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热词
    • 6. 发明公开
    • 복합 빔 장치
    • 复合光束装置
    • KR20180029851A
    • 2018-03-21
    • KR20170103538
    • 2017-08-16
    • HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP
    • ASAHATA TATSUYA
    • H01J37/28H01J37/147H01J37/30H01J37/317
    • H01J37/026H01J37/141H01J37/292H01J37/3056H01J2237/1405H05H3/00
    • [과제] 집속이온빔으로시료를단면가공한후, 다른빔으로단면을마무리가공할때, 전자빔 경통으로부터의전기장이나자기장의누설에의한영향이나, 차지업에의한영향을억제할수 있는복합빔 장치를제공한다. [해결수단] 시료(200)에전자빔(10A)을조사하기위한전자빔 경통(10)과, 시료에집속이온빔(20A)을조사하여단면을형성하기위한집속이온빔 경통(20)과, 집속이온빔 경통보다가속전압이낮게설정되고, 시료에중성입자빔(30A)을조사하여단면을마무리가공하기위한중성입자빔 경통(30)을갖고, 전자빔 경통, 집속이온빔 경통및 중성입자빔 경통은, 각각의각 조사빔이조사점 P에서교차하도록배치되어이루어지는복합빔 장치(100)이다.
    • 本发明公开了一种复合光束装置,其能够在用聚焦离子束对样品进行截面处理时,抑制电荷累积或电子束柱的电场或磁场泄漏,然后与另一个 光束。 该复合光束设备包括:将电子束照射到样品上的电子束柱; 将聚焦离子束照射到样品上以形成横截面的聚焦离子束柱; 加速电压被设定为低于聚焦离子束柱的中性粒子束柱,并且将中性粒子束照射到样品上以执行截面的精加工,其中电子束柱,聚焦离子束柱, 和中性粒子束柱被布置成使得柱的束在照射点彼此交叉。
    • 7. 发明公开
    • 하전 입자선 장치
    • 带电粒子束装置
    • KR1020140119078A
    • 2014-10-08
    • KR1020147021504
    • 2013-02-15
    • 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
    • 오미나미,유스께오시마,다까시이또,히로유끼사또,미쯔구이또,스께히로
    • H01J37/18H01J37/16
    • H01J37/28H01J37/09H01J37/16H01J37/18H01J2237/0451H01J2237/06341H01J2237/10H01J2237/1405H01J2237/164H01J2237/2608H01J2237/2801
    • 격막(101)을 간단하게 착탈할 수 있고, 시료(6)를 진공하와 고압하에 배치할 수 있는 하전 입자선 장치(111)를 제공한다. 하전 입자원(110)과 전자 광학계(1, 2, 7)를 보유 지지하는 경통(3)과, 경통(3)에 연결되는 제1 하우징(4)과, 제1 하우징(4)의 내측으로 우묵하게 들어가는 제2 하우징(100)과, 경통(3) 내의 공간과 제1 하우징(4) 내의 공간을 격리하고 하전 입자선이 투과하는 제1 격막(10)과, 제2 하우징(100)의 오목부(100a)의 내부와 외부의 공간을 격리하고 하전 입자선이 투과하는 제2 격막(101)과, 하전 입자원(110)을 수용하는 제3 하우징(22)에 연결되는 관(23)을 갖고, 제1 격막(10)은 관(23)에 설치되고, 관(23)과 제3 하우징(22)은 경통(3)에 대해 광축(30)의 방향으로 착탈 가능하다. 제1 하우징(4)과 제2 하우징(100)으로 둘러싸인 공간(105)은 감압되고, 오목부(100a) 중(inside)에 배치된 시료(6)에, 하전 입자선이 조사된다.
    • 设置带电粒子束装置111,该带电粒子束装置111能够容易地拆卸和分离隔膜101,并且能够将样品6置于真空和高压下。 保持带电粒子源110和电子光学系统1,2,7的镜筒3,与镜筒3连接的第一壳体4, 凹陷进入第二壳体100和镜筒3,第一隔膜10和第二壳体100,以分离与在第一壳体4中的空间中的空间,并通过在带电粒子束发射 管23,其分离出凹部(100A)的内部和外部的空间,并连接到第三壳体(22),用于接收所述第二振动板101,带电粒子源110向带电粒子束通过发送 具有第一隔膜(10)被设置在管23,管23和第三壳体22处于围绕该镜筒3的光轴(30)的方向上拆卸。 由第一壳体4和第二壳体100包围的空间105被减压并且带电粒子束照射到布置在凹部100a内的样本6。
    • 10. 发明授权
    • 하전 입자선 장치
    • 带电粒子束装置
    • KR101607043B1
    • 2016-03-28
    • KR1020147021504
    • 2013-02-15
    • 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
    • 오미나미,유스께오시마,다까시이또,히로유끼사또,미쯔구이또,스께히로
    • H01J37/18H01J37/16
    • H01J37/28H01J37/09H01J37/16H01J37/18H01J2237/0451H01J2237/06341H01J2237/10H01J2237/1405H01J2237/164H01J2237/2608H01J2237/2801
    • 격막(101)을간단하게착탈할수 있고, 시료(6)를진공하와고압하에배치할수 있는하전입자선장치(111)를제공한다. 하전입자원(110)과전자광학계(1, 2, 7)를보유지지하는경통(3)과, 경통(3)에연결되는제1 하우징(4)과, 제1 하우징(4)의내측으로우묵하게들어가는제2 하우징(100)과, 경통(3) 내의공간과제1 하우징(4) 내의공간을격리하고하전입자선이투과하는제1 격막(10)과, 제2 하우징(100)의오목부(100a)의내부와외부의공간을격리하고하전입자선이투과하는제2 격막(101)과, 하전입자원(110)을수용하는제3 하우징(22)에연결되는관(23)을갖고, 제1 격막(10)은관(23)에설치되고, 관(23)과제3 하우징(22)은경통(3)에대해광축(30)의방향으로착탈가능하다. 제1 하우징(4)과제2 하우징(100)으로둘러싸인공간(105)은감압되고, 오목부(100a) 중(inside)에배치된시료(6)에, 하전입자선이조사된다.
    • 本发明提供一种能够容易地拆卸并安装隔膜(101)并且能够在高真空且高压下放置试样(6)的带电粒子束装置(111)。 连接到镜筒3的第一外壳4和连接到第一外壳4的内部的第二外壳4.镜筒3包括用于保持带电粒子源110和电光源110的镜筒3。 隔离透镜镜筒3的外壳4中的空间并穿过带电粒子束的第一隔膜10和穿过第二外壳100的凹部的第二隔膜10, 隔离单元100a的内部空间和外部空间并传输带电粒子束的第二隔膜101以及连接到容纳带电粒子源110的第三壳体22的管23 第一光阑10安装在管23中,并且管3壳体22可相对于管3在光轴30的方向上拆卸。 第一壳体4任务2将由壳体100包围的空间105减压并且将带电粒子照射到放置在凹部100a内的样品6。