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    • 1. 发明公开
    • 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들
    • 用于频率和时序生成的复合弹簧MEMS谐振器
    • KR1020170058978A
    • 2017-05-29
    • KR1020177010414
    • 2015-10-16
    • 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
    • 클라크존리안
    • H03H9/24H03H9/02G01P15/08
    • H03H9/2405H02N1/008H03H9/02244H03H9/2431H03H9/2452H03H2009/02251H03H2009/02283H03H2009/02307H03H2009/0233H03H2009/02496
    • 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.
    • 复合弹簧MEMS谐振器包括谐振器本体,谐振器本体使用形成复合弹簧块55,95的一个或多个弹簧单元单元和构成谐振器本体的一个或多个复合弹簧块54a构成。 每个复合弹簧块固定在节点上以确保高质量因子(56,58)。 谐振器本体包括附接到复合弹簧块的开放端并且电容性地耦合到驱动/感测电极66,68的质量块60a,60b,94a,94b。 弹簧单元电池的尺寸时,选择弹簧单元电池的用于复合弹簧块时,块的尺寸和重量,以及长度和支撑梁的宽度的数量以实现期望的谐振频率。 多个谐振器单元可以并联连接以形成谐振器本体90。 另一方面,选择复合弹簧块的数量来调整期望的电特性,例如MEMS谐振器的阻抗。 释放孔94可用于调节谐振器本体的重量。