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1. 发明授权

KR101905232B1 접합 장치 및 접합 장치를 사용한 접합 위치 조정 방법 有权
公开(公告)号：KR101905232B1
公开(公告)日：2018-10-05
申请号：KR1020147009304
申请日：2012-09-13
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 나카무라,미치카즈 , 스기야마,마사히코 , 후루야,하지메 , 아키야마,나오키 , 오모리,요스케
IPC分类号： H01L21/58 , H01L21/683 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67092 , Y10T156/1744
摘要： 제1 부재와제2 부재를접합한접합체에있어서의제1 부재와제2 부재의위치편차가없어, 고품질의접합체를얻을수 있는접합장치를제공한다. 웨이퍼(W1)를상면에적재하여보유지지하는하부척(11)과, 그상부에대향배치되고웨이퍼(W2)를보유지지하는상부척(12)과, 하부척(11)에보유지지된웨이퍼(W1)와, 상부척(12)에보유지지된웨이퍼(W2)의접합위치를조정하는위치조정기구(20)를포함하고, 위치조정기구(20)는원형판형상의상부척(12)의외주면을따라등간격으로배치된 4개의위치조정용캠 부재(21)에의해상부척(12)을수평방향으로이동시킴과더불어, 각도조정용캠 부재(23)에의해상부척(12)의외주면에설치된회전보조부재(22)를가압하여상부척(12)을수평면상에서회동시켜웨이퍼(W1)의위치에대한웨이퍼(W2)의위치를정렬한다.

2. 发明授权

KR101871700B1 정렬 공급 장치 및 정렬 방법 有权
公开(公告)号：KR101871700B1
公开(公告)日：2018-06-27
申请号：KR1020167023004
申请日：2015-02-17
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 하라다마사토시 , 쿠라베미키
IPC分类号： B65G47/14 , B65G47/26
CPC分类号： B65G47/1485 , B65G2811/0626 , H01L21/68
摘要： 부품의방향을일치시켜수용부재의캐비티에수용한다. 부품(2)이적재되는반송면(16s)보다상측에제 1 개구(22s)로부터제 2 개구(22t)까지연장되고, 부품(2)의서로대향하는적어도한쌍의측면(2b) 간길이보다크며, 또한부품(2)의끝면(2a) 간길이보다작은폭을갖는부품통로(22)를형성한다. 주면(12a)으로부터연속하여주면(12a)과평행하게연장되는복수의캐비티(13)를갖는수용부재(12)를캐비티(13)가반송면(16s)과평행하게연장되어캐비티(13)의연장방향일단이제 2 개구(22t)에인접하고, 캐비티(13)의연장방향타단과부품통로(22)가둔각을이루도록배치하고, 흡인부재(14)에의해캐비티(13)의연장방향타단측을진공흡인한다.

3. 发明授权

KR101866139B1 얼라인먼트 방법, 얼라인먼트 장치, 이를 포함하는 진공증착방법 및 진공증착장치 有权
公开(公告)号：KR101866139B1
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：KR1020170108234
申请日：2017-08-25
申请人： 캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人： 타니가즈노리 , 나가누마요시히토 , 우치다와타루
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/68 , H01L21/67 , H01L51/00
CPC分类号： H01L51/56 , H01L21/67259 , H01L21/67282 , H01L21/68 , H01L51/0001
摘要： 본발명은, 기체(基體) 상의얼라인먼트마크를광학수단을이용하여검출하는얼라인먼트마크검출방법으로서, 상기광학수단으로상기얼라인먼트마크를촬영하여화상데이터를얻는공정과, 얻어진상기화상데이터를모델화상과비교하여, 상기얼라인먼트마크의위치를검출하는공정을포함하고, 상기모델화상은, 미리상기얼라인먼트마크의촬영을통해얻어진제1 모델화상과, 상기얼라인먼트마크의설계데이터에기초하여작성된제2 모델화상을포함하고, 상기화상데이터를얻는공정에서얻어진상기화상데이터의포커스값이피크치를포함하는소정의범위내인경우에는, 상기위치검출공정에있어서, 얻어진상기화상데이터를상기제1 모델화상과비교하는실화상처리에의해상기얼라인먼트마크의위치를검출하고, 상기화상데이터를얻는공정에서얻어진상기화상데이터의포커스값이상기소정의범위를벗어나는경우에는, 상기위치검출공정에있어서, 얻어진상기화상데이터를상기제2 모델화상과비교하는인공화상처리에의해상기얼라인먼트마크의위치를검출하는것을특징으로한다.

4. 发明公开

KR20180059813A 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 디바이스 제조 방법 및 노광 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180059813A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：KR20187009711
申请日：2016-09-29
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , H01L21/68
摘要： 액정노광장치 (10) 는, 투영광학계 (16) 의하방에배치되고, 기판 (P) 을유지하는기판홀더 (24) 와, XY 평면을따라기판홀더를이동시키는제 1 구동부와, 기판홀더의위치정보를계측하는헤드 (68S) 와, 헤드를지지하고, XY 평면내에서이동가능한헤드스테이지 (64) 와, X 축, Y 축방향에관하여헤드스테이지를이동시키는제 2 구동부를구비하고, 상기제 2 구동부는, 제 1 구동부에의해기판홀더가 X 축또는 Y 축방향으로이동되고있을때, 헤드스테이지를 X 축또는 Y 축방향으로이동시킨다.

5. 发明公开

KR20180058854A 물체 처리 장치, 노광 장치 및 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180058854A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：KR20187014458
申请日：2010-08-17
IPC分类号： G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/68 , H01L21/683
CPC分类号： G03F7/70716 , B65G49/065 , B65G2249/04 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/68 , H01L21/6838 , Y10T29/49998
摘要： 기판 (P) 의하방에는, 기판 (P) 의하면에에어를분출하는복수의에어부상유닛 (50) 이배치되고, 기판 (P) 은, 대체로수평이되도록비접촉지지를받는다. 또, 기판 (P) 은, 정점스테이지 (40) 에의해피노광부분이하방으로부터비접촉유지되고, 그피노광부분의면위치가핀포인트방식으로조정된다. 따라서, 기판 (P) 에고정밀도로노광을실시할수가있고, 또한기판스테이지장치 (PST) 의구성을간단하게할 수있다.

6. 发明授权

KR101852416B1 돌출감지센서를 통해 수납포트에 수납된 기판의 돌출을 감지하는 매핑장치. 有权
标题翻译：并且通过突起检测传感器检测容纳在接收端口中的基板的突起。
公开(公告)号：KR101852416B1
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：KR1020170043492
申请日：2017-04-04
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 강재호 , 조수연 , 양대운 , 손혜민
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/673 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , H01L21/67346 , H01L21/67766 , H01L21/68
摘要： 본발명은기판이수납되고이송되는수납포트를밀폐하고개방하여기판을이송할수 있도록상하로구동되는포트도어에설치되고, 복수의기판의존재또는위치를매핑하는매핑장치에있어서, 상기매핑장치는, 상기포트도어의상측에결합되는프레임; 일측이상기프레임의일측에회동가능하게결합되고, 타측끝단의상면또는하면에기판의돌출을감지하는돌출감지센서가형성되는매핑바; 상기프레임의타측하면에회동가능하게결합되고, 상기매핑바를회전시키는실린더;를포함하는것을특징으로하는돌출감지센서를통해수납포트에수납된기판의돌출을감지하는매핑장치에관한것이다. 본발명에따르면, 수납포트에수납된기판을매핑시, 기판의돌출여부를사전에검출함으로써, 기판과매핑장치와의충돌을미연에방지하는돌출감지센서를통해수납포트에수납된기판의돌출을감지하는매핑장치를제공할수 있다.

7. 发明授权

KR101852414B1 송신기와 수신기가 일체형으로 구비된 매핑장치 有权
标题翻译：一种映射装置，其中整体地提供发射器和接收器;
公开(公告)号：KR101852414B1
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：KR1020170043491
申请日：2017-04-04
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 강재호 , 조수연 , 양대운 , 손혜민
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67259 , H01L21/67346 , H01L21/68
摘要： 본발명은기판이수납되고이송되는수납포트를밀폐하고개방하여기판을이송할수 있도록상하로구동되는포트도어에설치되고, 복수의기판의존재또는위치를매핑하는매핑장치에있어서, 상기매핑장치는, 상기포트도어의상측에결합되는프레임; 일측이상기프레임의일측에회동가능하게결합되고, 기판의유무를검출하는송신기와수신기를포함하는매핑센서가타측끝단에형성되는매핑바; 상기프레임의타측하면에회동가능하게결합되고, 상기매핑바를회전시키는실린더;를포함하는것을특징으로하는송신기와수신기가일체형으로구비된매핑장치에관한것이다. 본발명에따르면, 수납포트의내부에형성된하나이상의슬롯이모서리가일부절삭된사각형태로형성되고그 위에사각형태로형성된기판이슬롯의절단된부분에서일부돌출되도록안착되고슬롯으로부터돌출된부분을검출하기때문에기판의두께에상관없이기판을감지가능한송신기와수신기가일체형으로구비된매핑장치를제공할수 있다.

8. 发明公开

KR20180037457A 진공 라미네이터용 챔버장치 有权
标题翻译：用于真空层压机的室设备
公开(公告)号：KR20180037457A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：KR20160127625
申请日：2016-10-04
申请人： 주식회사 대성엔지니어링
发明人： 이왕기
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6836 , H01L21/67098 , H01L21/67248 , H01L21/68 , H01L22/12
摘要： 본발명은진공라미네이터용챔버장치에관한것으로, 베이스플레이트(10)와; 상기베이스플레이트(10)의일측에배치되며, 상면에링 프레임(12)과반도체웨이퍼(W)가탑재되는테이블(20)과; 상기테이블(20)의상부에배치되고, 베이스플레이트(10)의일측에배치된엘엠레일(24)을따라이동하는엘엠가이드(22)와연결된상부하우징(30)과; 상기테이블(20)의하부에배치된하부하우징(40)과; 상기상부및 하부하우징(30,40)의사이에형성된챔버(35)로이루어지고, 상기상부및 하부하우징(30,40)에는각기구동원인모터(50)와, 상기모터(50)의동작에따라상,하방향으로이동하는로드(64)를구비한실린더(60)와, 상기실린더(60)의상부에배치된로드셀(70)을갖는서보프레스를배치하여구성된다.
摘要翻译：本发明涉及一种腔和用于真空层压机，在底板10的装置; 底板10被设置uiil侧，表20安装比在上表面上的半导体晶片（W）的帧环（12）; 工作台20设置在服装部，底板10侧uiil埃尔埃姆雷24天移动上部壳体30连接到直线运动引导件（22），其根据所述装置; 设置在台20下方的下壳体40; 上部和下部壳体30和40由形成于其一个医生室35，并且每个具有一个驱动源马达50，上，下壳体30和40中，根据马达50的工作向上，向下，并且是具有杆64，在一个方向上移动，配置为将具有测力传感器70被设置在圆筒部60的服装的伺服压力机的气缸60。

9. 发明公开

KR20180035812A 테이블 장치, 위치결정장치, 플랫 패널 디스플레이 제조장치, 및 정밀기계 审中-公开
标题翻译：台式设备，定位设备，平板显示器制造设备和精密机器
公开(公告)号：KR20180035812A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：KR20187002634
申请日：2016-03-15
IPC分类号： H01L21/68 , B23Q1/40 , B23Q1/48 , B23Q1/62 , G03F7/20
CPC分类号： F16C29/00 , G03F7/20 , G12B5/00 , G12B9/10 , H01L21/68 , H01L21/683 , B23Q1/40 , B23Q1/48 , B23Q1/62 , G03F7/70775
摘要： 테이블장치는, 테이블에제 1 축방향의힘을가하는제 1 구동장치와, 테이블에제 2 축방향의힘을가하는제 2 구동장치를구비한다. 제 1 구동장치는, 테이블을제 1 축방향으로이동하기위한동력을발생하는제 1 액추에이터와, 제 1 액추에이터의작동에의해제 1 축과평행한제 1 구동축을따라이동하는제 1 가동부재를가진다. 제 1 가동부재는, 제 1 구동축을따라이동하는제 1 리니어베어링과, 제 1 리니어베어링에고정된제 1 로드부재의주위에배치되며, 제 1 로드부재에대하여상대회전가능한제 1 회전베어링과, 제 1 회전베어링에접속되며, 제 1 축방향의테이블의단부에고정된제 2 가이드부재에제 2 축방향으로가이드되는제 2 리니어베어링을포함한다.
摘要翻译：工作台装置包括用于向工作台施加第一轴向力的第一驱动装置和用于向工作台施加第二轴向力的第二驱动装置。第一驱动装置包括产生用于使工作台沿第一轴线方向移动的动力的第一致动器和沿平行于第一致动器的解锁轴线的第一驱动轴线移动的第一可动构件我有。第一可动部件包括：沿着第一驱动轴移动的第一直线轴承;第一旋转轴承，其配置在固定于第一直线轴承的第一杆部件的周围，且能够相对于第一杆部件相对旋转; 并且第二直线轴承连接到第一旋转轴承并沿第二轴向方向被引导到第二引导构件，该第二引导构件在第一轴向方向上固定到台的一端。

10. 发明公开

KR1020180031232A 소형정밀 소자 공급장치 有权
标题翻译：小精度元件的一个进料器
公开(公告)号：KR1020180031232A
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：KR1020160119406
申请日：2016-09-19
申请人： 정진
发明人： 정진
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G47/14 , B65G47/18 , B65G43/08
CPC分类号： H01L21/67721 , B65G43/08 , B65G47/1407 , B65G47/18 , B65G2201/02 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/68
摘要： 본발명은에어콤프레셔에관한것으로, 작업대의지지프레임상단에개폐부재를형성한호퍼부를구비하고, 이호퍼부하부에소자를수납통에수용하되, 이수납통에수용된소자를회전하면서정렬홈상에정렬시키는정렬판을형성한소자정렬부를형성하며, 소자정렬부와정렬판사이에판재형상으로외면에연장된연장안내부를형성하되, 이연장안내부전면에정렬홈에정렬되어있는소자를연장안내부의하단으로낙하되도록안내하는소자안내로를형성함으로써, 소자정렬부의정렬판상에정렬된소자가연장안내부의소자안내로를따라적층방식으로연속공급되어, 연장안내부하단으로소자를낙하시켜, 소자를연속공급할수 있다. 본발명에따르면, 소자들이수납통에수납된상태에서회전작동되는정렬판에의해정렬홈상에자동정렬되고, 이정렬홈에정렬되어있는소자들이정렬판에의해회전되다가연장안내부의소자안내로로연속공급되어, 연장안내부를통해소자를연속하여공급할수 있고, 소자의연속공급으로작업공정시간이단축되며, 특히, 정렬판의정렬홈상에소자가정렬된후, 이어서, 소자안내로로신속하게공급되어소자의공급이지연될우려가없고, 이에따라, 제품의신뢰성이향상되는장점이있다.
摘要翻译：本发明被布置homsang同时具有涉及空气压缩机，料斗形成开口，并在表的顶部闭合部件支撑框架和，的部分，但在料斗载荷部分中的容纳套筒接收到的元素，旋转容纳在容纳套筒的装置并形成对齐以形成对准板用于对准的元件构成，元件对准部与判断此对齐，但是延伸到所述外表面形成的板状部延伸的导向，延伸元件前引导内的延迟常在对准槽在底部处的部分对准通过用于引导，从而形成元件引导所述跌倒中，在对准板的零件的对准元件排列的元件是沿所述延伸的导向部元件引导在层压方法的连续供给，由该装置落下到内底yeonjangan，并且提供给装置连续你可以。根据本发明，元件与容纳套筒依次是通过布置在yijeongryeol对准板，其自动工作与对准homsang对准，元件旋转的状态下通过在壳体中延伸的引线到元件引导部对准板槽doedaga旋转该装置可以通过延伸导向装置连续供应，装置的连续操作缩短了工作时间，特别是在装置在对位板的对位槽上对齐之后，所以不用担心设备的供应会变得不稳定，从而提高产品的可靠性。

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