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1. 发明授权

KR101504784B1 미세기계 부품 및 미세기계 부품의 구동 방법 有权
标题翻译：微生物组分和操作微生物组分的方法
公开(公告)号：KR101504784B1
公开(公告)日：2015-03-20
申请号：KR1020107000979
申请日：2008-06-16
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 바우어볼프람 , 클라쎈요하네스
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , G06F1/04 , H01G7/00
CPC分类号： B81B3/0094 , B81B2201/0242 , B81B2203/0136 , H03H9/02275 , H03H2009/02496
摘要： 본 발명은 미세기계 부품에 관한 것으로, 상기 미세기계 부품은 제1 전극 및 제2 전극을 포함하며, 제1 전극은 제2 전극에 대해 주 운동 방향으로 운동할 수 있다. 제1 전극 및/또는 제2 전극은, 제1 전극이 주 운동 방향에 대해 평행하게 운동함으로써 제1 전극의 돌출부와 제2 전극의 돌출부가 중첩되는 영역에서의 평균 간격이 각각 주 운동 방향에 대해 수직으로 변동하면서 각각 주 연장 평면 내에서 변동하는 방식으로 구성된다.

2. 发明公开

KR1020080103427A 공진기, 발진기 및 통신 장치 无效
标题翻译：谐振器，振荡器和通信装置
公开(公告)号：KR1020080103427A
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：KR1020080047067
申请日：2008-05-21
申请人： 소니 주식회사
发明人： 모리타신야 , 아키바아키라
IPC分类号： H03H9/15
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/02433 , H03H9/2405 , H03H9/505 , H03H2009/0244 , H03H2009/02496
摘要： A resonator, an oscillator, and a communication apparatus increase a Q value by equalizing a stress applied to a structure of respective resonator element and a vibration part of the respective resonator element. A plurality of resonator elements(21) having bottom electrodes(26, 27) and a vibration part(24) with an interval are connected in parallel. The plurality of resonator elements are arranged to be a closed system and the vibration parts of the plurality of resonator elements are continuously integrated. The plurality of the resonator elements are arranged in a point symmetry for the center of the closed system.
摘要翻译：谐振器，振荡器和通信装置通过均衡施加到各个谐振元件的结构的应力和各个谐振器元件的振动部分来增加Q值。并联连接有多个具有底部电极（26,27）和振动部（24）的谐振器元件（21）。多个谐振器元件被布置为闭合系统，并且多个谐振器元件的振动部分被连续地集成。多个谐振器元件以关于闭合系统的中心的点对称的方式布置。

3. 发明公开

KR1020050120748A 열적으로 유도된 진동수 변동을 보상하는 방법, 초소형 기계식 공진기를 제조하는 방법, 및 초소형 기계식 공진기 有权
标题翻译：硅MEMS谐振器的温度补偿
公开(公告)号：KR1020050120748A
公开(公告)日：2005-12-23
申请号：KR1020057009725
申请日：2004-03-30
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 루츠마르쿠스 , 파트리지아론
IPC分类号： H03H9/00 , H03H9/54 , H01P7/10
CPC分类号： H03H9/02448 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02417 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511
摘要： Thermally induced frequency variations in a micromechanical resonator are actively or passively mitigated by application of a compensating stiffness, or a compressive/tensile strain. Various composition materials may be selected according to their thermal expansion coefficient and used to form resonator components on a substrate. When exposed to temperature variations, the relative expansion of these composition materials creates a compensating stiffness, or a compressive/tensile strain.
摘要翻译：通过施加补偿刚度或压缩/拉伸应变，微机械谐振器中的热诱导频率变化被主动地或被动地减轻。可以根据其热膨胀系数选择各种组合物材料，并用于在基底上形成共振器部件。当暴露于温度变化时，这些组合物材料的相对膨胀产生补偿刚度或压缩/拉伸应变。

4. 发明授权

KR101917088B1 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들 有权
公开(公告)号：KR101917088B1
公开(公告)日：2018-11-12
申请号：KR1020177010414
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要： 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.

5. 发明公开

KR1020170056008A 발진기들 및 실시간 클럭 응용들을 위한 다수의 코일 스프링 MEMS 공진기 审中-实审
标题翻译：用于振荡器和实时时钟应用的多个螺旋弹簧MEMS谐振器
公开(公告)号：KR1020170056008A
公开(公告)日：2017-05-22
申请号：KR1020177010412
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 슈완-타 , 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2431 , B81B2201/0271 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02346 , H03H2009/02496
摘要： 다수의코일스프링 MEMS 공진기는센터앵커및 센터앵커로부터외부폐쇄링(104)으로나선형패턴으로연장되는 2 개이상의코일스프링들(102a, 102b)을포함하는공진기바디(106)를포함한다. 코일스프링들의각 쌍은센터앵커의반대지점들에서시작하여나선형패턴으로외부링의반대지점들까지연장된다. 코일스프링들의수, 코일스프링들의길이및 폭, 및외부링의중량은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 외부링(104)은수직의변환기들(108)을포함하고외부링(104)의중량을조정하기위해홀들(130)을포함할수 있다. 구동전극들(110) 및감지전극들(112)의세트는기판에부착된다.
摘要翻译：到MEMS谐振器的多个螺旋弹簧包括一谐振器本体（106），其包括以螺旋形图案的外延伸的至少两个螺旋弹簧从中心锚和中心锚（102A，102B）封闭环104。每对螺旋弹簧从中心锚的相对点开始以螺旋图案在外环的相反方向上延伸。选择螺旋弹簧的数量，螺旋弹簧的长度和宽度以及外环的重量以实现期望的谐振频率。外环104包括垂直换能器108并且可以包括用于调节外环104的重量的孔130。一组驱动电极110和感测电极112附着到衬底。

6. 发明公开

KR1020070100942A 나노기계 발진기 无效
标题翻译：南方振荡器
公开(公告)号：KR1020070100942A
公开(公告)日：2007-10-15
申请号：KR1020077016233
申请日：2006-01-04
申请人： 트르스티스 오브 보스톤 유니버시티
发明人： 모한티프리티라즈 , 가이다르지알렉세이 , 졸파가르크하니구이티 , 베드제이로버트아이.
IPC分类号： H01L41/08 , H01L27/10 , B82B1/00
CPC分类号： B81B3/0018 , H03H9/2431 , H03H9/2447 , H03H9/485 , H03H9/505 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： A mechanical oscillator has components with dimensions in a sub-micron range to produce resonance mode oscillations in a gigahertz range. A major element is coupled to a minor, sub-micron element to produce large amplitude gigahertz frequency oscillation that is detected with readily available techniques. The mechanical structure can be formed according to a number of geometries including beams and rings and is excited with electrostatic, magnetic and thermal related forces, as well as other excitation techniques. The mechanical structure can be arranged in arrays for applications such as amplification and mixing and is less sensitive to shock and radiative environments than electrical or optical counterparts.
摘要翻译：机械振荡器具有尺寸在亚微米范围内的部件，以产生千兆赫兹范围内的谐振模式振荡。一个主要元件耦合到次要的亚微米元件，以产生用现有技术检测的大幅度千兆赫兹频率振荡。机械结构可以根据多个几何形状形成，包括梁和环，并且被静电，磁和热相关的力以及其它激发技术激发。机械结构可以布置成阵列用于诸如放大和混合的应用，并且对电击或辐射环境的敏感性不如电气或光学对应物。

7. 发明公开

KR1020170058978A 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들 审中-实审
标题翻译：用于频率和时序生成的复合弹簧MEMS谐振器
公开(公告)号：KR1020170058978A
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020177010414
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要： 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.
摘要翻译：复合弹簧MEMS谐振器包括谐振器本体，谐振器本体使用形成复合弹簧块55,95的一个或多个弹簧单元单元和构成谐振器本体的一个或多个复合弹簧块54a构成。每个复合弹簧块固定在节点上以确保高质量因子（56,58）。谐振器本体包括附接到复合弹簧块的开放端并且电容性地耦合到驱动/感测电极66,68的质量块60a，60b，94a，94b。弹簧单元电池的尺寸时，选择弹簧单元电池的用于复合弹簧块时，块的尺寸和重量，以及长度和支撑梁的宽度的数量以实现期望的谐振频率。多个谐振器单元可以并联连接以形成谐振器本体90。另一方面，选择复合弹簧块的数量来调整期望的电特性，例如MEMS谐振器的阻抗。释放孔94可用于调节谐振器本体的重量。

8. 发明授权

KR100943777B1 열적으로 유도된 진동수 변동을 보상하는 방법, 초소형 기계식 공진기를 제조하는 방법, 및 초소형 기계식 공진기 有权
标题翻译：用于热诱导频率变化的补偿方法，制备微机电谐振器的方法和微机电谐振器
公开(公告)号：KR100943777B1
公开(公告)日：2010-02-23
申请号：KR1020057009725
申请日：2004-03-30
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 루츠마르쿠스 , 파트리지아론
IPC分类号： H03H9/00 , H03H9/54 , H01P7/10
CPC分类号： H03H9/02448 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02417 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511
摘要： 초소형 기계식 공진기 내의 열적으로 유도된 진동수 변동이 보상 강성 또는 압축/인장 스트레인의 인가에 의해 능동 또는 수동적으로 완화된다. 다양한 조성의 재료가 그의 열팽창 계수에 따라 선택되어 기판 상에 공진기 구성요소를 형성하도록 사용될 수 있다. 온도 변동에 노출될 때, 이러한 조성의 재료의 상대 팽창이 보상 강성 또는 압축/인장 스트레인을 생성한다.
초소형 기계식 공진기, 진동수 변동, 열팽창 계수, 보상 강성, 스트레인

9. 发明公开

KR1020050090995A 변환기 및 이를 포함하는 전자 장치 无效
标题翻译：传感器和电子设备
公开(公告)号：KR1020050090995A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：KR1020057010448
申请日：2003-11-26
申请人： 엔엑스피 비 브이
发明人： 반비크조제프티엠
IPC分类号： G01D1/00 , G01D5/00
CPC分类号： H03H9/2463 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/2452 , H03H2009/02496
摘要： The transducer (1) comprises an electrically conductive resonator element (20) extending in a longitudinal direction having a length (l). It can be elastically deformed by an electrically conductive actuator (30) such that the elastic deformation comprises a change of the length (dl). The resonator element (20) is electrically connected to a first contact area (25) and a second contact area (26) thereby constituting a circuit. In this circuit the resonator element (20) constitutes a resistor with an ohmic resistance (R) which is a function of the length (l+dl). The transducer (1) further comprises a measurement point (28) electrically connected to the circuit for providing an electrical signal which is a function of the resistance (R).
摘要翻译：换能器（1）包括在具有长度（l）的纵向延伸的导电谐振元件（20）。其可以由导电致动器（30）弹性变形，使得弹性变形包括长度（dl）的变化。谐振器元件（20）电连接到第一接触区域（25）和第二接触区域（26），由此构成电路。在该电路中，谐振器元件（20）构成具有作为长度（l + dl）的函数的欧姆电阻（R）的电阻器。换能器（1）还包括电连接到电路的测量点（28），用于提供作为电阻（R）的函数的电信号。

10. 发明公开

KR1020040080333A 마이크로디바이스 无效
标题翻译： Microdevices公司
公开(公告)号：KR1020040080333A
公开(公告)日：2004-09-18
申请号：KR1020037016466
申请日：2003-01-16
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 나카니시요시토 , 시미즈요시토 , 야부키히로유키
IPC分类号： B81B3/00 , H01H1/00
CPC分类号： H01P1/127 , B81B3/0086 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , H01H59/0009 , H01H2001/0068 , H03H9/2457 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511
摘要： 공진기(4, 5)는 기판(1)에 대하여 수평 및 수직 방향으로 진동할 수 있다. 공진기(4)는 주로, 기판(1)에 고정되어 접촉하는 지지 부분과, 공진기(5)와 접촉하는 접촉면과, 전극(7)과 접촉하는 접촉면을 갖는 가동 부분과, 지지 부분과 가동 부분을 결합하는 가교 부분으로 구성된다. 전극(6)은 공진기(5)가 공진기(4)로부터 멀어지는 방향으로 배치되어 있다. 전극(7)은 공진기(4)가 공진기(5)로부터 멀어지는 방향으로 배치된다. 전극(9)은, 공진기(5)가 공진기(4)와 공진기(5) 사이 및 공진기(5)와 전극(6) 사이에 작용하는 양 인력의 방향과는 다른 방향으로 정전기력을 발생시키게 하는 위치에 배치된다.

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