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1. 发明授权

KR101589306B1 입자 광학 구성요소 有权
标题翻译：颗粒光学部件
公开(公告)号：KR101589306B1
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：KR1020087015748
申请日：2006-11-28
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 , 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
发明人： 크니펠마이어라이너 , 슈베르트슈테판
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/28 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
摘要： 본발명의대물렌즈배열체는사실상회전대칭인제1, 제2 및제3 극편을포함한다. 제1, 제2 및제3 극편은대물면과동일한측에배치된다. 제1 극편의단부는제1 갭을형성하기위해제2 극편의단부로부터분리되고, 제3 극편의단부는제2 갭을형성하도록제2 극편의단부로부터분리된다. 제1 여기코일은제1 갭에서포커싱자기장을생성하고, 제2 여기코일은제2 갭에서상쇄자기장을생성한다. 제1 및제2 전원은각각제1 및제2 여기코일에전류를공급한다. 제2 극편에의해생성된자속은제2 극편에서생성된자속과동일한방향으로배향된다.

2. 发明公开

KR1020110038064A 이온 주입 시스템용 감속 후 자기 에너지 필터 有权
标题翻译：用于离子植入系统的后胶磁能过滤器
公开(公告)号：KR1020110038064A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020117001930
申请日：2009-06-23
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 리딩,제오프리 , 파레이,마르빈 , 반데르베르그,보 , 스믹,테어도르 , 사카세,타카오
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
摘要： 가공물(228) 내로 이온 주입 동안 이온 비임(210)을 자기적으로 필터링하기 위한 시스템(200) 및 방법이 제공되며, 이온이 이온 소스(212)로부터 방출되어 이온 비임을 형성하도록 이온 소스로부터 이온을 가속한다. 이온 비임은 질량 분석기(214)에 의해 질량 분석되고, 이온이 선택된다. 이어서 이온 비임이 질량 분석되면, 이온 비임은 감속기(242)를 경유하여 감속되고, 이온 비임이 감속의 하류부에서 추가로 자기적으로 필터링된다. 자기 필터링은 4극성 자기 에너지 필터(250)에 의해 제공되고, 자기장은 원하지 않는 이온 및 고속 중성 입자(264)를 선택적으로 필터링하도록 감속기로부터 나오는 이온 비임 내의 이온을 차단하기 위해 형성된다.
摘要翻译：提供了一种用于在离子注入工件期间对离子束进行磁过滤的系统和方法，其中离子从离子源发射并且将离子加速离开离子源以形成离子束。离子束通过质量分析器进行质量分析，其中选择离子。一旦离子束被质量分析，离子束然后通过减速器减速，并且离子束进一步对减速度下游的离子束进行磁过滤。磁滤波由四极磁能滤波器提供，其中形成磁场以截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不需要的离子和快速中性粒子。

3. 发明公开

KR1020160032715A 전자빔 확산 단면 수정 장치 및 방법 有权
标题翻译：电子束扩散和交叉截面形状方法和装置
公开(公告)号：KR1020160032715A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：KR1020157037295
申请日：2014-10-17
申请人： 화중과기대
发明人： 후앙,지앙 , 판,밍우 , 유,티아오친 , 장,리게 , 주오,첸 , 양,준 , 시옹,용치안 , 리우,카이펭 , 우,제랄드에프. , 카오,레이
IPC分类号： G21K5/04 , G21K1/093
CPC分类号： H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
摘要： 본발명은일의종전자빔확산단면수정장치및 그방법을제공하는바, 구체적으로: 2개조의영구자성철을포함한다. 제1조영구자성철로구성된자기장이전자빔을근사한타원형으로확산시키고, 제2조영구자성철로구성된자기장은전자빔변두리에대한수정을하여근사한직사각형을형성한다. 4개의종향포지션연결장치에대한조작을통해제1조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 타원형과근사한전자빔에대한 1차종향압축을하며, 이어서제2조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 직사각형과근사한전자빔에대해전자빔종향사이즈가 80mm로압축될때까지 2차종향압축을계속한다. 본발명은확산후의전자빔종향사이즈에대한합리한압축을통해최고의조사균일도와조사효율을보장하는외에종래의티타늄윈도우의설정범위내에서유지할수도있다.

4. 发明公开

KR1020140061480A 입자 광학 구성요소 无效
标题翻译：颗粒光学部件
公开(公告)号：KR1020140061480A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：KR1020147008558
申请日：2006-11-28
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 , 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
发明人： 크니펠마이어라이너 , 슈베르트슈테판
IPC分类号： H01J37/141
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
摘要： 본 발명의 대물 렌즈 배열체는 사실상 회전 대칭인 제1, 제2 및 제3 극편을 포함한다. 제1, 제2 및 제3 극편은 대물면과 동일한 측에 배치된다. 제1 극편의 단부는 제1 갭을 형성하기 위해 제2 극편의 단부로부터 분리되고, 제3 극편의 단부는 제2 갭을 형성하도록 제2 극편의 단부로부터 분리된다. 제1 여기 코일은 제1 갭에서 포커싱 자기장을 생성하고, 제2 여기 코일은 제2 갭에서 상쇄 자기장을 생성한다. 제1 및 제2 전원은 각각 제1 및 제2 여기 코일에 전류를 공급한다. 제2 극편에 의해 생성된 자속은 제2 극편에서 생성된 자속과 동일한 방향으로 배향된다.

5. 发明授权

KR101220837B1 다광축 자기 렌즈 有权
标题翻译：多轴磁镜
公开(公告)号：KR101220837B1
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：KR1020117014889
申请日：2010-01-22
申请人： 헤르메스 마이크로비전 인코포레이티드
发明人： 첸종웨이 , 렌웨이밍 , 카나이켄이치 , 리우쉐동
IPC分类号： G21K1/08 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/141 , H01J2237/1405
摘要： 본 발명은 하전 입자빔 시스템(charged particle beam system)에 사용되는 다광축 자기 렌즈(multi-axis magnetic lens)에 관한 것이다. 본 발명 장치는 공동 여기 코일이 형성한 자기장 중에서 비선대칭(non-axisymmetric)의 횡방향 자기장 성분을 없애고, 선대칭의 자기장 성분을 남겨 하전 입자빔 시스템 내의 이 장치를 통과하는 모든 입자빔을 포커싱한다.

6. 发明公开

KR20180029851A 복합 빔 장치 审中-公开
标题翻译：复合光束装置
公开(公告)号：KR20180029851A
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR20170103538
申请日：2017-08-16
申请人： HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP
发明人： ASAHATA TATSUYA
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/147 , H01J37/30 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/141 , H01J37/292 , H01J37/3056 , H01J2237/1405 , H05H3/00
摘要： [과제] 집속이온빔으로시료를단면가공한후, 다른빔으로단면을마무리가공할때, 전자빔 경통으로부터의전기장이나자기장의누설에의한영향이나, 차지업에의한영향을억제할수 있는복합빔 장치를제공한다. [해결수단] 시료(200)에전자빔(10A)을조사하기위한전자빔 경통(10)과, 시료에집속이온빔(20A)을조사하여단면을형성하기위한집속이온빔 경통(20)과, 집속이온빔 경통보다가속전압이낮게설정되고, 시료에중성입자빔(30A)을조사하여단면을마무리가공하기위한중성입자빔 경통(30)을갖고, 전자빔 경통, 집속이온빔 경통및 중성입자빔 경통은, 각각의각 조사빔이조사점 P에서교차하도록배치되어이루어지는복합빔 장치(100)이다.
摘要翻译：本发明公开了一种复合光束装置，其能够在用聚焦离子束对样品进行截面处理时，抑制电荷累积或电子束柱的电场或磁场泄漏，然后与另一个光束。该复合光束设备包括：将电子束照射到样品上的电子束柱; 将聚焦离子束照射到样品上以形成横截面的聚焦离子束柱; 加速电压被设定为低于聚焦离子束柱的中性粒子束柱，并且将中性粒子束照射到样品上以执行截面的精加工，其中电子束柱，聚焦离子束柱，和中性粒子束柱被布置成使得柱的束在照射点彼此交叉。

7. 发明公开

KR1020140119078A 하전 입자선 장치 有权
标题翻译：带电粒子束装置
公开(公告)号：KR1020140119078A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020147021504
申请日：2013-02-15
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 오미나미,유스께 , 오시마,다까시 , 이또,히로유끼 , 사또,미쯔구 , 이또,스께히로
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
摘要： 격막(101)을 간단하게 착탈할 수 있고, 시료(6)를 진공하와 고압하에 배치할 수 있는 하전 입자선 장치(111)를 제공한다. 하전 입자원(110)과 전자 광학계(1, 2, 7)를 보유 지지하는 경통(3)과, 경통(3)에 연결되는 제1 하우징(4)과, 제1 하우징(4)의 내측으로 우묵하게 들어가는 제2 하우징(100)과, 경통(3) 내의 공간과 제1 하우징(4) 내의 공간을 격리하고 하전 입자선이 투과하는 제1 격막(10)과, 제2 하우징(100)의 오목부(100a)의 내부와 외부의 공간을 격리하고 하전 입자선이 투과하는 제2 격막(101)과, 하전 입자원(110)을 수용하는 제3 하우징(22)에 연결되는 관(23)을 갖고, 제1 격막(10)은 관(23)에 설치되고, 관(23)과 제3 하우징(22)은 경통(3)에 대해 광축(30)의 방향으로 착탈 가능하다. 제1 하우징(4)과 제2 하우징(100)으로 둘러싸인 공간(105)은 감압되고, 오목부(100a) 중(inside)에 배치된 시료(6)에, 하전 입자선이 조사된다.
摘要翻译：设置带电粒子束装置111，该带电粒子束装置111能够容易地拆卸和分离隔膜101，并且能够将样品6置于真空和高压下。保持带电粒子源110和电子光学系统1,2,7的镜筒3，与镜筒3连接的第一壳体4，凹陷进入第二壳体100和镜筒3，第一隔膜10和第二壳体100，以分离与在第一壳体4中的空间中的空间，并通过在带电粒子束发射管23，其分离出凹部（100A）的内部和外部的空间，并连接到第三壳体（22），用于接收所述第二振动板101，带电粒子源110向带电粒子束通过发送具有第一隔膜（10）被设置在管23，管23和第三壳体22处于围绕该镜筒3的光轴（30）的方向上拆卸。由第一壳体4和第二壳体100包围的空间105被减压并且带电粒子束照射到布置在凹部100a内的样本6。

8. 发明公开

KR1020080032895A 자기 렌즈층을 포함한 전자 칼럼 有权
标题翻译：使用磁性镜片的电子柱
公开(公告)号：KR1020080032895A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020060098993
申请日：2006-10-11
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/14
CPC分类号： H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
摘要： An electron column is provided to facilitate a focusing control by decreasing a voltage, which is used for a focusing process. An uppermost electrode layer(L1) and a lowermost electrode layer(L3) are grounded. A variable voltage is applied on a middle electrode layer(L2) for performing a focusing process. A magnetic lens layer(M) is arranged on the uppermost electrode layer for a pre-focusing process. An electron beam, which is incident on the magnetic lens layer, is pre-focused. A path of the electron beam is focused on a center of the middle electrode layer, on which a focusing voltage is applied. The pre-focusing process is controlled by a voltage and a current, which are applied on the middle electrode layer.
摘要翻译：提供电子柱以通过降低用于聚焦过程的电压来促进聚焦控制。最上电极层（L1）和最下电极层（L3）接地。在中间电极层（L2）上施加可变电压以进行聚焦处理。磁性透镜层（M）布置在最上面的电极层上用于预聚焦处理。入射在磁性透镜层上的电子束被预聚焦。电子束的路径聚焦在施加聚焦电压的中间电极层的中心。预聚焦过程由施加在中间电极层上的电压和电流控制。

9. 发明授权

KR101861210B1 전자 렌즈 및 전자빔 장치 有权
公开(公告)号：KR101861210B1
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：KR1020137000919
申请日：2011-10-25
申请人： 가부시키가이샤 파람
发明人： 야스다히로시
IPC分类号： H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
摘要： 영구자석을사용하여미세한패턴을효과적으로묘화하기위한장치가제공된다. 상기장치는, Z축을중심축으로하는원통형강자성체로이루어지는외측원통(201), 상기외측원통의내측에위치하여, Z축방향을따라극성화된원통형영구자석(202), 상기원통형영구자석과간극을두고상기원통형영구자석의내측에위치하여, 상기원통형영구자석에의해발생되는 Z축방향의자계강도를조정하는보정용코일(204), 및상기원통형영구자석과상기보정용코일간의간극에위치하여, 냉매를통과시키고상기원통형영구자석에서의온도변화를제어하는냉매유로(203)를구비한다.

10. 发明授权

KR101607043B1 하전 입자선 장치 有权
标题翻译：带电粒子束装置
公开(公告)号：KR101607043B1
公开(公告)日：2016-03-28
申请号：KR1020147021504
申请日：2013-02-15
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 오미나미,유스께 , 오시마,다까시 , 이또,히로유끼 , 사또,미쯔구 , 이또,스께히로
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
摘要： 격막(101)을간단하게착탈할수 있고, 시료(6)를진공하와고압하에배치할수 있는하전입자선장치(111)를제공한다. 하전입자원(110)과전자광학계(1, 2, 7)를보유지지하는경통(3)과, 경통(3)에연결되는제1 하우징(4)과, 제1 하우징(4)의내측으로우묵하게들어가는제2 하우징(100)과, 경통(3) 내의공간과제1 하우징(4) 내의공간을격리하고하전입자선이투과하는제1 격막(10)과, 제2 하우징(100)의오목부(100a)의내부와외부의공간을격리하고하전입자선이투과하는제2 격막(101)과, 하전입자원(110)을수용하는제3 하우징(22)에연결되는관(23)을갖고, 제1 격막(10)은관(23)에설치되고, 관(23)과제3 하우징(22)은경통(3)에대해광축(30)의방향으로착탈가능하다. 제1 하우징(4)과제2 하우징(100)으로둘러싸인공간(105)은감압되고, 오목부(100a) 중(inside)에배치된시료(6)에, 하전입자선이조사된다.
摘要翻译：本发明提供一种能够容易地拆卸并安装隔膜（101）并且能够在高真空且高压下放置试样（6）的带电粒子束装置（111）。连接到镜筒3的第一外壳4和连接到第一外壳4的内部的第二外壳4.镜筒3包括用于保持带电粒子源110和电光源110的镜筒3。隔离透镜镜筒3的外壳4中的空间并穿过带电粒子束的第一隔膜10和穿过第二外壳100的凹部的第二隔膜10，隔离单元100a的内部空间和外部空间并传输带电粒子束的第二隔膜101以及连接到容纳带电粒子源110的第三壳体22的管23 第一光阑10安装在管23中，并且管3壳体22可相对于管3在光轴30的方向上拆卸。第一壳体4任务2将由壳体100包围的空间105减压并且将带电粒子照射到放置在凹部100a内的样品6。

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