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1. 发明公开

KR1020170058978A 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들 审中-实审
标题翻译：用于频率和时序生成的复合弹簧MEMS谐振器
公开(公告)号：KR1020170058978A
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020177010414
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要： 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.
摘要翻译：复合弹簧MEMS谐振器包括谐振器本体，谐振器本体使用形成复合弹簧块55,95的一个或多个弹簧单元单元和构成谐振器本体的一个或多个复合弹簧块54a构成。每个复合弹簧块固定在节点上以确保高质量因子（56,58）。谐振器本体包括附接到复合弹簧块的开放端并且电容性地耦合到驱动/感测电极66,68的质量块60a，60b，94a，94b。弹簧单元电池的尺寸时，选择弹簧单元电池的用于复合弹簧块时，块的尺寸和重量，以及长度和支撑梁的宽度的数量以实现期望的谐振频率。多个谐振器单元可以并联连接以形成谐振器本体90。另一方面，选择复合弹簧块的数量来调整期望的电特性，例如MEMS谐振器的阻抗。释放孔94可用于调节谐振器本体的重量。

2. 发明授权

KR101917088B1 주파수 및 타이밍 생성을 위한 복합 스프링 MEMS 공진기들 有权
公开(公告)号：KR101917088B1
公开(公告)日：2018-11-12
申请号：KR1020177010414
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要： 복합스프링 MEMS 공진기는복합스프링블록(55,95)을형성하는하나이상의스프링유닛셀들및 상기공진기바디를형성하는하나이상의복합스프링블록들(54a)을사용하여구성된공진기바디를포함한다. 각복합스프링블록은고품질인자를보장하기위해절점들에고정된다(56,58). 공진기바디는복합스프링블록의개방단부들에부착되고구동/감지전극들(66,68)에용량적으로결합된질량체들(60a, 60b, 94a, 94b)을더 포함한다. 스프링유닛셀들의치수들, 복합스프링블록에대한스프링유닛셀들의수, 질량체들의크기및 중량, 및지지빔들의길이및 폭은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 다수의공진기유닛들은공진기바디(90)를형성하도록병렬로연결될수 있다. 한편, 복합스프링블록들의수는 MEMS 공진기의임피던스와같은원하는전기적특성들을튜닝하도록선택된다. 릴리즈홀들(94)은공진기바디의중량을조정하도록사용될수 있다.

3. 发明公开

KR1020170056008A 발진기들 및 실시간 클럭 응용들을 위한 다수의 코일 스프링 MEMS 공진기 审中-实审
标题翻译：用于振荡器和实时时钟应用的多个螺旋弹簧MEMS谐振器
公开(公告)号：KR1020170056008A
公开(公告)日：2017-05-22
申请号：KR1020177010412
申请日：2015-10-16
申请人： 마이크로칩 테크놀로지 인코포레이티드
发明人： 슈완-타 , 클라크존리안
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02 , G01P15/08
CPC分类号： H03H9/2431 , B81B2201/0271 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02346 , H03H2009/02496
摘要： 다수의코일스프링 MEMS 공진기는센터앵커및 센터앵커로부터외부폐쇄링(104)으로나선형패턴으로연장되는 2 개이상의코일스프링들(102a, 102b)을포함하는공진기바디(106)를포함한다. 코일스프링들의각 쌍은센터앵커의반대지점들에서시작하여나선형패턴으로외부링의반대지점들까지연장된다. 코일스프링들의수, 코일스프링들의길이및 폭, 및외부링의중량은원하는공진주파수를실현하도록선택된다. 외부링(104)은수직의변환기들(108)을포함하고외부링(104)의중량을조정하기위해홀들(130)을포함할수 있다. 구동전극들(110) 및감지전극들(112)의세트는기판에부착된다.
摘要翻译：到MEMS谐振器的多个螺旋弹簧包括一谐振器本体（106），其包括以螺旋形图案的外延伸的至少两个螺旋弹簧从中心锚和中心锚（102A，102B）封闭环104。每对螺旋弹簧从中心锚的相对点开始以螺旋图案在外环的相反方向上延伸。选择螺旋弹簧的数量，螺旋弹簧的长度和宽度以及外环的重量以实现期望的谐振频率。外环104包括垂直换能器108并且可以包括用于调节外环104的重量的孔130。一组驱动电极110和感测电极112附着到衬底。

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