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1. 发明授权

KR101300935B1 ＭＥＭＳ의 스트레스 릴리스 메커니즘 및 그 제조 방법 有权
标题翻译： MEMS器件中的应力释放机制及其制造方法
公开(公告)号：KR101300935B1
公开(公告)日：2013-08-27
申请号：KR1020087002072
申请日：2006-06-28
申请人： 엔엑스피 유에스에이, 인코포레이티드
发明人： 리,게리,지. , 하몬드,존나단헤일 , 커리주니어,다니엘,엔.
IPC分类号： G01P15/125 , B81B7/00 , H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814
摘要： MEMS 디바이스(100) 및 그 디바이스를 형성하기 위한 방법을 제공한다. 한 실시예에서 MEMS 디바이스(100)는 표면이 있는 기판(106)과, 기판 표면에 접속한 제1 부분 및 기판 표면 위에 움직일 수 있게 떠있는 제2 부분이 있는 전극(128)과, 전극 제2 부분에 배치한 스트레스 릴리스 메커니즘(204) - 상기 스트레스 릴리스 메커니즘(204)은 전극에 통합적으로 형성한 제1 슬롯(208)을 포함함 - 을 포함한다. 또 다른 예시적인 실시예에서 기판(106)은 앵커(134,136)를 포함하고, 스트레스 릴리스 메커니즘(222)은 앵커(134,136)에 인접하게 형성한다.
MEMS, 기판, 전극, 스트레스 릴리스 메커니즘, 앵커

2. 发明公开

KR1020110002041A 고속 스캔 미러를 위한 용량성 빗살 피드백 有权
标题翻译：用于高速扫描镜的电容反馈
公开(公告)号：KR1020110002041A
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：KR1020107023676
申请日：2009-03-16
申请人： 마이크로비젼, 인코퍼레이티드
发明人： 스테른,미클로스 , 야비드,드미트리
IPC分类号： G02B26/10 , H04N1/04
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B26/0858 , H02N1/008 , H04N1/1135
摘要： 이미지 투영 시스템(100)이, 빔(103, 105, 107)을 두 개의 직교 방향(404, 406)으로 스캐닝하도록 스캔 미러 장치(130)에게 적어도 하나의 빔(103, 105, 107)을 제공하는 레이저(102, 104, 106)를 구비한다. 스캔 미러(130)는 프레임(202)에 연속하여 배치된 진동부(204)를 포함하고 또한 빔(103, 105, 107)을 반사시킬 수 있는 반사부(218)를 포함한다. 회로가 제공되어 프레임(202) 상의 인터디지테이트된 티스(212, 214)와 진동부(204) 간의 커패시턴스를 측정한다.

3. 发明授权

KR100707193B1 복층 구조의 콤전극을 구비한 광스캐너 失效
标题翻译：具有多层结构的梳状电极的光扫描器
公开(公告)号：KR100707193B1
公开(公告)日：2007-04-13
申请号：KR1020050046128
申请日：2005-05-31
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 조진우 , 고영철 , 이진호 , 정현구
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0841 , H02N1/008
摘要： 복층 구조의 콤전극을 구비한 광스캐너가 개시된다. 개시된 복층 구조의 콤전극을 구비한 광스캐너는: 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지; 상기 스테이지의 시이소 운동을 지지하는 지지부; 상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 구동 콤전극과, 상기 구동 콤전극과 대면하는 상기 지지부에서 상기 구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부; 및 상기 지지부의 하부에서 상기 스테이지의 회동공간이 형성된 기판;을 구비하며, 상기 스테이지, 상기 지지부 및 상기 스테이지 구동부는 각각 복수 개의 도전층과 상기 도전층 사이의 절연층으로 형성된 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：公开了具有多层结构的梳状电极的光扫描器。一种包括多层结构的梳状电极的光扫描器，包括：用于在第一方向上进行剪切运动的台; 支持舞台的跷跷板动作; 驱动梳状电极沿着第一方向从平台的相对侧向外延伸，固定梳状电极以与驱动梳状电极交替的方式在支撑部分中面对驱动梳状电极延伸，驾驶单位; 并在所述支撑件的下部的级的枢转空间形成的基板;包括，它其特征在于，阶段和支撑部分和载物台驱动单元分别与所述多个导电层和导电层之间的绝缘层中形成。

4. 发明授权

KR100699140B1 정전형 액츄에이터 有权
标题翻译：静电执行机构
公开(公告)号：KR100699140B1
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：KR1020050011173
申请日：2005-02-07
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 타무라마사야
IPC分类号： G02B26/08 , G02B6/26 , G02B6/35
CPC分类号： H02N1/008
摘要： 정전형 액츄에이터는 실질적으로 U자 형태인 지지빔이 배열되는 기판을 포함하여 가동체가 Y축 방향에서 변위 가능하게 한다. 그리고, 가동체는 전극 사이에서 정전력에 의해 초기 위치에서 전환 위치로 변위된다. 가동체가 초기 위치에 있을 때, 지지빔은 지지빔의 암부가 서로 비평행이 되게 배열되고, 가동체가 전환 위치 근방에서 크게 변위될 때, 암부는 서로 실질적으로 평행하도록 X축 방향으로 연장된다. 따라서, 지지빔의 X축 방향에서 탄성 상수가 증가되기 때문에, 가동체가 변위되고 일탈로 인한 단락이 방지될 때, 횡방향 위치 이탈이 일어나고, 그 결과 가동체는 안정적으로 크게 변위된다．
정전형 액츄에이터, 가동체, 광스위치 장치, 정전력, 암, 봉상체, 탄성, 전극, 지지빔

5. 发明公开

KR1020060131087A 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터 失效
标题翻译：具有多层组合驱动的激光扫描仪
公开(公告)号：KR1020060131087A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：KR1020050051265
申请日：2005-06-15
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 고영철 , 조진우
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008 , G02B26/0841
摘要： An actuator having a vertical type comb electrode is provided to perform a linear driving of a stage by forming a vertical type driving comb electrode to be overlapped with a fixed comb electrode and to increase a driving angle by enhancing a driving force. In an actuator having a vertical type comb electrode, a stage(120) performs a seesaw motion in a first direction. A support unit supports the seesaw motion of the stage(120). A stage driving unit includes a vertical type driving comb electrode(122) extended outward at mutually both facing sides of the first direction of the stage(120) and a vertical type fixed comb electrode(142) formed to be alternately arranged on a surface of a substrate(110) with the driving comb electrode(122). The fixed comb electrode(142) includes a first fixed comb electrode(143) formed to be lower than the fixed comb electrode(142), an insulation layer(144) formed on a surface of the first fixed comb electrode(143), and a second fixed comb electrode(145) formed to be higher than a lower side of the fixed comb electrode(142) on an upper surface of the insulation layer(144).
摘要翻译：提供具有垂直型梳状电极的致动器，以通过形成与固定梳状电极重叠的垂直型驱动梳状电极来执行级的线性驱动，并且通过增强驱动力来增加驱动角度。在具有垂直型梳状电极的致动器中，台架（120）在第一方向上进行跷跷板运动。支撑单元支撑台（120）的跷跷板运动。舞台驱动单元包括在舞台（120）的第一方向相互面向两侧向外延伸的垂直型驱动梳状电极（122）和形成为交替布置在舞台（120）的表面上的垂直型固定梳状电极具有驱动梳状电极（122）的基板（110）。固定梳状电极（142）包括形成为比固定梳状电极（142）低的第一固定梳状电极（143），形成在第一固定梳状电极（143）的表面上的绝缘层（144），以及在所述绝缘层（144）的上表面上形成为高于所述固定梳状电极（142）的下侧的第二固定梳状电极（145）。

6. 发明授权

KR100634009B1 좌굴형 액츄에이터 有权
标题翻译：弯曲执行器
公开(公告)号：KR100634009B1
公开(公告)日：2006-10-16
申请号：KR1020057002249
申请日：2004-06-25
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 타무라마사야 , 코바야시신지
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/00
CPC分类号： G02B6/358 , B81B3/0051 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3544 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B26/0833 , H02N1/008
摘要： 지지빔의 연결부위를 회전 지지부로서 구성함으로써, 가동체를 각 전환위치에 안정적으로 유지할 수 있는 구성으로 하여, 신뢰성을 높이도록 한다.
가동체(4)를, 기판(2), 각 고정부(6), 회전 지지부(8), 지지빔(7)에 의해 Y축 방향으로 변위 가능하게 지지하고, 가동체(4)를 제 1, 제 2 전환위치 사이에서 변위시킨다. 또한, 회전 지지부(8)는 방사상으로 배치한 암부(arm portions:9, 10, 11)에 의해 지지빔(7)을 회전 가능하게 지지하며, 가동체(4)가 변위할 때에는, 단부(7A)가 크게 굴곡하지 않더라도, 지지빔(7)이 회전할 수 있도록 한다. 이것에 의해, 제 1, 제 2 전환위치 사이에서 가동체(4)의 위치 에너지의 장벽(ΔE)을 크게 설정할 수 있으며, 전극(12∼15)에의 급전을 정지한 상태라도, 가동체(4)를 각 전환위치에 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 가동체(4)가 X축 방향으로 위치가 어긋나는 것을 암부(10)에 의해 방지할 수 있다.
광스위치, 가동체, 기판, 지지빔, 암부

7. 发明公开

KR1020060088781A 광스캐너 배선 구조 및 제조방법 失效
标题翻译：光扫描仪的金属线结构及其制作方法
公开(公告)号：KR1020060088781A
公开(公告)日：2006-08-07
申请号：KR1020050009745
申请日：2005-02-02
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정현구 , 고영철
IPC分类号： G02B26/00 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/105 , B81C1/00142 , B81C2201/013 , G02B26/0841 , H02N1/008
摘要： 본 발명은 광스캐너의 배선 구조 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 광스캐너의 배선 구조는: 메탈라인영역이 소정 깊이로 식각된 유리기판; 상기 메탈라인영역 상에 돌출부를 포함하여 형성된 메탈라인; 상기 유리기판 상에서, 상기 돌출부를 제외한 영역을 덮는 절연층; 및 상기 유리기판과 결합된 광스캐너 구조물;을 구비한다.

8. 发明授权

KR100586967B1 회전형 빗살 구동 액츄에이터 및 이를 이용한 가변 광감쇄기 失效
标题翻译：由转轮式发动机驱动的执行器和减速器
公开(公告)号：KR100586967B1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020040038049
申请日：2004-05-28
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 홍윤식
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： 본 발명은 MEMS 기술에 의해 제공되며 빗살 모양의 전극 사이에 인가되는 인력을 이용한 액츄에이터(Actuator) 및 이를 이용한 광 감쇄기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 회전형 빗살 구동 액츄에이터는, 기판과; 상기 기판 면에 평행한 움직임이 가능하도록 배열되며, 다수의 핑거로 형성되는 빗살 전극을 갖도록 소정의 길이로 형성되는 이동 전극과; 상기 이동 전극에 정전력을 가할 수 있도록, 상기 이동 전극에 대응하는 길이로 형성되며, 상기 이동 전극의 빗살 전극과 서로 대향하며 맞물리도록 배열되는 빗살 전극을 갖고, 상기 기판 상에 고정되는 구동 전극과; 상기 기판에 평행하게 배열되며, 상기 이동 전극의 일단부의 양 측면에서 상기 이동 전극에 수직하게 연결되는 수직 스프링과; 상기 수직 스프링에 연결되어, 상기 수직 스프링을 지지하며 상기 기판에 고정되는 수직 스프링 앵커와; 주된 부분이 상기 이동 전극의 길이 방향으로 평행하게 배열되며, 상기 이동 전극의 일 측면에 연결되는 수평 스프링; 및 상기 수평 스프링에 연결되어, 상기 수평 스프링을 지지하며 상기 기판에 고정되는 수평 스프링 앵커를 포함하는 것을 특징으로 한다.
actuator, 회전, 빗살, 광 감쇄기

9. 发明授权

KR100434543B1 마이크로 소자에 사용되는 운동 확대 시스템 失效
标题翻译：迈克尔生物技术有限公司
公开(公告)号：KR100434543B1
公开(公告)日：2004-06-05
申请号：KR1020010078672
申请日：2001-12-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한우섭
IPC分类号： G05B19/414
CPC分类号： H02N1/008
摘要： A lever mechanism for increasing the displacement of a micro-actuating device is provided. The lever mechanism includes a power generator for generating power in a predetermined direction, a first power transmitter for transmitting the power generated by the power generator to a micro-actuating device, a second power transmitter for transmitting the power transmitted by the first power transmitter, a micro-actuating device that is connected to the second power transmitter and moves to have larger displacement than the displacement of the first power transmitter; and at least one hinge installed among the power generator, the first power transmitter, the second power transmitter, and the micro-actuating device. According to this lever mechanism, it is possible to largely increase the kinetic range of a micro-actuating device by slightly change the displacement thereof.
摘要翻译：提供了用于增加微动装置的位移的杠杆机构。杠杆机构包括用于在预定方向上产生动力的发电机，用于将由发电机产生的动力传递到微动装置的第一动力传递器，用于传递由第一动力传递器传递的动力的第二动力传递器，微动装置，所述微动装置连接到所述第二动力传送器并且移动以具有比所述第一动力传送器的位移大的位移; 以及至少一个安装在发电机，第一动力传递器，第二动力传递器和微动装置之间的铰链。根据该杠杆机构，通过稍微改变微动装置的位移可以大大增加微动装置的运动范围。

10. 发明公开

KR1020040035116A 2-Ｄ 액튜에이터 및 그 제조방법 失效
标题翻译：二维致动器及其制作方法
公开(公告)号：KR1020040035116A
公开(公告)日：2004-04-29
申请号：KR1020020063853
申请日：2002-10-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 고영철 , 이진호
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： B81B3/0062 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , B81C2201/019 , G02B26/0841 , H02N1/008
摘要： PURPOSE: A two-dimensional actuator and a fabricating method thereof are provided to arrange efficiently comb electrodes for driving a stage by overlapping plural driving comb electrodes and plural fixing comb electrodes to a driving direction of the stage. CONSTITUTION: A two-dimensional actuator includes a stage(100a), a first supporter, a base(110), a stage driver, a second supporter, and a first supporter driver. The stage(100a) has the second direction perpendicular to the first direction. The stage is moved like a seesaw to the third direction perpendicular to the first direction and the second direction on the basis of a rotary shaft of the first direction. The first supporter is used for supporting the seesaw motion of the stage. The base(110) is installed at a bottom side of the stage. The base is supported by the first supporter. The stage driver is formed with a first driving comb electrode and a first fixing comb electrode corresponding to the first driving comb electrode. The second supporter is used for supporting the seesaw motion of the first supporter around a rotary shaft of the second direction. The first supporter driver is formed with a second driving comb electrode and a second fixing comb electrode in order to generate the seesaw motion of the first supporter.
摘要翻译：目的：提供一种二维致动器及其制造方法，用于通过将多个驱动梳电极和多个定影梳电极重叠到舞台的驱动方向，来有效地布置用于驱动舞台的梳状电极。构成：二维致动器包括台（100a），第一支撑件，基座（110），平台驱动器，第二支撑件和第一支撑件驱动器。舞台（100a）具有垂直于第一方向的第二方向。基于第一方向的旋转轴，舞台像跷跷板一样沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向移动。第一个支持者用于支持舞台的跷跷板运动。基座（110）安装在台架的底部。基地由第一个支持者支持。舞台驱动器形成有与第一驱动梳状电极对应的第一驱动梳状电极和第一定影梳状电极。第二支撑件用于支撑围绕第二方向的旋转轴的第一支撑件的跷跷板运动。第一支撑器驱动器形成有第二驱动梳状电极和第二定影梳状电极，以便产生第一支撑件的跷跷板运动。

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