 , H03H9/02393 , H03H2009/02165 , H03H2009/02291
摘要： MEMS 공진기가개시된다. 본발명의실시예에따른 MEMS 공진기는중앙에수용부를형성하는메인기판; 상기메인기판상의수용부중앙에위치하여상기메인기판에제1탄성부재와제2탄성부재를통하여일단부및 중앙부의각 양측이탄성적으로지지되는질량체; 상기메인기판상의수용부일측에구성되어상기질량체의일단부양측에전압에의한구동력을작용하여상기메인기판에대하여질량체의위치를이동시키는구동부; 및상기제2탄성부재를기준으로튜닝유닛이대칭으로구비되어한 쌍을이루어상기질량체의중앙부양측에대응하여상기수용부에각각구성되며, 각튜닝유닛의액추에이팅작동에의해빔부재가제2탄성부재의길이를변화시키며주파수를조절하는튜닝부를포함한다.

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