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1. 发明授权

KR101879038B1 광파장 측정기 有权
公开(公告)号：KR101879038B1
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：KR1020160090852
申请日：2016-07-18
申请人： 김만식
发明人： 김만식
IPC分类号： G01J9/02 , G02B6/293 , H04J14/02
CPC分类号： G01J9/02 , G02B6/293 , H04J14/02
摘要： 본발명은광파장측정기에관한것으로더욱상세하게는파장분할다중화방식으로복수의광파장이먹싱(muxing)되는광통신망의광선로에서전송되는광파장을측정하는장치가개시된다. 개시된광파장측정기는복수의광파장을포함하는광신호가입력되며렌즈를이용하여상기광신호를평행광으로만들어출력하는광입력부, 상기광입력부에서출력되는광신호를필터링하는채널필터, 상기채널필터가부착되는회전판, 상기회전판을회전시키는모터, 상기채널필터를통과한광신호를전기신호로변환하여출력하는포토디텍터, 상기모터의회전각을제어하는제어부, 상기제어부를위한회전각도제어신호를생성하고, 상기회전각도와상기전기신호를바탕으로광파장값을추출하는신호처리부, 및상기신호처리회로부에서추출한광파장값을표시하는디스플레이부를포함할수 있다. 본발명에의하면, 수신한광신호파장의정밀한측정이가능하고, 또한광신호의출력측정이가능한바 파장다중방식광통신시스템에서광신호의파장값에대한정확한정보를제공함으로서광통신시스템의품질과신뢰성을점검할수 있으며광통신망의유지, 보수과정을용이하게할 수있다.

2. 发明公开

KR20180051694A 편광 빛살가르게를 이용한 자유공간 사냑 간섭계 审中-公开
公开(公告)号：KR20180051694A
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：KR20160147522
申请日：2016-11-07
申请人： UNIV SOGANG RES FOUNDATION
发明人： CHO KYU MAN , YOON SEUNG HYUN , EANG SEANG HOR , PARK JUNE KYU , IM HYO SEOP
IPC分类号： G01J9/02 , G02B27/14
CPC分类号： G01J9/02 , G02B27/14
摘要： 본발명은개선된사냑간섭계에관한것이다. 상기사냑간섭계는, 광원; 상기광원으로부터입력된광을서로수직편광된제1 빔과제2 빔으로나누고, 상기제1 빔과제2 빔을하나의닫힌경로에서서로반대방향을따라이동시킨후 다시합쳐서출력하는감지부; 상기감지부로부터출력된제1 빔과제2 빔을간섭시켜이들사이에유도된위상변화를측정하는복조부;를구비한다. 상기감지부는, 상기광원으로부터입력된광을서로수직편광된제1 빔과제2 빔으로나누어서로다른출력포트로각각출력하는편광빛살가르게; 둘이상의거울을이용하여하나의닫힌경로를구성하며, 상기편광빛살가르게로부터출력된상기제1 빔과제2 빔의방향을전환시켜상기닫힌경로를따라이동시켜제1 빔은제2 빔의출력포트로입력시키고제2 빔은제1 빔의출력포트로입력시키는폐경로부;를구비하며, 상기폐경로부로부터출력된제1 빔과제2 빔은서로수직으로편광되어편광빛살가르게에서합쳐져동일한경로로출력되어상기복조부로제공한다. 상기사냑간섭계는제1 빔과제2 빔의위상차를이용하여회전각속도를검출하여제공한다.

3. 发明授权

KR101720575B1 레이저 가공장치의 광학계 정렬 장치 및 광학계 정렬 방법 有权
标题翻译：光学系统对准装置和激光加工装置的光学系统对准方法
公开(公告)号：KR101720575B1
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：KR1020150146092
申请日：2015-10-20
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 김병오 , 이동준
IPC分类号： B23K26/042 , B23K26/03 , B23K26/067 , G01J9/00 , G01J9/02
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/042 , B23K26/067 , G01J9/00 , G01J9/02
摘要： 레이저가공장치를구성하는레이저광학계를정렬하는장치및 방법이개시된다. 개시된레이저가공장치의광학계정렬장치는레이저빔이경유하는레이저광학계와, 상기레이저광학계로부터출사되는상기레이저빔의광파면(light wavefront)을측정하는샤크-하트만센서(shark-hartmann) 센서와, 상기샤크-하트만센서에의해검출된상기레이저빔의광파면을수식으로표현하여상기레이저광학계가오정렬(mis-alignment)됨으로써발생되는상기레이저광학계의편심값을계산하는연산부;를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于对齐构成激光加工设备的激光光学系统的设备和方法。激光加工装置的所公开的光学系统对准单元经由激光光束，从激光光学系统发射的激光束的光学波前（光的波阵面），用激光光学系统测量的鲨鱼 - 和哈特曼传感器（鲨 - 哈特曼）传感器和包括; - 鲨鱼到光学波前通过由式计算单元，用于计算所述激光光学系统的偏移值表示的哈特曼传感器检测的激光束的通过布置高（未对准）激光光学系统射出。

4. 发明公开

KR1020130037723A 비구면을 정밀 고해상도로 측정하는 방법 有权
标题翻译：用于精确表面高分辨率测量的方法
公开(公告)号：KR1020130037723A
公开(公告)日：2013-04-16
申请号：KR1020137004413
申请日：2006-04-05
申请人： 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크.
发明人： 머피폴이. , 밀라디노빅드라기샤 , 포브스그렉더블유. , 데브리스게리엠. , 플라익존에프.
IPC分类号： G01M11/00 , G01B11/24 , G01B9/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02063 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01M11/025 , G01M11/0257 , G01M11/0271 , G01M11/0278
摘要： 본 발명은 테스트 파트에서 파면 또는 표면, 특히 비구면체 상의 높은 공간 주파수를 개선된 정확도를 가지고 측정하는 복수의 방법을 포함하는 시스템에 관한 것이다. 이 방법은 테스트 파트를 복수로 측정하는 것을 포함한다. 방법 중 하나는, 테스트 파트가 게이지에 대하여 재배치되는 경우, 해상력과 정확도의 손실을 방지하기 위하여 계측 게이지의 포커싱 구성요소의 보상과 제어를 포함한다. 다른 방법은 게이지의 고유 슬로프-의존 비균일 바이어스 안에 더 높은 공간-주파수 구조를 억제하는 종래 평균화 방법을 확장한다. 이들 방법 중 하나는 게이지의 바이어스가 명확하게 할 수 있도록 파트의 더 높은 공간-주파수 구조를 억제하는 평균을 포함한다; 다른 방법은 직접적으로 게이지의 바이어스를 측정 안에서 억제한다. 모든 방법은 특정 기하학과 태스크에 맞춰진 여러 구성안의 결합에서 사용될 수 있다.

5. 发明公开

KR1020120106905A 파장 동조 소스용 방법 및 장치 有权
标题翻译：波长调谐源的过程和设备
公开(公告)号：KR1020120106905A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：KR1020127023854
申请日：2004-06-04
申请人： 더 제너럴 하스피탈 코포레이션
发明人： 보우마,브레트,이. , 윤석현 , 오,윌리엄 , 데보어,요한네스 , 테니,귈러모
IPC分类号： G02B27/48 , G02B5/20 , A61B5/00 , G01J9/02
CPC分类号： G01J3/10 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , G01B9/02004 , G01B9/02091 , G01J3/12 , G01J9/0215 , G01N21/4795 , G02B27/48 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/105 , H01S5/141 , H01S5/146 , H01S5/4087 , A61B5/00 , G01J9/02 , G02B5/20 , G02B27/46
摘要： 전자기 복사의 주파수에 기초하여 전자기 복사의 하나 이상의 성분을 물리적으로 분리하도록 구성된 적어도 하나의 스펙트럼 분리 배열을 포함할 수 있는 적어도 하나의 전자기 복사를 필터링하는 장치 및 그 소스 배열을 제공할 수 있다. 이러한 장치 및 배열은 또한 하나 이상의 성분과 관련된 적어도 하나의 신호를 수신하도록 구성된 적어도 하나의 연속 회전식 광학 배열도 구비할 수 있다. 또한, 이러한 장치 및 배열은 상기 신호를 수신하도록 구성된 적어도 하나의 빔 선택 배열을 포함할 수 있다.

6. 发明授权

KR101159380B1 파면 조정 및 향상된 3―Ｄ 측정을 위한 방법 및 장치 失效
标题翻译： 파된된향된된된장된된장장장장장장장장장
公开(公告)号：KR101159380B1
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：KR1020067018549
申请日：2005-03-11
申请人： 이코스비젼 시스팀스 엔.브이.
发明人： 아리엘리요엘 , 울핑샤이 , 란쯔만엠마누엘 , 페이긴가브리엘 , 구쯔니탈 , 사반요람
IPC分类号： G01B11/06 , G02B3/00
CPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02087 , G01B11/0625 , G01B11/0641 , G01B11/0675 , G01B11/24
摘要： 본 발명은 특히 광학 시스템의 영상면과 같은 중간 평면의 출력에 기반한, 광학 시스템에서의 위상 및 진폭 정보, 및 3D 측정값을 포함하는 파면 분석을 수행하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 박막 코팅의 존재하에서 표면 형태의 측정 또는 다층된 구조의 개별의 층들의 측정이 설명된다. 위상 및 진폭 매핑과 조합하여 다중 파장 분석이 이용된다. 맥스웰 방정식의 해법에 기반한 가상 파면 전파를 이용하여, 파면 전파와 재 포커싱에 의해 위상과 표면 형태 측정의 향상된 방법이 설명된다. 광학 영상 시스템에서의 간섭성 잡음의 감소는 그러한 위상 조정 방법 또는 광대역 소스 및 간섭성 소스의 조합을 이용한 방법에 의해 취득된다. 이 방법은 콘트라스트 향상 또는 3-D 이미지화에 의해 단일 촬영 이미징에서의 오버레이 측정 기술을 향상시키기 위해 집적회로 검사에 적용된다.
摘要翻译：用于执行波前分析（包括相位和振幅信息）和光学系统中的3D测量的方法和装置，并且尤其是基于分析光学系统的中间平面（诸如图像平面）的输出的方法和装置。描述了在存在薄膜涂层或多层结构的各个层的情况下的表面形貌的测量。利用多波长分析与相位和幅度映射相结合。描述了使用基于麦克斯韦方程解的虚拟波前传播通过波前传播和重新聚焦来改善相位和表面形貌测量的方法。通过这样的相位处理方法或通过利用宽带和相干源的组合的方法来实现光学成像系统中的相干噪声的降低。该方法应用于集成电路检测，通过改善对比度或通过三维成像，在单次成像中改进重叠测量技术。

7. 发明公开

KR1020070062572A 모드 선택 튜너로부터의 광 피드백 有权
标题翻译：模式选择性调谐器的光学反馈
公开(公告)号：KR1020070062572A
公开(公告)日：2007-06-15
申请号：KR1020077009116
申请日：2005-09-20
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 듄,토마스제임스 , 파미가,네스터오. , 쿨라웨익,앤드류더블유. , 말론,조셉씨.
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S5/0687 , G01B9/02004 , G01B9/02057 , G01B9/02083 , G01B2290/60 , G01J9/02 , G01J2009/0292 , H01S5/0014 , H01S5/141 , H01S5/142
摘要： A mode-monitoring system used in connection with discrete beam frequency tunable laser provides optical feedback that can be used for adjusting the laser or for other processing associated with the use of the laser. For example, the output of a frequency tunable source for a frequency-shifting interferometer can be monitored to support the acquisition or processing of more accurate interference data. A first interferometer for taking desired measurements of optical path length differences traveled by different portions of a measuring beam can be linked to a second interferometer for taking measurements of the measuring beam itself. The additional interference data can be interpreted in accordance with the invention to provide measures of beam frequency and intensity.
摘要翻译：与分立光束可调谐激光器相结合使用的模式监测系统提供可用于调整激光器或与使用激光器相关的其他处理的光学反馈。例如，可以监视用于频移干涉仪的频率可调谐源的输出，以支持获取或处理更准确的干扰数据。用于取得测量光束的不同部分所行进的光程长差的期望测量的第一干涉仪可以连接到用于测量测量光束本身的第二干涉仪。可以根据本发明解释附加的干扰数据，以提供射束频率和强度的测量。

8. 发明公开

KR1020150146415A 동적 광산란 측정 장치 및 동적 광산란 측정 방법 审中-实审
标题翻译：动态光散射测量装置和动态光散射测量方法
公开(公告)号：KR1020150146415A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020150085841
申请日：2015-06-17
申请人： 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 , 고꾸리쯔 다이가꾸호우징 도쿄노우코우다이가쿠
发明人： 이즈타니유스케 , 이와이도시아키
IPC分类号： G01N15/02 , G01N21/31 , G01N21/47
CPC分类号： G01N21/51 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/18 , G01J3/4412 , G01J9/02 , G01J2009/0223 , G01N15/0211 , G01N21/0303 , G01N21/45 , G01N2015/0222 , G01N2021/0389 , G01N2021/4709 , G01N2201/062
摘要： 본발명은, 진동등의외란의영향을받기어렵고, 참조광과시료광의광로차 조정을불필요하게한 동적광산란측정장치등을제공하기위한것이다. 동적광산란측정장치(1)는, 저간섭성광원(10)으로부터의광을, 입자(42)를포함하는시료(40)에조사하는조사부와, 시료(40)에조사되는광의광로상에배치된참조면으로부터의반사광과, 참조면을투과한시료(40)로부터의산란광을분광하여, 반사광과산란광과의간섭광의스펙트럼강도를취득하는스펙트럼강도취득부와, 취득한스펙트럼강도에기초하여시료(40)의동적광산란을측정하는측정부를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及不受振动等扰动影响的动态光散射测量装置，并且不需要调整参考光和样本光之间的光路的间隙。动态光散射测量装置（1）包括：照射单元，其将来自低相干光源（10）的光照射到包括颗粒（42）的样品（40）上; 光谱强度获取单元，其通过来自通过参考平面的样品（40）的散射光的光谱获取反射光，散射光和干涉光的光谱强度; 以及测量单元，其基于所获取的光谱强度来测量样品（40）的动态光散射。

9. 发明授权

KR101459259B1 비구면을 정밀 고해상도로 측정하는 방법 有权
标题翻译：如何以高精度和分辨率测量非球面
公开(公告)号：KR101459259B1
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：KR1020137034713
申请日：2006-04-05
申请人： 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크.
发明人： 머피폴이. , 밀라디노빅드라기샤 , 포브스그렉더블유. , 데브리스게리엠. , 플라익존에프.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/30
CPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02063 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01M11/025 , G01M11/0257 , G01M11/0271 , G01M11/0278
摘要： 본 발명은 테스트 파트에서 파면 또는 표면, 특히 비구면체 상의 높은 공간 주파수를 개선된 정확도를 가지고 측정하는 복수의 방법을 포함하는 시스템에 관한 것이다. 이 방법은 테스트 파트를 복수로 측정하는 것을 포함한다. 방법 중 하나는, 테스트 파트가 게이지에 대하여 재배치되는 경우, 해상력과 정확도의 손실을 방지하기 위하여 계측 게이지의 포커싱 구성요소의 보상과 제어를 포함한다. 다른 방법은 게이지의 고유 슬로프-의존 비균일 바이어스 안에 더 높은 공간-주파수 구조를 억제하는 종래 평균화 방법을 확장한다. 이들 방법 중 하나는 게이지의 바이어스가 명확하게 할 수 있도록 파트의 더 높은 공간-주파수 구조를 억제하는 평균을 포함한다; 다른 방법은 직접적으로 게이지의 바이어스를 측정 안에서 억제한다. 모든 방법은 특정 기하학과 태스크에 맞춰진 여러 구성안의 결합에서 사용될 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种包括多个用于测量波前或表面上的高空间频率，特别是非球面表面的方法的系统，其在测试部件中具有提高的精度。该方法包括测量多个测试部件。一种方法涉及补偿和控制计量器的聚焦部件，以防止测试部件重新定位到计量器时分辨率和精度的损失。其他方法扩展了传统的平均方法，以抑制规范的固有斜率相关非均匀偏差中的较高空间频率结构。其中一种方法涉及对部件的较高空间频率结构进行平均，以便可以清楚地了解量规的偏差; 另一种方法直接抑制了测量过程中测量仪的偏差。所有方法都可以结合使用几种适合特定几何和任务的结构。

10. 发明授权

KR101011227B1 트리래터럴 변이형의 무채색 및 콤팩트 광학 간섭계 有权
标题翻译： TRILATERAL SHIFT类型的高精度和紧凑光学干涉仪
公开(公告)号：KR101011227B1
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：KR1020087020398
申请日：2007-01-16
申请人： 오네라 (오피스 내셔널 드뚜드데 에 드 르셰세 에어로스페시알르)
发明人： 프리모,제롬 , 게르노,니꼴라 , 벨쥐,사브리나
IPC分类号： G01J9/02
CPC分类号： G01J9/02
摘要： 트리래터럴 변이형의 무채색 및 콤팩트 광학 간섭계
회절 격자는, 분석되고 파면의 분석면에 광학적으로 결합된, 라이트 빔에 수직한 면에 배치되는, 라이트 빔의 파면을 분석하는 방법 및 시스템. 격자의 상이한 이머징 빔은 분석되는 파면의 성분에 링크된 변형을 구비한 이미지를 발생시키도록 간섭한다.
상기 방법은 육각형 메싱에 배치된 다수의 이머징 빔으로 분석되도록 빔의 라이트를 전송하는 표면 S의 육각형 메싱을 구비하는 2차원 격자에 의해 구현되는 광도 함수, 2개의 인접 2차 빔 사이의 2π/3(모듈로 2π)에 가까운 값의 위상 변이를 도입하는 표면 S의 육각형 메싱을 구비한 2차원 격자에 의해 구현되는 위상 함수를 증가하는 것을 특징으로 한다.

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