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1. 发明授权

KR102454697B1 관형 스트랜드를 측정하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102454697B1
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：KR1020207027560
申请日：2019-02-26
IPC分类号： B29C48/09 , B29C48/90 , B29C48/92 , G01B11/10 , G01B11/12 , G01B11/06 , G01B15/02

2. 发明授权

KR102455343B1 광대역 광학 모니터링 有权
公开(公告)号：KR102455343B1
公开(公告)日：2022-10-17
申请号：KR1020197004322
申请日：2017-07-10
IPC分类号： C23C14/54 , C23C16/52 , G01B11/06

3. 发明授权

KR102446011B1 식물 성장 촉진 및 성장 관리가 가능한 LED 조명 시스템 有权
公开(公告)号：KR102446011B1
公开(公告)日：2022-09-22
申请号：KR1020210057636
申请日：2021-05-04
IPC分类号： H05B47/105 , A01G7/04 , H05B45/10 , H05B45/20 , H05B47/19 , F21V23/04 , G01B11/06 , F21W131/40 , F21Y115/10

4. 发明授权

KR102433329B1 유리 제품의 두께를 측정하는 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102433329B1
公开(公告)日：2022-08-17
申请号：KR1020177000189
申请日：2015-06-04
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/24 , G01M11/02
摘要： 방법은, 도입된광의적어도일 부분이유리제품의에지로부터방출되도록, 유리제품으로광을도입시키는단계를포함한다. 상기유리제품의에지로부터방출된광이검출된다. 상기방출된광의강도프로파일은축 위치의함수로서상기방출된광의강도를포함한다. 상기강도프로파일의제 1 강도경계및 상기강도프로파일의제 2 강도경계가결정된다. 상기유리제품의층 두께는상기제 1 강도경계와상기제 2 강도경계사이의축 거리에기반하여, 결정된다.

5. 发明授权

KR102419971B1 가변형 히터를 구비한 필름의 폭방향 연신 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102419971B1
公开(公告)日：2022-07-13
申请号：KR1020210142127
申请日：2021-10-22
IPC分类号： B29C55/04 , B29C55/08 , B29C35/02 , B29C35/00 , G01B11/06 , B29C37/00
摘要： 본발명은필름의폭방향연신장치및 방법으로서, 특히폭 방향연신되는필름의두께를감지하는두께감지부와, 상기필름을가열하는가변형히터와, 상기두께감지부및 가변형히터를제어하는제어부를포함하여, 필름의두께에따라히터를조절하여폭 방향연신시 균일한두께를가지도록하고이에의해생산된필름의품질을향상시킬수 있는가변형히터를구비한필름의폭방향연신장치및 방법이다.

6. 发明授权

KR102418325B1 블랭크 위상변위 마스크 시료의 위상변위 측정장치 有权
公开(公告)号：KR102418325B1
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：KR1020200126629
申请日：2020-09-29
IPC分类号： G01B11/25 , G01B11/06 , G01N21/59 , G01N21/21 , G03F1/84
摘要： 본발명은분광타원계를이용하여블랭크위상변위마스크의위상변위값을산출하되, 분광투과계를통해측정된투과율과분광타원계를통해측정된타원파라미터를만족하는두께값및 복소굴절률을이용하여위상변위값을산출함으로써, 보다정확한위상변위값을산출할수 있는기술에관한것이다. 본발명에따른블랭크위상변위마스크시료의위상변위측정장치는, 쿼츠기반의표면에위상변위막이형성된시료와, 광원에서출력되는측정광을편광자를통해선편광형태로상기시료측으로투사하고, 시료의위상변위막표면에서반사되는빛과쿼츠기판표면에서반사되는빛이중첩되어형성되는편광을검광자를통해검출한후 분광기를통해분광하여그 간섭특성에대응되는제1 측정광을획득하는분광타원계, 상기시료의상측에서시료측으로광을투사하고, 시료의하측에서시료를투과한투과광에대응되는제2 측정광을획득하는분광투과계및, 상기분광타원계에서획득한제1 측정광의푸리에변환상해석을통해타원파라미터를획득하고, 이타원파라미터를통해위상변위막의두께값과복소굴절률을산출하며, 위상변위막에대한두께값과복소굴절률값을이용하여위상변위값을산출하되, 상기제2 측정광을이용하여산출된두께값과제1 측정광을이용하여산출된두께값이일치하지않으면, 두께값을변수로하는분석모델을통해제2 측정광의투과율과제1 측정광의타원파라미터를만족하는두께값과복소굴절률값을해당위상변위막의두께값및 복소굴절률값으로결정하는산출부를포함하여구성되는것을특징으로한다.

7. 发明公开

KR1020220092424A 막 두께 추정 방법, 기억 매체 및 막 두께 추정 장치 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220092424A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：KR1020210185852
申请日：2021-12-23
IPC分类号： G01B11/06 , H01L21/66
摘要： 기판으로부터의반사광에기초하여막 두께를정밀도좋게추정한다. 본개시의일측면에따른막 두께추정방법은, 표면상에처리액의막이형성되도록회전시키고있는회전기간에있어서, 기판의표면과중첩되는개소를향해광을조사하는것과, 기판의표면을반사된후에처리액의막을개재하여출사되는광과, 처리액의막의외표면에서반사된광이합성된반사광을수광함으로써, 회전기간에있어서의반사광의강도의시간변화를나타내는신호파형을취득하는것과, 신호파형중의, 회전기간내의정해진계측시점과, 계측시점이전에있어서신호파형이정해진조건을충족하는시점과의사이의파형으로부터특징량을취득하는것과, 취득한특징량에기초하여, 계측시점에있어서의처리액의막의두께를산출하는것을포함한다.

8. 发明授权

KR102413483B1 3차원 곡면 형상 검사 장치 및 3차원 곡면 형상 검사 방법 有权
公开(公告)号：KR102413483B1
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：KR1020210099029
申请日：2021-07-28
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N21/88 , G06T7/00 , G06T7/50 , G06T17/30
摘要： 3차원곡면형상검사장치는스테이지, 레이저센서, 및제어모듈을포함한다. 검사대상물은스테이지에안착된다. 레이저센서는검사대상물로부터일정거리이격된상태에서검사대상물과평행한제1 방향으로이동하면서, 검사대상물의표면에제1 방향에수직한제2 방향으로형성되는라인레이저를주기적으로조사하여검사대상물의표면에서라인레이저가조사된라인상의복수의지점들의높이들을측정하고측정된높이들을포함하는라인프로파일데이터를매 주기마다생성한다. 제어모듈은레이저센서로부터검사대상물의표면에대해라인별로생성되는복수의라인프로파일데이터들을수신하고, 복수의라인프로파일데이터들각각에기초하여복수의라인프로파일데이터들각각에상응하는라인의굴곡형상을제1 내지제n(n은 2 이상의양의정수) 유형들중의하나로분류하고, 분류된유형에기초하여복수의라인프로파일데이터들각각에상응하는라인의대표단차를결정하고, 복수의라인프로파일데이터들에대한복수의대표단차들및 평탄도공차범위에기초하여검사대상물의표면의평탄도불량여부를결정한다.

9. 发明公开

KR1020220088332A 계측 장치, 노광 장치 및 물품 제조 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220088332A
公开(公告)日：2022-06-27
申请号：KR1020210179327
申请日：2021-12-15
IPC分类号： G01B11/06 , G03F9/00
摘要： 물체의높이위치를계측하는계측장치가제공된다. 장치는물체에계측광을투영하는투광부, 물체에의해반사된계측광을수광하는수광부, 및수광부에의해수광된계측광의상에기초하여물체의높이위치를결정하는처리부를포함한다. 투광부는조 검출패턴과주기패턴을갖는정밀검출패턴을물체에투영하고, 처리부는수광부에의해수광된조 검출패턴에기초하여물체의높이위치의조 검출값을결정하며, 조검출값및 수광부에의해수광되는정밀검출패턴에기초하여물체의높이위치의정밀검출값을결정한다.

10. 发明授权

KR102408833B1 기판 상의 하나 이상의 구조체의 특성을 결정하기 위한 계측 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102408833B1
公开(公告)日：2022-06-13
申请号：KR1020207010312
申请日：2018-09-18
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/06 , G01N21/47 , G01N21/95 , G03F7/20 , G03F9/00
摘要： 기판상의적어도하나의구조체와관련된관심특성을결정하기위한계측시스템및 이와연관된방법이기술된다. 이러한계측시스템은프로세서를포함하는데, 프로세서는측정획득에서조명방사선으로적어도하나의구조체를조명한결과로서적어도하나의구조체에의해반사되거나산란된산란방사선의검출된특성으로부터위상및 진폭정보를컴퓨테이션으로결정하고이와같이결정된위상및 진폭을이용하여관심특성을결정하도록구성된다.

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