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1. 发明授权

KR102479668B1 다중 재료 미러 시스템 有权
公开(公告)号：KR102479668B1
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：KR1020227004186
申请日：2018-09-28
IPC分类号： G02B7/18 , G02B7/00 , G02B7/183 , G02B23/16 , G02B17/06
摘要： 제 1 미러와열팽창계수가다른제 2 미러를포함하는미러시스템. 음의 CTE 스트럿은본체부, 본체부주위에서서로대향하여배치되고스트럿길이를정의하는제 1 결합부및 제 2 결합부를포함할수 있다. 제 1 결합부및 제 2 결합부는각각외부구조체와인터페이스할수 있다. 음의 CTE 스트럿은본체부에결합된제 1 단부및 중간연장부재에의해제 1 결합부에결합된제 2 단부를갖는오프셋연장부재를포함할수 있다. 제 1 단부및 제 2 단부는스트럿길이에평행한오프셋길이를정의할수 있다. 음의 CTE 스트럿이온도가상승하면, 오프셋길이는스트럿길이를감소시키기에충분한오프셋연장부재의열 팽창으로인해증가하도록구성될수 있다.

2. 发明公开

KR1020220049108A 광축정렬을 위한 광학 부품용 마운트 구조체 有权
公开(公告)号：KR1020220049108A
公开(公告)日：2022-04-21
申请号：KR1020200132310
申请日：2020-10-14
IPC分类号： G02B7/00 , H01S3/10
摘要： 본발명은광축정렬을위한광학부품용마운트구조체에관한것으로레이저빔이통과될수 있는제1중공부를구비한베이스마운팅부재, 상기베이스마운팅부재의일면에일단부측이장착되고상기제1중공부를통과한레이저빔이통과될수 있는제2중공부가구비되고일면에광학부품이장착되는마운팅지지용판스프링부를포함하며, 상기마운팅지지용판스프링부는 X축방향또는 Y축방향중 어느한측으로탄성변형될수 있는판스프링구조를가짐으로써일체형판스프링구조를가진마운트구조체를제공하여외부충격이나진동의영향에의하여인가되는영향을상쇄시키는구조로안전성확보가가능한시스템설계가가능하여특히중대형광학부품을안정적으로정렬할수 있다.

3. 发明公开

KR1020220015972A 광학 장치, 광학 장치의 제조 방법 및 광학 장치의 작동 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220015972A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：KR1020210099560
申请日：2021-07-29
IPC分类号： G02B7/00 , G02B27/48 , G02B5/02 , G02B26/02
摘要： 플랫폼(30)에의해캐리어(20)에장착된광학요소(10)를포함하는광학장치(1)이며, - 상기플랫폼(30)은베이스(32) 및탄성구조(31)를포함하고, - 상기베이스(32)는광학요소(10)에연결되고, - 상기탄성구조(31)는베이스(32)와캐리어(20)를연결하고, - 상기플랫폼(30)은 x-방향(101) 및 y-방향(102)으로형성된 x-y 평면을따라연장되고, - 액추에이터(40)는 x-y 평면을따른방향으로베이스(32)에힘을가하도록배치되고, - 상기탄성구조(32)는 x-방향(101) 및 y-방향(102)으로탄성이있고, - 베이스(32)와탄성구조(31)는일체형으로구성된다.

4. 发明授权

KR102252478B1 카메라 모듈 有权
公开(公告)号：KR102252478B1
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：KR1020140100978
申请日：2014-08-06
申请人： 엘지이노텍 주식회사
发明人： 김정환
IPC分类号： G03B17/02 , G03B13/36 , G03B3/10 , G02B7/00 , G02B7/08 , H04N5/225
摘要： 카메라모듈의일 실시예는, 적어도하나의렌즈가설치되고, 무나사산타입으로형성되는렌즈배럴; 내부에구비되는상기렌즈배럴을제1방향으로이동시키는렌즈구동장치; 상기렌즈구동장치의하부에구비되는제2회로기판; 상기렌즈구동장치와상기제2회로기판을고정또는결합하는제1접착부; 및상기렌즈구동장치와상기렌즈배럴을고정또는결합하는제2접착부;를포함할수 있다.

5. 发明授权

KR102250672B1 광학 이미징 장치의 모델 기반 제어 有权
公开(公告)号：KR102250672B1
公开(公告)日：2021-05-12
申请号：KR1020157026275
申请日：2014-02-28
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 하우프마르쿠스 , 로텐회퍼게랄트
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/00 , G02B7/02
摘要： 본발명은특히마이크로리소그래피를위해설계된이미징장치의제어유닛(108)을위한입력변수의실제입력값을결정하는방법에관한것으로, 상기입력값은광학이미징장치(101)의제1 장소에할당되고, 검출단계(112.9)에서, 이미징장치의적어도하나의검출장치(110.6)의검출변수의적어도하나의실제검출값이제2 장소에서검출되고, 결정단계(112.3)에서, 입력변수의실제입력값이적어도하나의실제검출값과사전규정될수 있는제1 관계(111.3)를사용하여결정된다. 결정단계(112.3)의제1 연산단계(112.10)에서, 검출장치(110.6)의제2 장소에서의검출변수의실제연산값이제2 관계(111.4)를사용하여연산적으로확인된다. 결정단계(112.3)의비교단계(112.11)에서, 검출변수의실제연산값은그후검출변수의실제검출값과비교된다. 결정단계(112.3)의교정단계(112.13)에서, 제1 관계(111.3)의교정이그후제1 관계(111.3)와제2 관계(111.4) 사이의관계를사용하여비교단계(112.11)의결과의함수로서수행된다. 마지막으로, 결정단계(112.3)의, 교정단계(112.13)에후속하는제2 연산단계(112.5)에서, 입력변수의실제입력값이제1 관계(111.3)를사용하여연산된다.

6. 发明公开

KR20210035181A 마이크로리소그래피용 광학 시스템에서 광학 요소의 가열 상태를 결정하기 위한 방법 및 디바이스 审中-公开
公开(公告)号：KR20210035181A
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：KR20217001871
申请日：2019-05-16
IPC分类号： G03F7/20 , G01J5/00 , G01J5/08 , G02B7/00 , G02B7/18
摘要： 본발명은마이크로리소그래피용광학시스템에서광학요소의가열상태를결정하기위한방법및 디바이스에관한것으로서, 광학요소(301, 401, 402, 403, 501, 502, 503, 504, 601)로부터의전자기복사선의수신에기초하는적어도하나의비접촉식센서(330, 430, 531, 532, 533, 534, 631, 632)가사용되고, 센서(330, 430, 531, 532, 533, 534, 631, 632)에의해검출된복사선범위는광학요소내의온도분포를결정하기위해변화된다.

7. 发明公开

KR20210034263A 피검체 표면 검사 광학계 审中-公开
公开(公告)号：KR20210034263A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR20190115966
申请日：2019-09-20
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/55 , G02B7/00 , G02B17/08
摘要： 본발명에따른자외선현미경용대물렌즈는피검체의표면검사를위한자외선현미경에구성될수 있다. 여기에서, 자외선현미경용대물렌즈는광축을중심으로정렬되어구성된부경; 및중앙에관통공이형성되는주경;을포함하여구성되되, 상기부경은, 상기자외선현미경에구성된자외선광원으로부터출력되며상기주경의관통공을통과하여입사되는입사광을향해볼록형반사면이구성되고, 상기주경은, 상기부경으로부터반사되는입사광을향해오목형의비구면반사면이구성되어, 상기부경으로부터반사되는입사광을피검체의표면에집속시키도록구성되고, 상기자외선광원과상기부경의광경로사이에구성되어, 상기자외선광원에서출력되는출력광의직경을변경시켜상기입사광을부경으로출력하는콜리메이션부;를더 포함하여구성된다.

8. 发明授权

KR102217036B1 렌즈 조심 장치 및 그 방법 有权
公开(公告)号：KR102217036B1
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：KR1020180165667
申请日：2018-12-19
申请人： 주식회사 세코닉스
发明人： 채종현 , 강민우 , 안성호 , 김영현
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 일실시예에따른렌즈조심방법은, 경통내부에복수개의렌즈를순차적으로삽입하여제1렌즈군을형성하는단계; 서로접합된 2개의렌즈를포함하는제2렌즈군을상기제1렌즈군의상측에위치시키는단계; 상기제1렌즈군및 제2렌즈군에광을조사하는단계; 상기조사된광을검출하여상기제1렌즈군에대한상기제2렌즈군의광축정렬상태를검출하는단계; 및상기검출된광축정렬상태를고려하여, 상기제2렌즈군의위치를정렬시키는단계를포함할수 있다.

9. 发明授权

KR102214446B1 수중 물체용 창유리 유닛 有权
公开(公告)号：KR102214446B1
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：KR1020187005635
申请日：2015-07-27
申请人： 프로테 글래스딥 스폴카 지 오그라니크조나 오드포위에드지알노스치아
发明人： 지올코우스키,에우제니우스즈 , 스자레즈코,보거스로
IPC分类号： B63B19/00 , G02B3/12 , G02B7/00
摘要： 본발명의본질은원주형클램프링에배치되는미네랄유리판으로구성되는수중물체윈도우용창유리유닛(glazing unit)이며, 창유리유닛은저 압축성액체층에의해분리되는적어도 2개의미네랄유리판을갖고미네랄유리판사이의경계선상에서미네랄유리판과의접촉영역에실링을갖는원주형스페이서를가지며, 원주형스페이서및 실링을갖는미네랄유리판의구성세트가원주형클램프링에의해클램프되는원주형시일로테두리화되는것을특징으로한다. 유리하게는미네랄유리판사이에위치되는액체층의두께는미네랄유리판층과동일하다. 유리하게는실링은폐쇄형형상을갖고, 미네랄유리판의상부및 하부부분경계선에서경계를이룬다. 유리하게는스페이서는미네랄유리로제조된다.

10. 发明授权

KR102193819B1 어레이 이미징 모듈, 성형 감광성 어셈블리 및 그 제조 방법, 및 전자 장치 有权
公开(公告)号：KR102193819B1
公开(公告)日：2020-12-23
申请号：KR20187029337
申请日：2016-10-28
IPC分类号： H04N5/225 , G02B5/20 , G02B7/00 , G02B7/02 , G02B13/00 , H01L27/146 , H05K1/02 , H05K1/18
摘要： 어레이이미징모듈은지지부재, 적어도하나의회로보드, 적어도두 개의감광성유닛, 적어도두 개의리드선, 및몰드밀봉재를포함하는성형감광성어셈블리를포함한다. 감광성유닛은회로보드의칩 결합영역에결합된다. 리드선은회로보드의칩 결합영역에서감광성유닛에전기적으로결합된다. 몰드밀봉재는메인성형체를포함하고주 개의광학윈도우를갖는다. 메인성형체가형성될때, 회로보드및 감광성유닛은몰드밀봉재의메인성형체에의해밀폐및 몰딩되어, 메인성형체가형성된후, 메인성형체및 회로보드의적어도일 부분은감광성유닛이광학윈도우와각각정렬되는위치에함께일체로형성된다.

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