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11. 发明公开

KR1020120113841A 기판 지지 유닛 및 이를 이용한 이송 로봇 티칭 방법 有权
标题翻译：波浪支持单元和使用波形支持单元教导传送机器人的方法
公开(公告)号：KR1020120113841A
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：KR1020110031468
申请日：2011-04-06
申请人： 주식회사 테스
发明人： 노희성
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68 , H01L21/677 , B25J9/16
CPC分类号： H01L21/67265 , B25J9/1005 , G05B2219/37608 , H01L21/67742 , H01L21/682
摘要： PURPOSE: A substrate support unit and a transfer robot teaching method using the same are provided to shorten transfer robot teaching time by changing the teaching value of a transfer robot according to a loading position control value of a substrate. CONSTITUTION: A substrate support unit(200) is arranged in a chamber(100) and supports a substrate. The chamber includes a chamber body(110) and a chamber lid(120). A gas spray unit(300) sprays process gas to the chamber and includes a top plate(310) with a gas supply part(312) and a bottom plate(320). A transfer robot(400) transfers the substrate to the substrate support unit.
摘要翻译：目的：提供一种基板支撑单元和使用该基板支撑单元的传送机器人教导方法，通过根据基板的装载位置控制值改变传送机器人的教导值来缩短传送机器人的教学时间。构成：衬底支撑单元（200）布置在室（100）中并支撑衬底。该室包括室主体（110）和室盖（120）。气体喷射单元（300）将处理气体喷射到室，并且包括具有气体供应部分（312）和底板（320）的顶板（310）。传送机器人（400）将基板传送到基板支撑单元。

12. 发明公开

KR1020080114155A 웨이퍼 그리핑 장치 无效
标题翻译：拖曳装置
公开(公告)号：KR1020080114155A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070063461
申请日：2007-06-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 신명수
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J9/1005 , B25J11/0095 , H01L21/68707 , Y10S414/141
摘要： A water gripping apparatus is provided to prevent damage to the water due to drop of the wafer by preventing the separation of the gripped wafer by a pair of arms. A wafer gripping apparatus is composed of a gripper(10), a space control member, and a fixing block(30). The gripper includes a pair of arms(11) with a hook shape symmetrically in both sides and the gripper pivotally connects the arms in an opposite direction by the axis of rotation in the upper part. The space control member adjusts interval between both arms in the lower portion around the axis of rotation of the gripper. The fixing block covers the space control member from the outside while axis-supporting the axis of rotation. The fixing block is equipped to ascend and descend by a lifting block(340).
摘要翻译：提供一种水夹持装置，通过防止被夹持的晶片由一对臂分离而防止由于晶片的下落而损坏水。晶片夹持装置由夹持器（10），空间控制构件和固定块（30）构成。夹持器包括一对具有两侧对称的钩形状的臂（11），并且夹持器通过上部的旋转轴线沿相反方向枢转地连接臂。空间控制构件调整在夹持器的旋转轴线周围的下部的两个臂之间的间隔。固定块在轴向支撑旋转轴线的同时从外部覆盖空间控制构件。固定块装备有升降块（340）上升和下降。

13. 发明公开

KR1020060058022A 산업용 로봇 失效
标题翻译：工业机器人
公开(公告)号：KR1020060058022A
公开(公告)日：2006-05-29
申请号：KR1020050112066
申请日：2005-11-23
申请人： 도시바 기카이 가부시키가이샤
发明人： 오구라가쯔히또
IPC分类号： B25J17/02 , B25J19/02 , B25J19/06
CPC分类号： B25J9/1005 , B25J18/04 , Y10T74/20305 , Y10T74/20323 , Y10T74/20329 , Y10T74/20348
摘要： 본 발명의 과제는 승강부의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있고, 설계상의 자유도를 향상 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것이다.
산업용 로봇(1000)은 기체부(B1)와, 기체부(B1)에 대해 승강 가능한 승강부(B2)와, 모터(110)와, 모터(110)의 구동력을 전달하는 전달 기구(ST1)와, 전달 기구(ST1)를 거쳐서 전달되는 구동력에 의해 승강부(B1)를 승강시키는 구동 기구(ST2)와, 모터(110)로부터 승강부(B2)로의 구동력의 전달의 이상을 검출하는 센서(70)와, 기체부(B1)에 지지되어 센서(70)에 의해 이상이 검출되었을 때에 승강부(B2)에 결합되는 위치로 이동하여 승강부(B2)의 낙하를 방지하는 스토퍼 플레이트(90)를 구비한다.
산업용 로봇, 기체부, 모터, 승강부, 스토퍼 플레이트, 센서
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种工业机器人，其能够更可靠地防止升降部的掉落并且提高设计的自由度。

14. 发明授权

KR100166581B1 다관절형 로보트 失效
标题翻译：多轴类型机器人
公开(公告)号：KR100166581B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019900000691
申请日：1990-01-22
申请人： 소니 주식회사
发明人： 가끼누마다께까즈
IPC分类号： B25J9/00
CPC分类号： B25J19/0029 , B25J9/0084 , B25J9/042 , B25J9/08 , B25J9/1005
摘要： 내용없음

15. 发明授权

KR101803818B1 필드로봇 매니퓰레이터의 이동장치 有权
标题翻译：现场机器人操纵器的移动装置
公开(公告)号：KR101803818B1
公开(公告)日：2017-12-04
申请号：KR1020160080025
申请日：2016-06-27
申请人： 재단법인대구경북과학기술원
发明人： 조재욱 , 엄성훈 , 이승열
IPC分类号： B25J5/00 , B25J9/10 , B25J19/00 , B25J19/02
CPC分类号： B25J5/007 , B25J9/1005 , B25J19/0012 , B25J19/02
摘要： 본발명의필드로봇매니퓰레이터의이동장치는, 매니퓰레이터와결합되어, 상기매니퓰레이터를이동시키는필드로봇매니퓰레이터의이동장치에있어서, 상면에상기매니퓰레이터가결합되는상부프레임부; 상기상부프레임부의하측으로이격되어배치되는하부프레임부; 상기상부프레임부또는상기하부프레임의기울기를측정하는센서부; 양단이상기상부프레임부과상기하부프레임부에각각결합되어, 길이변화가가능하고, 상기센서부의감지치에대응하여상기상부프레임부를수평으로제어하는기울기제어부; 및상기하부프레임부의하측에구비되는캐스터부를포함한다. 본발명의필드로봇매니퓰레이터의이동장치에의하면, 기울기제어부를통하여상부프레임부의수평을제어함으로써매니퓰레이터를안정적으로이동시킬수 있다. 더불어기울기제어부가한 쌍의제 1실린더와한 쌍의제 2실린더로구성되어정밀하게수평제어를할 수있다. 더불어상부프레임부가제 1회동판및 제 2회동판으로구성되어각각회동가능하도록구비되어좁은공간의이동이가능하여효율적이며, 적용범위가넓다.
摘要翻译：本发明的一个字段机器人机械手，在与操纵器的组合的移动设备，所述上壳体部分是在移动机器人操纵器装置的领域，用于移动所述操纵器，操纵器被连接到所述上表面上; 下部框架部分，其设置在上部框架部分下方并与下部框架部分间隔开; 传感器单元，用于测量上框架部分或下框架的倾斜度; 倾斜控制器，其耦合到上框架和下框架以响应于传感器的感测值而改变上框架的长度并且水平地控制上框架; 以及设置在下框架部分下方的脚轮部分。根据本发明的现场机器人机械手的移动装置，通过倾斜控制部分控制上部框架部分的水平位置，可以稳定地移动机械手。另外，倾斜控制部分由一对第一汽缸和一对第二汽缸构成，从而可以执行精确的水平控制。另外，上框架部由第一旋转板和第二旋转板构成，并且可旋转地设置于上框架和下框架中的每一个，从而能够在狭窄的空间中移动。

16. 发明公开

KR1020170130647A 인공관절시스템 및 이의 제어방법 审中-实审
标题翻译：人造关节系统及其控制方法
公开(公告)号：KR1020170130647A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020160060720
申请日：2016-05-18
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박철훈 , 손영수 , 함상용 , 홍두의 , 최경준 , 박성준
IPC分类号： B25J9/10 , A61F2/08 , A61F2/50 , A61F2/70
CPC分类号： B25J9/10 , A61F2/70 , A61F2002/0894 , A61F2002/5066 , A61F2210/0014 , B25J9/1005 , B25J9/1075 , B25J9/1085
摘要： 본발명은빠른동작속도를가지고, 간단한결합구조를가지면서인공관절에용이하게적용될수 있는인공근육모듈, 이를이용한길항구조를갖는인공근육어셈블리, 인공근육어셈블리를이용한인공관절시스템및 인공근육어셈블리제어방법에관한것이다. 이를위해, 본발명은열에반응하면서형상이변형되는제1 열반응구동유닛과, 제1 내부공간을형성하면서상기제1 열반응구동유닛과연결되어함께변형되는제1 케이싱유닛을갖는제1 인공근육모듈; 열에반응하면서형상이변형되는제2 열반응구동유닛과, 제2 내부공간을형성하면서상기제2 열반응구동유닛과연결되어함께변형되는제2 케이싱유닛을갖는제2 인공근육모듈; 그리고, 상기제1 내부공간과상기제2 내부공간을연통시키기위하여상기제1 케이싱유닛과상기제2 케이싱유닛을연결하는유체이동관을포함하는인공근육어셈블리를, 이를이용한인공관절시스템, 인공근육어셈블리제어방법및 상기인공근육어셈블리에적용되는인공근육모듈을제공한다.
摘要翻译：本发明具有快速的操作速度，同时具有简单的联接结构容易地应用于为人工肌肉模块，使用在人造关节相同的人工关节系统和人工肌肉组件控制使用人工肌肉组件，人造肌肉组件用拮抗剂结构＆lt; 为此，根据权利要求1的发明中，形成第一热反应驱动单元，其形状变形的第一内部空间中，而与第一壳体部的反应热与连接被变形到第一热反应驱动单元人造肌肉模块; 权利要求2的第二人造肌肉模块和反应塔驱动部形状变形，而反应热，并形成与第二壳体单元中的第二内部空间变形与连接到所述第二热反应驱动单元; 钧连接所述第一壳体部和第二壳体部，和人工肌肉总成 - 此外，在第一内部空间和第二人工关节系统，以便与内部空间使用相同的人工肌肉组件，其包括流体李东通信控制方法和应用于人造肌肉组件的人造肌肉模块。

17. 发明公开

KR1020120026541A 로봇의 티칭 장치 및 로봇의 티칭 방법 无效
标题翻译：教学机器人的装置和教学机器人的方法
公开(公告)号：KR1020120026541A
公开(公告)日：2012-03-19
申请号：KR1020117029775
申请日：2010-06-30
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 후지이요시노리
IPC分类号： B25J9/22 , G05B19/42 , H01L21/677
CPC分类号： G05B19/42 , G05B2219/36425 , G05B2219/45031 , H01L21/67742 , H01L21/68 , H01L21/68707 , B25J9/042 , B25J9/1005 , B25J9/1065
摘要： 반송물을 핸드로 지지하고, 2개소 이상의 전달 지점 사이를 반송하는 로봇의 티칭 방법으로서, 상기 전달 지점에 놓였을 때의 상기 반송물과 동일한 중심축이 되도록 위치 결정 지그를 상기 전달 지점에 배치하는 지그 배치 공정; 상기 각 전달 지점에서 상기 핸드의 접촉부가 상기 위치 결정 지그에 접촉하는 위치까지 상기 핸드를 움직이고, 콘트롤러에 상기 핸드의 위치를 티칭하는 티칭 공정;을 구비한다.

18. 发明公开

KR1020100029087A 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 无效
标题翻译：使用机械开关机构的多个可移动臂的基板运输装置
公开(公告)号：KR1020100029087A
公开(公告)日：2010-03-15
申请号：KR1020097025576
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 길크라이스트울리시즈 , 호제크마틴
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07 , B66C23/00
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27 , H01L21/67742 , B25J9/043 , B25J9/1005 , B25J9/106 , H01L21/68707
摘要： A substrate transport apparatus including a frame, a drive section connected to the frame and including at least one independently controllable motor, at least two substrate transport arms connected to the frame and comprising arm links arranged for supporting and transporting substrates, and a mechanical motion switch coupled to the at least one independently controllable motor and the at least two substrate transport arms for effecting the extension and retraction of one of the at least two substrate transport arms while the other one of the at least two substrate transport arms remains in a substantially retracted configuration.
摘要翻译：一种基板输送装置，包括框架，连接到框架并且包括至少一个可独立控制的马达的驱动部分，连接到框架的至少两个基板输送臂，并且包括布置成用于支撑和输送基板的臂连杆，以及机械运动开关耦合到所述至少一个可独立控制的电动机和所述至少两个衬底传送臂，用于实现所述至少两个衬底传送臂中的一个的延伸和缩回，同时所述至少两个衬底传送臂中的另一个保持基本上缩回组态。

19. 发明公开

KR1020100029086A 기판 이송 장치 有权
标题翻译：基座运输装置
公开(公告)号：KR1020100029086A
公开(公告)日：2010-03-15
申请号：KR1020097025511
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 캐브니로버트티. , 호프마이스터크리스토퍼
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07 , G03F7/20
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J9/106 , B25J9/107 , B25J9/042 , B25J9/1005 , B25J11/0095 , H01L21/68707
摘要： A substrate transport apparatus including a first shaftless rotary motor including a first stator and a first rotor, the first stator being linearly distributed and the first rotor being coupled to a first arm, a second shaftless rotary motor including a second stator and second rotor, the second stator being linearly distributed and the second rotor being coupled to a second arm, the second arm being connected to the first arm and a first substrate support being coupled to at least one of the first and second arms, wherein the first stator and second stator are configured so that the first and second arms and the first substrate support are inside the stators and a motor output at a connection between the first and second shaftless rotary motors and a respective one of the first and second arms is a resultant force disposed peripheral to the first and second arms.
摘要翻译：一种基板输送装置，其特征在于，包括：第一无转矩回转马达，其具有第一定子和第一转子，所述第一定子线性分布，所述第一转子与第一臂连结，第二无轴旋转马达，包括第二定子和第二转子，第二定子是线性分布的，第二转子耦合到第二臂，第二臂连接到第一臂，第一衬底支撑件联接到第一和第二臂中的至少一个，其中第一定子和第二定子被构造成使得第一和第二臂和第一基板支撑件在定子内部，并且在第一和第二无轴旋转马达之间的连接处的马达输出和第一和第二臂中的相应的一个是合力设置在第一和第二臂。

20. 发明公开

KR1020100016298A 독립적으로 움직임가능한 다중 관절형 아암들을 구비한 기판 이송 장치 有权
标题翻译：带有多个独立可移动铰链的基座运输装置
公开(公告)号：KR1020100016298A
公开(公告)日：2010-02-12
申请号：KR1020097023235
申请日：2008-04-07
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호섹마틴 , 길크라이스트율리시스
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07
CPC分类号： B25J9/042 , H01L21/67742 , Y10T74/20305 , Y10T74/20317 , Y10T74/20329 , B25J9/0021 , B25J9/043 , B25J9/1005 , B25J9/106 , B25J11/0095 , H01L21/68707
摘要： A substrate transport apparatus including a drive section having at least one drive shaft and at least two scara arms operably coupled to the at least one drive shaft, the at least one drive shaft being a common drive shaft for the at least two scara arms effecting extension and retraction of the at least two scara arms, wherein the at least two scara arms are coupled to each other so that, with the at least one drive shaft coupled to the at least two scara arms, rotation of the drive shaft effects extension and retraction of one of the at least two scara arms substantially independent of motion of another of the at least two scara arms.
摘要翻译：一种基板输送装置，包括具有至少一个驱动轴的驱动部分和至少两个可操作地联接到所述至少一个驱动轴的切割臂，所述至少一个驱动轴是用于所述至少两个扫帚臂的共同驱动轴，以及所述至少两个sc臂的收回，其中所述至少两个sc臂彼此联接，使得在所述至少一个驱动轴联接到所述至少两个sc臂的情况下，所述驱动轴的旋转实现延伸和缩回所述至少两个sc臂中的一个基本上独立于所述至少两个sc臂中另一个的运动。

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