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1. 发明授权

KR101629734B1 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 有权
标题翻译：具有利用机械开关机构的多个可动臂的基板输送装置
公开(公告)号：KR101629734B1
公开(公告)日：2016-06-13
申请号：KR1020147029326
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 길크라이스트울리시즈 , 호제크마틴
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07 , B66C23/00
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27
摘要： 기판이송장치는, 프레임; 상기프레임에연결되고적어도하나의독립적으로제어가능한모터를포함하는구동부; 상기프레임에연결되고기판들을지지하고이송하기위해배치되는암 링크들을포함하는적어도 2 개의기판이송암들; 및상기적어도하나의독립적으로제어가능한모터및 상기적어도 2 개의기판이송암들에결합되고, 상기적어도 2 개의기판이송암들중 하나의펼침및 접힘을기동시키면서상기적어도 2 개의기판이송암들중 다른하나는실질적으로접힘구성으로남게하는기계적모션스위치를포함한다.

2. 发明公开

KR1020100056468A 챔버 벽들에 일체화된 모터들을 갖는 기판 처리 장치 无效
标题翻译：带电动机的底座加工设备到室内壁挂
公开(公告)号：KR1020100056468A
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：KR1020107003353
申请日：2008-07-17
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 쿠르피셰브알렉산더 , 호프메이스터크리스토퍼
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/04 , B25J9/06 , B65G49/07
CPC分类号： H02K41/03 , H01L21/67742 , H01L21/68707 , H02K2201/18 , B25J9/043 , B25J9/106 , B25J11/0095 , B25J15/0052
摘要： A substrate transport apparatus including a peripheral wall having an inner surface that defines a substrate transport chamber capable of holding an isolated atmosphere, at least one substantially ring shaped motor having at least one stator module located within the peripheral wall, between the inner surface and an adjacent outer surface of the peripheral wall and at least one rotor suspended substantially without contact within the transport chamber such that a surface of the peripheral wall encompassed by the ring shaped motor is configured for attachment thereto of a predetermined device and at least one substrate transport arm connected to the at least one rotor and having at least one end effector configured to hold at least one substrate.
摘要翻译：一种基板输送装置，包括具有内表面的外周壁，该内表面限定能够保持隔离气氛的基板输送室，至少一个基本上环形的马达，其具有位于周壁内的至少一个定子模块，位于内表面和所述周壁的相邻外表面和至少一个转子在所述输送室内基本上不接触地悬挂，使得由所述环形电机包围的所述周壁的表面构造成用于附接到预定装置和至少一个基板输送臂连接到所述至少一个转子并且具有构造成保持至少一个基板的至少一个末端执行器。

3. 发明公开

KR1020090053915A 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템 无效
标题翻译：减少能力承运人，运输，装卸港，缓冲系统
公开(公告)号：KR1020090053915A
公开(公告)日：2009-05-28
申请号：KR1020097005502
申请日：2007-08-13
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 버파노마이클엘. , 길크라이스트율리시스 , 포스나이트윌리암 , 호프메이스터크리스토퍼 , 밥스다니엘 , 메이로버트씨.
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67727 , H01L21/67724 , H01L21/6773
摘要： 실시예에 의거, 반도체 가공품 처리 시스템은 가공품 처리에 필요한 프로세싱 툴(한 개 이상), 프로세싱 툴(한 개 이상)로 입출력 이송을 위해 반도체 가공품을 담는 컨테이너 및 장형 제1 이송 섹션으로 구성되어 있으며 이동 방향을 정의한다. 제1 이송 섹션에는 컨테이너와 인터페이스하는 부분이 있어 컨테이너를 지지하고 이동 방향을 따라 프로세싱 툴(한 개 이상)로 컨테이너를 이송한다. 컨테이너가 제1 이송 섹션에 있을 때, 이동 방향으로 일정 속도의 연속 이송이 이루어진다. 제2 이송 섹션은 컨테이너를 프로세싱 툴(한 개 이상)에 입출력 이송을 위한 한 개 이상의 프로세싱 툴에 연결된다.
웨이퍼, 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템

4. 发明授权

KR102216638B1 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 有权
公开(公告)号：KR102216638B1
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR1020207001085
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 길크라이스트울리시즈 , 호제크마틴
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , B25J9/04 , B25J9/10 , B25J11/00
摘要： 기판이송장치는, 프레임; 상기프레임에연결되고적어도하나의독립적으로제어가능한모터를포함하는구동부; 상기프레임에연결되고기판들을지지하고이송하기위해배치되는암 링크들을포함하는적어도 2 개의기판이송암들; 및상기적어도하나의독립적으로제어가능한모터및 상기적어도 2 개의기판이송암들에결합되고, 상기적어도 2 개의기판이송암들중 하나의펼침및 접힘을기동시키면서상기적어도 2 개의기판이송암들중 다른하나는실질적으로접힘구성으로남게하는기계적모션스위치를포함한다.

6. 发明授权

KR101660894B1 다차원 위치 센서 有权
标题翻译：多维位置传感器
公开(公告)号：KR101660894B1
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020157025648
申请日：2008-06-27
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호섹마르틴 , 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 제틀러존에프 , 시소에브세르게이 , 마즈크작크르지스토프에이.
IPC分类号： G01B7/00 , G01B7/14 , G01D5/14 , G01R33/02
CPC分类号： G01B7/003
摘要： 컨트롤러, 상기컨트롤러에연결되고이동가능부및 이송경로를갖는워크피스이송장치, 및상기컨트롤러에연결되고상기이동가능부에부착된적어도하나의장 생성플래튼(field generating platen) 및상기이송경로를따라배치된적어도하나의센서그룹을포함하는다차원위치측정장치를포함하는장치가제공된다. 상기장 생성플래튼은위치를측정하고상기이동가능부를추진(propelling)하도록구성된다. 상기적어도하나의센서그룹의각각의센서는상기적어도하나의장 생성플래튼에의해생성되는피감지장(sensed field)에대응하여단일축을따라서오직하나의출력신호를제공하도록구성된다. 상기컨트롤러는상기적어도하나의센서그룹의상기센서들중 적어도하나의상기오직하나의출력신호를기초로상기이동가능부의다차원위치를계산하도록구성된다. 상기다차원위치는적어도 2차원(planar) 위치및 갭(gap) 측정을포함한다.
摘要翻译：根据连接到所述控制器，所述控制器可移动部分和所述馈电连接到工件输送装置，并与路径和棉花和至少一个椅子产生标记，所述控制器被安装在可动部（磁场产生压板）和传送路径提供了一种包括多维位置测量装置的设备，该多维位置测量装置包括至少一个传感器组。长生产压板配置为测量位置并推动可移动部分。该至少一个传感器组中的每个传感器对应于该章检测通过生成的血（感测到的场），所述至少一个椅子生成压板被配置为仅提供输出信号So的单一轴中的一个。控制器被配置为基于至少一个传感器组中的至少一个传感器的唯一一个输出信号来计算可移动部分的多维位置。多维位置至少包括二维（平面）位置和间隙测量。

7. 发明公开

KR1020110098774A 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR1020110098774A
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020117015391
申请日：2009-12-09
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호섹마틴 , 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피쉐브알렉산더
IPC分类号： H01L21/677 , B65G35/00 , H02K41/00 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67161 , H01L21/67167 , H01L21/67173 , H01L21/67184 , H01L21/67709 , H01L21/67727 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , B25J9/042 , B25J9/12 , B25J11/0095
摘要： 이송 장치용 구동 시스템은 이송 장치에 연결된 복수의 영구 자석들, 복수의 영구 자석들의 적어도 하나의 장에 노출된 복수의 정지 상태의 권선들, 이송 장치에 자기력을 제공하도록 정지 상태의 권선들에 동력을 공급하는 제어 시스템; 및 이송 장치의 상승, 피치 앤드 롤의 수동적 안정성을 제공하는, 이송 장치의 적어도 하나의 측부에 인접한 강자성 구성 요소들의 배열;을 포함한다.

8. 发明授权

KR101841753B1 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템 有权
公开(公告)号：KR101841753B1
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：KR1020177003883
申请日：2007-08-13
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 버파노마이클엘. , 길크라이스트율리시스 , 포스나이트윌리암 , 호프메이스터크리스토퍼 , 밥스다니엘 , 메이로버트씨.
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67733 , H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67201 , H01L21/67276 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/677 , H01L21/67706 , H01L21/67715 , H01L21/67724 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67736 , H01L21/67757 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要： 실시예에의거, 반도체가공품처리시스템은가공품처리에필요한프로세싱툴(한개 이상), 프로세싱툴(한개 이상)로입출력이송을위해반도체가공품을담는컨테이너및 장형제1 이송섹션으로구성되어있으며이동방향을정의한다. 제1 이송섹션에는컨테이너와인터페이스하는부분이있어컨테이너를지지하고이동방향을따라프로세싱툴(한개 이상)로컨테이너를이송한다. 컨테이너가제1 이송섹션에있을때, 이동방향으로일정속도의연속이송이이루어진다. 제2 이송섹션은컨테이너를프로세싱툴(한개 이상)에입출력이송을위한한 개이상의프로세싱툴에연결된다.

9. 发明公开

KR1020170124613A 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 审中-实审
标题翻译：一种具有多个使用机械开关机构的可动臂的基板传送装置
公开(公告)号：KR1020170124613A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：KR1020177031089
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 길크라이스트울리시즈 , 호제크마틴
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , B25J9/04 , B25J9/10 , B25J11/00
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27 , H01L21/67742 , B25J9/043 , B25J9/1005 , B25J9/106 , H01L21/68707
摘要： 기판이송장치는, 프레임; 상기프레임에연결되고적어도하나의독립적으로제어가능한모터를포함하는구동부; 상기프레임에연결되고기판들을지지하고이송하기위해배치되는암 링크들을포함하는적어도 2 개의기판이송암들; 및상기적어도하나의독립적으로제어가능한모터및 상기적어도 2 개의기판이송암들에결합되고, 상기적어도 2 개의기판이송암들중 하나의펼침및 접힘을기동시키면서상기적어도 2 개의기판이송암들중 다른하나는실질적으로접힘구성으로남게하는기계적모션스위치를포함한다.
摘要翻译：该基板传送装置包括：框架; 耦合到框架并包括至少一个可独立控制的电机的驱动器; 至少两个基板连接到框架并且包括布置成支撑和传送基板的臂连杆; 并且所述至少两个可独立控制的马达和所述至少两个基板联接到所述摇臂，其中所述至少两个基板激活所述摇摆斜面之一的展开和折叠，其中一个包括机械运动开关，其保持基本上折叠的配置。

10. 发明授权

KR101659931B1 다차원 위치 센서 有权
标题翻译：多尺寸位置传感器
公开(公告)号：KR101659931B1
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020107001780
申请日：2008-06-27
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호섹마르틴 , 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 제틀러존에프 , 시소에브세르게이 , 마즈크작크르지스토프에이.
IPC分类号： G01B7/14 , G01B7/30 , G01R33/02
CPC分类号： G01B7/003
摘要： 컨트롤러, 상기컨트롤러에연결되고이동가능부및 이송경로를갖는워크피스이송장치, 및상기컨트롤러에연결되고상기이동가능부에부착된적어도하나의장 생성플래튼(field generating platen) 및상기이송경로를따라배치된적어도하나의센서그룹을포함하는다차원위치측정장치를포함하는장치가제공된다. 상기장 생성플래튼은위치를측정하고상기이동가능부를추진(propelling)하도록구성된다. 상기적어도하나의센서그룹의각각의센서는상기적어도하나의장 생성플래튼에의해생성되는피감지장(sensed field)에대응하여단일축을따라서오직하나의출력신호를제공하도록구성된다. 상기컨트롤러는상기적어도하나의센서그룹의상기센서들중 적어도하나의상기오직하나의출력신호를기초로상기이동가능부의다차원위치를계산하도록구성된다. 상기다차원위치는적어도 2차원(planar) 위치및 갭(gap) 측정을포함한다.

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