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1. 发明授权

KR101881192B1 나이프 에지를 이용하여 웨이퍼 레벨에서 스팟 크기를 측정하기 위한 장치 및 이런 장치를 제조하기 위한 방법 有权
公开(公告)号：KR101881192B1
公开(公告)日：2018-07-23
申请号：KR1020147022778
申请日：2012-12-05
申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
发明人： 메이예얀안드리스 , 스헤페르스파울에이메르트 , 사르아브다우
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/30 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/252 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01J37/3002 , H01J37/3005 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/2001 , H01J2237/24521 , H01J2237/2802 , H01J2237/30477 , H01J2237/31793
摘要： 본발명은다중대전입자비임리소그래피시스템에서웨이퍼레벨에서의스팟크기를측정하기위한장치에관한것이다. 본발명의장치는 YAG 물질과같은섬광물질의상부에위치되는나이프에지구조체를포함한다. 나이프에지구조체는 Si 웨이퍼의 (1 1 0) 평면에대해예각인상부면을갖는 Si 웨이퍼에배치된다. 일실시예에서, 상술된예각은 2도내지 4도의범위, 바람직하게는 2.9도내지 3.1도의범위이다. 또한, 본발명은다중대전입자비임리소그래피시스템에서웨이퍼레벨에서의스팟크기를측정하기위한장치를제조하는방법에관한것이다.

2. 发明公开

KR20180053227A 멀티 하전 입자 빔 묘화 장치 및 멀티 하전 입자 빔 묘화 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180053227A
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：KR20170144676
申请日：2017-11-01
申请人： NUFLARE TECHNOLOGY INC
发明人： IIZUKA OSAMU , SHIMIZU YUKITAKA
IPC分类号： G03F1/20 , G03F7/20
CPC分类号： H01J37/3177 , H01J37/045 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3023 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592 , H01J2237/31774 , H01J2237/31798
摘要： 본발명의일 태양에따른멀티하전입자빔 묘화장치는, 복수의홀이형성되고, 상기복수의홀을하전입자빔이통과함으로써멀티빔을형성하는애퍼쳐부재와, 상기멀티빔 중, 각각대응하는빔의온 오프를전환하는복수의블랭커가배치된블랭킹애퍼쳐어레이와, 묘화대상의기판이재치되고, XY 방향으로이동가능한스테이지와, 상기스테이지에설치되고, 상기멀티빔 중 1 개의빔을통과시키는검사애퍼쳐와, 상기멀티빔을편향하는편향기와, 상기멀티빔을상기검사애퍼쳐상에서 XY 방향으로스캔하고, 상기검사애퍼쳐를통과한상기멀티빔의각 빔의빔 전류를검출하는전류검출기와, 검출된빔 전류에기초하여빔 화상을작성하고, 상기빔 화상에기초하여, 상기블랭킹애퍼쳐어레이또는상기애퍼쳐부재에있어서의결함을검출하는제어계산기를구비하는것이다.

3. 发明公开

KR20180007330A 마이크로파 조정 방법 审中-公开
标题翻译：微波控制方法
公开(公告)号：KR20180007330A
公开(公告)日：2018-01-22
申请号：KR20170087537
申请日：2017-07-11
申请人： TOKYO ELECTRON LTD
发明人： YOSHIKAWA JUN , MATSUMOTO NAOKI , KANEKO KAZUSHI
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32266 , H01J37/244 , H01J37/32201 , H01J37/3222 , H01J37/32229 , H01J37/32238 , H01J37/32256 , H01J37/32311 , H01J37/32935
摘要： 마이크로파조정방법은마이크로파발생부와, 상기마이크로파발생부에의해발생된마이크로파를유도하는도파관과, 가동단락판의위치를조정하는튜너와, 상기도파관에있어서의상기튜너와상기안테나의사이에마련되고, 상기도파관의내부공간에삽입가능한스터브를구비한마이크로파플라즈마처리장치에서이용된다. 본방법은상기마이크로파발생부에의해출력된마이크로파에대해서상기튜너에의해조정된상기가동단락판의위치를검출하는검출스텝과, 검출된상기가동단락판의위치와기준위치의차분이허용범위내인지아닌지를판정하는판정스텝과, 상기가동단락판의위치와기준위치의차분이허용범위내가아니라고판정된경우에는, 상기도파관의내부공간에대한상기스터브의삽입길이를조정하는조정스텝을갖는다.
摘要翻译：微波等离子体处理装置使用微波等离子体处理装置，该微波等离子体处理装置具有微波产生部，用于引导由微波产生部产生的微波的波导管，用于控制可动短路板的位置的调谐器，调谐器和波导中的天线并且可插入波导的内部空间中。该方法包括检测由微波产生单元输出的微波调谐器控制的可移动短路板的位置，确定基准位置与可移动短路板的检测位置之间的差是否在并且当确定可移动短路板的位置与参考位置之间的差不在允许范围内时，控制短截线插入波导的内部空间的插入长度。

4. 发明公开

KR1020170141653A 전자 빔 노광 시스템을 위한 미세 정렬 시스템 审中-实审
标题翻译：电子束曝光系统的微调系统
公开(公告)号：KR1020170141653A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020177026266
申请日：2015-09-18
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 보로도브스키,얀에이.
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/033 , H01L21/311 , H01J37/304 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3045 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/24475 , H01J2237/24578 , H01J2237/2817 , H01L21/0277 , H01L21/0337 , H01L21/31144 , H01L23/544 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426 , H01L2223/54453 , H01L2223/54473 , G03F7/2059
摘要： 상보적 e 빔리소그래피(CEBL)에적합한리소그래피장치들및 이러한리소그래피를수반하는방법론들이설명되어있다.예에서, e 빔툴의미세정렬방법은웨이퍼를 Y 방향을따라이동시키면서웨이퍼의 X 방향정렬피처위로 e 빔칼럼의복수의애퍼처의전자이미지를투영하는단계를포함한다.이방법은그 투영동안에시간분해된후방산란된전자(BSE) 검출응답파형을검출하는단계를또한포함한다.이방법은 BSE 검출응답파형의도함수를계산함으로써 X 방향정렬피처의모든피처의모든에지의 X 위치를결정하는단계를또한포함한다.이방법은 X 방향정렬피처의모든피처의모든에지의 X 위치를결정한후에, 웨이퍼에대한 e 빔칼럼의정렬을조정하는단계를또한포함한다.
摘要翻译：在该示例中，使用用于电子束工具的微对准的方法来沿Y方向移动晶片并且沿着晶片的X方向对准特征移动晶片该方法包括投影电子束列的多个孔径的电子图像，该方法还包括在其投影期间检测时间分辨背散射电子（BSE）检测响应波形，通过计算检测响应波形的导数来确定X方向对准特征的所有特征的所有边缘的X位置，该方法确定X方向对准特征的所有特征的所有边缘的X位置，并调整电子束柱相对于晶圆的对准。

5. 发明公开

KR1020170109055A 펠리클을 통한 포토마스크의 촬상을 위한 방법 및 시스템 审中-实审
标题翻译：用于通过薄膜成像光掩模的方法和系统
公开(公告)号：KR1020170109055A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020177024686
申请日：2016-02-03
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 슐츠윌리엄쥐. , 델가도길다르도 , 로즈개리
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G03F1/62 , G03F1/86
CPC分类号： H01J37/28 , G03F1/62 , G03F1/86 , H01J37/244 , H01J2237/2002 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2817
摘要： 보호펠리클을통해샘플을촬상하기위한시스템이개시된다. 시스템은전자빔을생성하도록구성된전자빔소스및 샘플과펠리클을고정하도록구성된샘플스테이지를포함하고, 펠리클은샘플위에배치된다. 시스템은펠리클을통해그리고샘플의부분상에전자빔의적어도일부를지향시키기위한전자광학요소의세트를포함하는전자광학칼럼을또한포함한다. 게다가, 시스템은펠리클위에위치되고샘플의표면으로부터나오는전자를검출하도록구성된검출기조립체를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于通过保护膜成像样本的系统。该系统包括被配置为产生电子束的电子束源和被配置为保持样品和薄膜的样品台，其中薄膜设置在样品上。该系统还包括电光柱，该电光柱包括一组电光元件，用于引导电子束的至少一部分通过薄膜并且到达样品的一部分上。另外，该系统包括位于薄膜上方并被配置为检测来自样品表面的电子的检测器组件。

6. 发明公开

KR1020170108805A 집속 이온 빔 장치 审中-实审
标题翻译：聚焦离子束装置
公开(公告)号：KR1020170108805A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020170014440
申请日：2017-02-01
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스
发明人： 오오니시츠요시 , 이와호리도시유키
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/256
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/3056 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20235 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： [과제] 집속이온빔 장치와시료관찰장치사이에서, 관찰대상의미소시료편을간이한구성으로용이하게이동시키는것을가능하게하는집속이온빔 장치를제공한다. [해결수단] 시료를올려놓는시료대와, 상기시료에집속이온빔을조사하여, 미소시료편을작성하는집속이온빔 경통과, 상기시료대, 및상기집속이온빔 경통을수용하는시료실과, 상기시료실에대해삽탈가능하게형성되고, 선단측에서상기미소시료편을유지가능한사이드엔트리형의캐리어와, 상기시료대및 상기캐리어사이에서상기미소시료편을이동시키는시료편이동수단을구비하고, 상기시료대는, 적어도수평면을따른 x축및 이것에직각인 y축과, 연직방향을따른 z축을각각따라이동가능하게형성되며, 상기시료대의일단에는, 상기캐리어에착탈가능하게걸어맞춰져, 상기시료대의이동에수반하여상기캐리어도이동시키는캐리어걸어맞춤부를형성했다.
摘要翻译：本发明提供一种聚焦离子束装置，其能够以简单的结构容易地移动在聚焦离子束装置和样品观察装置之间观察的微小样品片。 [解决问题的手段]样品室和所述样品通过聚焦离子束照射到样品中，接收到该聚焦离子束柱和样品台，以及用于写入分钟试样片的聚焦离子束柱的样品台，样品室的载置和可能的用于形成saptal，在前端侧和样品片移动装置，用于移动载体和样品台，和载流子尽可能之间的微小样品片，侧条目类型为分钟样品片，样品现在的情况，沿水平x轴和y轴正交于此至少，并且形成为能够沿着每个沿着垂直方向的Z轴的移动，在试样一端可拆卸地接合到载体上，将样品移动形成用于移动载体的载体接合部分。

7. 发明授权

KR101778515B1 포토레지스트 가스 방출 동안 주입 균일성을 향상시키는 방법 有权
公开(公告)号：KR101778515B1
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：KR1020127026001
申请日：2011-03-04
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 사토,수
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J37/317 , H01J37/302 , G21K1/08
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/1472 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24507 , H01J2237/30455 , H01J2237/30483 , H01J2237/31703
摘要： 빔라인을따라압력증가를경험하는이온빔의주입균일성을개선하기위한방법및 장치가제공된다. 상기방법은가공편을가로질러실질적으로일정한속도로이온빔을이동시키는메인스캔파형을발생시키는단계를포함한다. 빔스캐닝파형을형성하기위해, 고정된높이및 파형을갖는보상파형(예를들어, 이차파형)이또한발생되어, 상기메인스캔파형과혼합(예를들어, 가변믹서를통해)된다. 상기혼합비는지속적으로스캔파형을수정하는것보다매우빠르고쉽게수행될수 있는순간적인진공압력신호에의해조정될수 있다. 상기혼합은이온빔이가공편을가로질러이동할때 이온빔의속도를변경하는일정치않은기울기를포함하는빔 스캐닝파형을제공한다. 따라서, 일정치않은기울기를가진최종빔 스캐닝파형은선량에있어서의압력불균일을패스트스캔방향을따라처리할수 있다.

8. 发明授权

KR101754279B1 시료관찰방법과 장치 및 상기 방법과 장치를 이용한 검사방법과 장치 有权
标题翻译：样本观察方法和装置，检验方法和使用该方法和装置的装置
公开(公告)号：KR101754279B1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020167005145
申请日：2009-04-10
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 하타케야마마사히로 , 무라카미다케시 , 나이토요시히코 , 데라오겐지 , 기무라노리오 , 와타나베겐지
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , G01N23/225 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12
摘要： 종래에는주목받지못한에너지영역에서의전자빔을이용하여시료를관찰하는능력을향상시킬수 있는기술이제공된다. 상기시료관찰방법은, 상기시료에전자빔을조사하는단계; 상기전자빔의조사에의해생성된그리고상기시료에대한정보를취득한관찰대상전자를검출하는단계; 및상기검출된관찰대상전자로부터상기시료의화상을생성하는단계를포함하여이루어진다. 상기전자빔의조사는, 2차방출전자가검출되는 2차방출전자영역과미러전자가검출되는미러전자영역사이의천이영역에서설정된랜딩에너지를갖는상기전자빔을상기시료에조사하여, 상기관찰대상전자로서상기 2차방출전자와상기미러전자를혼재시키는단계를포함하여이루어진다. 상기관찰대상전자의검출은, 상기 2차방출전자및 상기미러전자가혼재한상태로검출을행하는단계를포함하여이루어진다. 따라서, 100 nm 이하의패턴및 미세한이물에대한관찰과검사가신속하게실시가능하다.
摘要翻译：提供了一种能够提高在传统上已经注意到的能量场中使用电子束观察样品的能力的技术。样品观察方法包括：用电子束照射样品; 检测由电子束的照射产生并且从中获取关于样品的信息的要观察的电子; 并从检测到的待观察电子产生样品图像。电子束的照射照射电子束的着陆能量在二次电子发射区域和所述镜面电子区域镜面电子之间的过渡区域中设置在已检测到所述样品中检测发射的二次电子，所述观察目标电子邮件并混合二次发射电子和镜面电子。其中，待观察电子的检测包括检测混合状态下的二次发射电子和镜像电子的步骤。因此，可以快速观察和检查100纳米或更小的图案和细水。

9. 发明公开

KR1020170009757A 가스 히터 채널의 고장을 결정하기 위한 방법들 및 시스템들 审中-实审
标题翻译：用于确定气体加热器通道中的故障的方法和系统
公开(公告)号：KR1020170009757A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：KR1020160087987
申请日：2016-07-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 루돌프더크
IPC分类号： G01N25/36 , G01N25/32 , G01N33/00
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32522 , H01J37/32926 , H01J37/3299 , H01J2237/24564
摘要： 가스히터채널의고장을결정하기위한시스템들및 방법들이기술된다. 방법들중 하나는가스히터채널의복수의히터엘리먼트들과연관된측정된파라미터들을수신하는단계를포함한다. 가스히터채널은가스공급부로부터플라즈마챔버로하나이상의가스들을이송한다. 방법은측정된파라미터들로부터복수의히터엘리먼트들의측정된병렬레지스턴스를계산하는단계, 측정된병렬레지스턴스를가스히터채널의히터엘리먼트들의이상적인병렬레지스턴스와비교하는단계, 및비교에기초하여가스히터채널의일부가비동작성 (inoperational) 이라는것을결정하는단계를더 포함한다. 방법은히터엘리먼트들의복수의아이덴티티들과측정된병렬레지스턴스간의대응으로부터히터엘리먼트들중 하나의아이덴티티를선택하는단계를포함한다.
摘要翻译：描述了用于确定气体加热器通道中的故障的系统和方法。其中一种方法包括接收与气体加热器通道的多个加热器元件相关联的测量参数。气体加热器通道将一种或多种气体从气体供给传送到等离子体室。该方法还包括根据测量的参数计算多个加热器元件的测量的并联电阻，将所测量的并联电阻与气体加热器通道的加热器元件的理想平行电阻进行比较，并且基于比较来确定一部分燃气加热器通道不工作。该方法包括从加热器元件的多个身份与所测量的并联电阻之间的对应关系中选择一个加热元件的标识。

10. 发明公开

KR1020160132048A 하전 입자선 장치 및 검사 장치 审中-实审
标题翻译：充电颗粒光束装置和检测装置
公开(公告)号：KR1020160132048A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020167027412
申请日：2015-03-31
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 야마구치아츠코 , 이노우에오사무 , 가와다히로키
IPC分类号： G03F1/20 , H01L21/66 , G03F7/20
CPC分类号： H01L22/12 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/221 , H01J2237/24592 , H01J2237/2809 , H01J2237/2814 , H01J2237/2817 , H01L21/0332 , H01L21/0335 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L22/00
摘要： SADP를복수회 이용해서형성된미세라인 & 스페이스패턴이어도이니셜코어(initial core)의위치를높은정밀도로특정가능한하전입자선장치를제공하기위하여, 하전입자선장치에있어서, 복수의라인형상패턴을갖는시료(807)에의하전입자선의조사에의해시료로부터방출된이차하전입자를검출하는검출기(810)와, 이차하전입자의신호에의거한시료의표면의화상데이터를표시하는표시부(817)와, 화상데이터로부터복수의라인형상패턴에대한 LER값을산출하는산출부(812)와, 그값끼리를비교해서이니셜코어의위치를판정하는판정부(816)를갖는다.
摘要翻译：提供一种带电粒子束装置，即使在多次由SADP形成细线和空间图案时，也能够高精度地指定初始芯的位置。带电粒子束装置包括：检测器（810），当检测器（810）将带电粒子束发射到具有多个线状图案的样品时，检测从样品（807）排出的二次带电粒子;显示单元（817），其显示基于所述二次带电粒子的信号的所述样本的表面的图像数据，计算单元（812），其根据所述图像数据计算相对于所述多个线状图案的LER值，以及判定单元（816），其比较该值以确定初始核心的位置。

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