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11. 发明授权

KR101824587B1 멀티 전자 칼럼과 시료표면의 수직정렬 감지장치 有权
公开(公告)号：KR101824587B1
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：KR1020110128630
申请日：2011-12-02
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 최상국
IPC分类号： H01J37/20
摘要： 본발명은멀티전자컬럼과시료간의수직정렬을감지할수 있는장치에관한것으로서, 보다상세하게는멀티전자컬럼으로부터주사된전자빔과시료의표면이수직정렬되었는지를확인할수 있도록하는감지장치에관한것이다.

12. 发明授权

KR101720697B1 대면적 전계방출원 장치에의 전자 방출원의 균일 방출 검사 방법 有权
标题翻译：电子发射源均匀发射到大面积场发射源器件的方法
公开(公告)号：KR101720697B1
公开(公告)日：2017-04-03
申请号：KR1020160085347
申请日：2016-07-06
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J9/42 , H01J1/30
摘要： 본발명은 CNT를포함하는나노구조물을전자방출원으로사용하며, 상기전자방출원이음극컨덕터에다수의어레이형태로배열되고, 그리고상기전자방출원에대응하는다수의게이트또는렌즈를포함하는대면적전계방출원장치의전자들이균일하게방출되는지여부를검사하는방법에관한것이다. 이와같은방법을수행하기위하여, 본발명은상기전자방출원이음극컨덕터에배열된상태에서상기전자방출원에전자빔을주사하는단계; 상기주사된전자빔의전자들이상기전자방출원에부딪혀서나온전자들을검출하거나또는상기주사된전자빔의전자들을상기전자방출원에서직접검출하는단계; 그리고상기검출된전자들의양의균일도를검사하거나또는상기검출된전자들로부터이미지를만들어밝기들의균일도를검사하는단계; 를포함한다.
摘要翻译：使用的纳米结构，其包括CNT作为电子发射极，以及电子发射的圆的阴极导体，本发明面积haneundae包括多个多栅极或对应于并设置成阵列图案的透镜，并且所述电子发射源场用于检查发射源装置的电子是否均匀发射的方法。为了实现上述方法，本发明提供了一种制造半导体器件的方法，包括：当电子发射源布置在阴极导体中时，将电子束扫描到电子发射源; 检测从电子发射源扫描的电子束的电子发射的电子或直接检测电子发射源中扫描的电子束的电子; 并检查检测到的电子量的均匀性或检测到的电子形成图像; 它包括。

13. 发明公开

KR1020120059442A 초소형 칼럼용 리드 프레임을 이용하여 제작되는 렌즈-디플렉터 조립체 审中-实审
标题翻译：通过使用用于微柱的引线框架产生的透镜偏转器组件
公开(公告)号：KR1020120059442A
公开(公告)日：2012-06-08
申请号：KR1020110127343
申请日：2011-11-30
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 최상국
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/10
摘要： PURPOSE: Lens-deflector assembly is provided to manufacture a microelectronic column by supporting lenses and a deflector with a lead frame and to reduce noise created by existing complex wiring. CONSTITUTION: A microelectronic column is composed so that electromagnetic lenses and a deflector are supported with a lead frame. A source lens(120) and a top deflector(350) are arranged at the upper side of the lead frame. A bottom deflector(360) and a focus lens are arranged at the lower side of the lead frame. The lead frame unites each lens layer(20), top deflector, and the bottom deflector with die bonding. An electron emitting source is packaged at the upper side of the lens layer.
摘要翻译：目的：提供透镜偏转器组件，通过支撑透镜和带引线框架的偏转器来制造微电子柱，并减少现有复杂布线产生的噪音。构成：组成微电子柱，使得电磁透镜和偏转器由引线框架支撑。源极透镜（120）和顶部偏转器（350）布置在引线框架的上侧。引导框架的下侧布置有底部偏转器（360）和聚焦透镜。引线框架通过芯片键合将每个透镜层（20），顶部偏转器和底部偏转器相结合。电子发射源被封装在透镜层的上侧。

14. 发明公开

KR1020110131301A 홀 검사 장치 및 상기 장치를 이용한 홀 검사 방법 无效
标题翻译：孔检查装置和孔检查方法
公开(公告)号：KR1020110131301A
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020117024842
申请日：2007-04-03
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01J37/28 , G01R31/307 , H01J37/244 , H01J2237/0635 , H01J2237/22 , H01J2237/244 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592 , H01J2237/281 , H01J2237/2817 , H01J2237/317 , H01L22/12 , H01L22/14
摘要： PURPOSE: A hole inspection apparatus and a hole inspecting method using the same are provided to shorten the test time the holes formed in an insulation layer using a plurality of electronic beam irradiation devices. CONSTITUTION: An electronics column(100) irradiates an electronic beam on three holes(21). An insulation layer(20) is formed while being divided into two sections. A conductive layer(30) is placed in the lower part of the insulation layer. Three holes, which is tested with one electronic column, are formed in the insulation layer. Electrons, which pass through the holes of each insulation layer, are detected.
摘要翻译：目的：提供一种孔检查装置和使用其的孔检查方法，以缩短使用多个电子束照射装置在绝缘层中形成的孔的测试时间。构成：电子柱（100）将电子束照射在三个孔（21）上。形成绝缘层（20），同时分成两部分。导电层（30）放置在绝缘层的下部。在绝缘层中形成有用一根电子柱测试的三个孔。检测通过每个绝缘层的孔的电子。

15. 发明授权

KR101010338B1 전자칼럼의 전자빔 에너지 변환 방법 有权
标题翻译：电子束中电子束能量的改变方法
公开(公告)号：KR101010338B1
公开(公告)日：2011-01-25
申请号：KR1020087003773
申请日：2006-08-18
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/147
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/063 , H01J2237/06375 , H01J2237/1205 , H01J2237/28
摘要： 본 발명은 전자빔을 발생하는 전자칼럼에 있어서 전자빔 에너지를 효율적으로 변환시키기 위한 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자칼럼의 전자빔에너지를 변환시키는 방법은, 전자빔이 시료에 도달할 때 에너지를 자유롭게 조절 가능하도록 시료에 도달하는 최종 전자빔이 필요한 에너지를 갖도록 전압을 필요한 전극에 추가로 인가하는 것을 특징한다.

16. 发明公开

KR1020100123732A 전자 칼럼용 디텍터 및 디텍팅 방법 有权
标题翻译：电子探针检测器及检测电子束电子的方法
公开(公告)号：KR1020100123732A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：KR1020107021025
申请日：2006-08-18
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2444
摘要： PURPOSE: A detector for an electron column and a detecting method thereof are provided to detect electrons generated by an electron beam by using the detector or sample current method. CONSTITUTION: Electrons emitted from an electron emitter(1) are made into an electron beam through a source lens(3). Electrons are deflected by a deflector(4). The electrons are focused on a sample by a focus lens(6). A detector(20) detects secondary electrons of the sample and the electrons by the collision of the electron beam and the sample.
摘要翻译：目的：提供一种用于电子束的检测器及其检测方法，以通过使用检测器或样品电流法检测由电子束产生的电子。构成：从电子发射器（1）发射的电子通过源透镜（3）制成电子束。电子被偏转器（4）偏转。电子通过聚焦透镜（6）聚焦在样品上。检测器（20）通过电子束和样品的碰撞来检测样品和电子的二次电子。

17. 发明授权

KR100973337B1 단순 구조의 초소형 전자칼럼 有权
标题翻译：具有简单结构的微柱
公开(公告)号：KR100973337B1
公开(公告)日：2010-07-30
申请号：KR1020050047526
申请日：2005-06-03
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： G02B3/00 , G02B21/00 , G02B7/00
CPC分类号： H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
摘要： 본 발명은 전자 방출원 및 렌즈를 포함하는 초소형 전자칼럼에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 방출원 및 렌즈들의 정렬 및 조립을 보다 용이하게 할 수 있도록 하는 구조의 초소형 전자칼럼에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자 방출원, 소스 렌즈 및 디플렉터를 포함하는 전자칼럼은, 상기 소스 렌즈가 두 개 이상의 렌즈층으로 구성되어 포커싱 역할을 겸하는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 소스 렌즈의 렌즈층 중 하나 이상이 디플렉터 형 렌즈 층으로 구성되어 디플렉터 역할을 함께 하는 것을 특징으로 한다.

18. 发明公开

KR1020080106974A 마이크로칼럼을 이용한 포터블 전자현미경 无效
标题翻译：便携式电子显微镜使用微柱
公开(公告)号：KR1020080106974A
公开(公告)日：2008-12-09
申请号：KR1020087025109
申请日：2005-09-01
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04 , H01J37/04 , H01J37/185 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/1825 , H01J2237/188 , H01J2237/204
摘要： A portable electron microscope using microcolumn is provided to increase the convenience of the usage by not limiting the time and space for use. A portable electron microscope comprises the microcolumn(1), the high vacuum pump(40), the pump(30) for the ultra-high vacuum, the first chamber(10), the controller(20), and the case(99). In the first chamber, the microcolumn and the measurement object sample is accepted and fixed. The first chamber is vacuumed by pumps. The case accommodates the pump, the chamber and the controller. The size of the portable electron microscope is 400mmÎ500mmÎ400mm or less, so that the portable electron microscope is transferable.
摘要翻译：提供了使用微柱的便携式电子显微镜，以通过不限制使用的时间和空间来增加使用的便利性。便携式电子显微镜包括微柱（1），高真空泵（40），用于超高真空的泵（30），第一室（10），控制器（20）和壳体（99）。在第一个室中，微柱和测量对象样品被接受和固定。第一个室由泵抽真空。该箱适用于泵，腔室和控制器。便携式电子显微镜的尺寸为400mmΦ500mmΦ400mm以下，便携式电子显微镜可转印。

19. 发明公开

KR1020080101098A 초소형 전자 칼럼용 자기장 디플렉터 审中-实审
标题翻译：用于电子柱的磁性偏转器
公开(公告)号：KR1020080101098A
公开(公告)日：2008-11-21
申请号：KR1020070047350
申请日：2007-05-15
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김영철
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/152 , H01J2237/1532 , H01J2237/26
摘要： A magnetic field deflector for the microelectronic column is provided to deflect the route of the electron beam to the fixed direction and deflect the electron beam to the magnetic field and/or the electric field. A magnetic field deflector for the microelectronic column comprises the core(12) consisting of the semiconductor or conductor; the deflector electrode(10) including the coil(11) that surrounds the core; at least one deflector electrode. At least two deflector electrodes are serially connected to each coil and are controlled identically. The deflector electrodes are arranged to be vertical to the electron beam passes.
摘要翻译：提供用于微电子柱的磁场偏转器以使电子束的路径偏转到固定方向，并将电子束偏转到磁场和/或电场。用于微电子柱的磁场偏转器包括由半导体或导体组成的芯（12）; 偏转器电极（10）包括围绕芯的线圈（11）; 至少一个偏转器电极。至少两个偏转器电极串联连接到每个线圈并被相同地控制。偏转器电极布置成垂直于电子束通过。

20. 发明公开

KR1020080032895A 자기 렌즈층을 포함한 전자 칼럼 有权
标题翻译：使用磁性镜片的电子柱
公开(公告)号：KR1020080032895A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020060098993
申请日：2006-10-11
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/14
CPC分类号： H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
摘要： An electron column is provided to facilitate a focusing control by decreasing a voltage, which is used for a focusing process. An uppermost electrode layer(L1) and a lowermost electrode layer(L3) are grounded. A variable voltage is applied on a middle electrode layer(L2) for performing a focusing process. A magnetic lens layer(M) is arranged on the uppermost electrode layer for a pre-focusing process. An electron beam, which is incident on the magnetic lens layer, is pre-focused. A path of the electron beam is focused on a center of the middle electrode layer, on which a focusing voltage is applied. The pre-focusing process is controlled by a voltage and a current, which are applied on the middle electrode layer.
摘要翻译：提供电子柱以通过降低用于聚焦过程的电压来促进聚焦控制。最上电极层（L1）和最下电极层（L3）接地。在中间电极层（L2）上施加可变电压以进行聚焦处理。磁性透镜层（M）布置在最上面的电极层上用于预聚焦处理。入射在磁性透镜层上的电子束被预聚焦。电子束的路径聚焦在施加聚焦电压的中间电极层的中心。预聚焦过程由施加在中间电极层上的电压和电流控制。

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