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1. 发明授权

KR102147514B1 피에조를 이용한 마이크로 스테이지 有权
公开(公告)号：KR102147514B1
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：KR1020130145774
申请日：2013-11-27
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김병진 , 김호섭
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/20 , H02N2/02

2. 发明授权

KR102134885B1 고효율의 연속식 미세조류 배양시스템 有权
公开(公告)号：KR102134885B1
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：KR1020180149997
申请日：2018-11-28
申请人： 선문대학교 산학협력단 , 씨이비티 주식회사
发明人： 김진우 , 김호섭
IPC分类号： C12M1/00

3. 发明授权

KR101384260B1 전자칼럼의 전자빔 포커싱 방법 有权
标题翻译：电子束聚焦电子束的方法
公开(公告)号：KR101384260B1
公开(公告)日：2014-04-11
申请号：KR1020050117335
申请日：2005-12-05
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김영철 , 안승준 , 김대욱
IPC分类号： H01J37/147
CPC分类号： H01J37/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174
摘要： 본 발명은 전자빔을 발생하는 전자칼럼에 있어서 포커싱을 보강하기 위한 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자칼럼에서 전자빔의 포커싱을 제어하는 방법은, 전자빔이 시료에 도달할 때 전자빔의 크기를 작게 하여 해상도를 높이고 리소그라피에서 패턴의 선폭 크기를 작게 하여 전자컬럼의 성능을 증가시킬 수 있다.

4. 发明公开

KR1020120059314A 하나의 송수신모듈만을 이용하는 테라헤르츠파 발생 및 검출 시스템 无效
标题翻译：具有一个Tx / Rx模块的太赫兹发射器/检测器系统
公开(公告)号：KR1020120059314A
公开(公告)日：2012-06-08
申请号：KR1020100120997
申请日：2010-11-30
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 최상국
IPC分类号： H01S1/00
CPC分类号： H01S1/02 , G01J3/108 , G02B27/149
摘要： PURPOSE: A system for generating and detecting terahertz waves is provided to reduce manufacturing costs by constituting a system with only one transmission module or one transmission and reception module. CONSTITUTION: A terahertz wave transmission and reception module(100) includes a photoconductive antenna, a silicon ball lens, and silicon focusing lens. A beam splitter(200) transmits some of terahertz waves. The beam splitter reflects the rest of the terahertz waves. Mirrors(301,302,303) reflect the terahertz waves by 90 degrees, respectively. A delay module(400) delays the transmitted terahertz waves. The delay module reversely passes the reflected terahertz wave of a pulse type through a time and space interval of the transmitted terahertz wave wavelength. An analysis module(500) analyzes a property of a target object in a non-destruction method by using the terahertz waves detected through the transmission/reception module.
摘要翻译：目的：提供一种用于生成和检测太赫兹波的系统，通过构成仅具有一个传输模块或一个发送和接收模块的系统来降低制造成本。构成：太赫兹波发射和接收模块（100）包括光电导天线，硅球透镜和硅聚焦透镜。分束器（200）传输一些太赫兹波。分束器反射其余的太赫兹波。反射镜（301,302,303）分别将太赫兹波反射90度。延迟模块（400）延迟所传输的太赫兹波。延迟模块通过发射的太赫兹波长的时间和空间间隔反向通过脉冲类型的反射太赫兹波。分析模块（500）通过使用通过发送/接收模块检测到的太赫兹波来分析目标对象在非破坏方法中的属性。

5. 发明授权

KR101118693B1 멀티 마이크로칼럼에서 전자빔을 제어하는 방법 및 이방법을 이용한 멀티 마이크로칼럼 有权
标题翻译：用于控制多微孔和多微孔中的电子束的方法
公开(公告)号：KR101118693B1
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020050060481
申请日：2005-07-05
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： H01J37/147
摘要： 본 발명은 전자 방출원, 렌즈부들 및, 디플렉터를 상응하게 각각 구비한 단위 마이크로칼럼을 n×m 행렬로 포함하는 멀티 마이크로칼럼에서 전자빔을 조절하는 방법에 있어서, 각각의 전자 방출원 또는 각각의 엑스트렉터에 상호 보완되도록 동일 또는 개별적으로 전압을 인가하는 단계; 각각의 디플렉터의 각각의 제어 분할 구역에 동일한 좌표상의 구역마다 동일한 조절 전압을 인가하거나 개별적 전압을 인가하여 전자빔을 디플렉팅 하는 단계; 및 렌즈부 중 상기 엑스트렉를 제외한 나머지 렌즈의 상응하는 각 층이 상기 단위 마이크로칼럼의 전자빔을 제어하도록 각 층을 일체 또는 개별적으로 조절하는 단계;를 포함하여 전자빔을 효율적으로 조절한다. 또한 이들 방법이 사용가능한 멀티 마이크로칼럼을 제공한다.

6. 发明授权

KR101035292B1 편향 에프이디 有权
标题翻译：偏转场发射显示
公开(公告)号：KR101035292B1
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：KR1020087028623
申请日：2007-05-22
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J1/30
CPC分类号： H01J31/127
摘要： 본 발명은 편향 FED(Deflection Field Emission Display) 및 FED를 편향시키는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 FED 기본 구조에 전자빔을 편향시킬 수 있는 빔 편향판을 가져서 각 전자빔을 소정의 방향으로 편향시킬 수 있는 편향FED 및 FED에서 빔을 편향시킬 수 있는 방법에 관한 것이다.

7. 发明公开

KR1020110014589A 전자 칼럼용 다중극 렌즈 有权
标题翻译：静电多镜头
公开(公告)号：KR1020110014589A
公开(公告)日：2011-02-11
申请号：KR1020107025361
申请日：2009-05-27
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 오태식
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/121 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/1536
摘要： PURPOSE: A multiple pole lens for an electronic column is provided to facilitate manufacture by facing a slit or aperture each other. CONSTITUTION: A quadruple pole lens(400) includes two electrode layers at a right angle to a Z-axis. Electrode layers(400a,400b) comprise a slit based on the center axis through which an electronic beam passes. An electrode layer is arranged on the electronic optical axis to alternatively position silts. Different voltages are applied to the electrode layer. The width of the slit(430,440) is wider than the size of the aperture.
摘要翻译：目的：提供用于电子柱的多极透镜，以便通过面对彼此的狭缝或孔而促进制造。构成：四极镜（400）包括与Z轴成直角的两个电极层。电极层（400a，400b）包括基于电子束通过的中心轴的狭缝。电子层被布置在电子光轴上以交替地定位淤泥。对电极层施加不同的电压。狭缝的宽度（430,440）比孔的尺寸宽。

8. 发明公开

KR1020080033416A 전자칼럼의 전자빔 에너지 변환 방법 有权
标题翻译：电子束中电子束能量的改变方法
公开(公告)号：KR1020080033416A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020087003773
申请日：2006-08-18
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/147
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/063 , H01J2237/06375 , H01J2237/1205 , H01J2237/28
摘要： A method for regulating energy of an electron beam in an electron column is provided to easily maintain a super-high vacuum condition in an electron emitter by regulating the electron beam energy without applying a high voltage on the electron emitter. Voltages are applied on respective lens layers of a focus lens. An electron beam energy is changed by an electrode layer(10) for regulating electron beam energy, such as electrode layers(3a,3b,3c,6a,6b,6c) of a source lens(3) or a focus lens(6). A required energy is calculated and a voltage is applied on the electrode layer based on the calculated energy. A detector is coaxially arranged on the electrode layer. A voltage for an extractor is applied on a source lens position. A separate voltage is applied on a test material.
摘要翻译：提供了一种用于调节电子束中的电子束能量的方法，以通过在电子发射器上施加高电压来调节电子束能量来容易地保持电子发射体中的超高真空状态。电压施加在聚焦透镜的相应透镜层上。电子束能通过用于调节电子束能量的电极层（10）改变，例如源透镜（3）或聚焦透镜（6）的电极层（3a，3b，3c，6a，6b，6c）。计算所需的能量，并且基于计算的能量在电极层上施加电压。检测器同轴地布置在电极层上。用于提取器的电压施加在源透镜位置。在测试材料上施加单独的电压。

9. 发明公开

KR1020070050457A 마이크로칼럼을 이용한 포터블 전자현미경 有权
标题翻译：便携式电子显微镜使用微柱
公开(公告)号：KR1020070050457A
公开(公告)日：2007-05-15
申请号：KR1020077004925
申请日：2005-09-01
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04 , H01J37/04 , H01J37/185 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/1825 , H01J2237/188 , H01J2237/204
摘要： 본 발명은 마이크로칼럼을 이용한 포터블 전자현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따른 포터블 전자현미경은, 마이크로칼럼; 저 진공용 메카니컬 펌프; 고 진공용 터보 펌브; 초 고 진공용 아이언 펌프(ion pump); 마이크로칼럼 및 측정 대상 시료가 수용 고정되며 상기 펌프들에 의해 진공이 만들어지는 제1 챔버; 콘트롤러; 및 상기 펌프들, 상기 챔버, 및 상기 콘트롤러를 수용하는 케이스;를 포함한다.

10. 发明授权

KR100474141B1 레이저를 이용한 부품의 구멍 정렬방법 및 이를 이용한 부품의 정렬 방법 有权
标题翻译：使用激光对准部件的方法和使用其对准部件的方法
公开(公告)号：KR100474141B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020010040196
申请日：2001-07-06
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 안승준 , 김대욱 , 장원권
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 본 발명은 레이저를 이용한 구멍(aperture)의 정렬방법에 관한 것으로서, 복수개 부품의 각 구멍간의 수직 정렬을 레이저 빔을 이용하여 회절 패턴을 형성시킴으로서 정렬하는 방법에 관한 것이다.

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