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1. 发明专利

JP6257599B2 再構成可能な検出システム有权
公开(公告)号：JP6257599B2
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：JP2015513998
申请日：2013-02-21
申请人：ザ・ボーイング・カンパニー , The Boeing Company
发明人：サファイ, モルテザ
IPC分类号： G01N23/203
CPC分类号： G01N23/20008 , G01N23/203

2. 发明专利

JP2017535787A 基板の検査装置、基板の検査方法、大面積基板検査装置、及びその操作方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017535787A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2017528470
申请日：2014-12-22
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：ベルンハルトミューラー , ベルンハルトミューラー , ルートヴィヒレードル , ルートヴィヒレードル , アクセルヴェンツェル , アクセルヴェンツェル , リディアパリソーリ , リディアパリソーリ , マティアスブルンネル , マティアスブルンネル
IPC分类号： G01N23/22 , G01N23/225
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/203 , G01N23/2251 , G01N23/2252 , G01N2223/61 , H01J37/145 , H01J37/16 , H01J2237/0216
摘要：ディスプレイ製造用大面積基板を検査するための装置が記載される。本装置は、真空チャンバと、真空チャンバ内に配置され、ディスプレイ製造用大面積基板を支持するように構成された基板支持体と、基板支持体によって支持された基板を検査するための荷電粒子ビームを生成するように構成され、対物レンズの減速電解レンズコンポーネントを含む第1の撮像荷電粒子ビーム顕微鏡とを含む。

3. 发明专利

JPWO2016059672A1 Ｘ線薄膜検査装置有权
公开(公告)号：JPWO2016059672A1
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：JP2016553774
申请日：2014-10-14
申请人：株式会社リガク
发明人：尾形　潔 , 潔尾形 , 正吉原 , 正吉原 , 隆男杵渕 , 隆男杵渕 , 志朗梅垣 , 志朗梅垣 , 繁松淺野 , 繁松淺野 , 克隆洞田 , 克隆洞田 , 宗生吉田 , 宗生吉田 , 本野　寛 , 寛本野 , 秀明 ▲高▼橋 , 秀明 ▲高▼橋 , 明房樋口 , 明房樋口 , 表　和彦 , 和彦表 , 伊藤　義泰 , 義泰伊藤 , 直樹河原 , 直樹河原 , 中野　朝雄 , 朝雄中野
IPC分类号： G01N23/223 , G01N23/20 , G01N23/203
CPC分类号： G01N23/223 , G01N23/203 , G01N23/2204 , G01N23/2206 , G01N2223/076 , G01N2223/315 , G01N2223/61 , G01N2223/6116
摘要：本発明のX線薄膜検査装置は、第1の旋回アーム32に搭載されたX線照射ユニット40と、第2の旋回アーム33に搭載されたX線検出器50と、X線の照射により検査対象から発生する蛍光X線を検出する蛍光X線検出器60と、を備えている。そして、X線照射ユニット40は、X線管42から放射されたX線を入射し、特定波長に単色化した複数本の収束X線を反射し、これら複数本の収束X線をあらかじめ設定した焦点に収束させる、コンフォーカルミラーで構成されたX線光学素子43と、このX線光学素子43から反射してきた複数本の収束X線のうち、任意本数の収束X線を通過させるスリット機構46とを含んでいる。

4. 发明专利

JP6085132B2 結晶解析装置、複合荷電粒子ビーム装置及び結晶解析方法有权
标题翻译：晶体分析器复合带电粒子射线装置和晶体学方法
公开(公告)号：JP6085132B2
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：JP2012204612
申请日：2012-09-18
申请人：株式会社日立ハイテクサイエンス
发明人：満欣 , 藤井利昭
IPC分类号： G01N23/20
CPC分类号： G01N23/203

5. 发明专利

JP2014500507A Scanning device and method of the radiation beam back scatter imaging 有权
公开(公告)号：JP2014500507A
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：JP2013545014
申请日：2011-04-28
申请人：同方威視技術股▲分▼有限公司 , 清華大学
发明人：志強陳 , 元景李 , 自然趙 , 以農劉 , 万龍呉 , 麗張 , 超塗 , 楽唐 , 頴康金 , 碩曹 , 光偉丁
IPC分类号： G01N23/203
CPC分类号： G01N23/203 , G01N2223/3301 , G01V5/0025 , G21K1/043
摘要：本発明は、輻射源と、それぞれ輻射源と被走査体との間に位置する固定遮蔽板及び回転遮蔽体とを備え、固定遮蔽板が輻射源に対して固定であり、回転遮蔽体が固定遮蔽板に対して回転可能であるバック散乱結像用放射線ビームの走査装置を提供する。固定遮蔽板には、輻射源からの放射線ビームが固定遮蔽板を透過することを許容する放射線透過領域が設置され、回転遮蔽体には、放射線入射領域及び放射線出射領域がそれぞれ設置され、回転遮蔽体が回転して走査する過程において、固定遮蔽板の放射線透過領域が、回転遮蔽体の放射線入射領域及び放射線出射領域と連続的に交差して走査コリメート孔を構成する。固定遮蔽板の放射線透過領域は直線スロットであり、回転遮蔽体は円柱体であり、放射線入射領域及び放射線出射領域がそれぞれ、螺旋線に沿って設置された一連の離散孔である。本発明はさらに、バック散乱結像用放射線ビームの走査方法を提供する。

6. 发明专利

JP2013174587A Three-dimensional backscattering imaging system 审中-公开
标题翻译：三维背景成像系统
公开(公告)号：JP2013174587A
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：JP2013022409
申请日：2013-02-07
申请人： Aribex Inc , アリベックスインコーポレイテッド , Univ Of Utah Research Foundation , ユニバーシティオブユタリサーチファウンデーション
发明人： CLARK TURNER , ROSS WHITAKER
IPC分类号： G01N23/203
CPC分类号： G01N23/203 , G01N23/10 , G01N23/20008 , G01N23/20066 , G01N2223/053 , G01N2223/063
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an object imaging system and method using a backscattering radiation.SOLUTION: An imaging system 5 includes a radiation source 10 which irradiates an object 22, and the radiation source can rotate around the object. The imaging system 5 also includes a detector 15 which detects backscattering radiation from the object 22. The detector 15 is arranged at substantially the same side of the object 22 such that a light source and the detector can rotate and move with the object as a center. The detector 15 can be divided into a plurality of detector segments such that each segment has the single line of sight of projection passing through the object, and that the radiation can be detected only by following the line of sight. The limited line of sight enables each detection segment to separate the desired components of the backscattering radiation. The radiation source 10 and the detector 15 collect a plurality of images of the object at different rotation angles, and independently move about the object. The plurality of images can be used for generating the three-dimensional restoration of the object.
摘要翻译：要解决的问题：提供使用后向散射辐射的物体成像系统和方法。解决方案：成像系统5包括照射物体22的辐射源10，并且辐射源可围绕物体旋转。成像系统5还包括检测器15，其检测来自物体22的反向散射辐射。检测器15布置在物体22的基本相同的一侧，使得光源和检测器可以以物体为中心旋转和移动。检测器15可以被分成多个检测器段，使得每个区段具有通过物体的投影的单一视线，并且仅通过跟踪视线来检测辐射。有限的视线使得每个检测段能够分离反向散射辐射的期望分量。辐射源10和检测器15以不同的旋转角收集物体的多个图像，并且独立地围绕物体移动。多个图像可以用于生成对象的三维恢复。

7. 发明专利

JP2013030170A Non-line of sight reverse engineering for modifications of structures and systems 有权
标题翻译：非线性反向工程改造结构与系统
公开(公告)号：JP2013030170A
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：JP2012185423
申请日：2012-08-24
申请人： Boeing Co:The , ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company
发明人： GARY E GEORGESON , MORTEZA SAFAI , WILLIAM T EDWARDS
IPC分类号： G06F17/50
CPC分类号： G01N23/203
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and system of determining the physical dimensions and configuration of a structure and/or system as a precursor to the design of modifications of the structure and/or system by analyzing hidden objects within the structure and/or system.SOLUTION: The method includes accessing the structure and/or system prior to the modification for preparation of the modification; scanning the structure and/or system with an x-ray backscatter unit; collecting data from the x-ray backscatter unit and combining and reconstructing the data into a 2-D, 2-D panoramic and/or 3-D data set; producing surfaces and structures of the hidden objects from the data set; and tying the surfaces and structures of the hidden objects into a pre-existing coordinate system of the structure and/or system creating a 3-D model.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种通过分析结构和/或系统中的隐藏对象来设计结构和/或系统的修改的前兆来确定结构和/或系统的物理尺寸和配置的方法和系统和/或系统。解决方案：该方法包括在修改之前访问结构和/或系统以进行修改; 用x射线反向散射单元扫描结构和/或系统; 从x射线反向散射单元收集数据，并将数据组合和重构成2维，2维全景和/或3-D数据集; 从数据集中产生隐藏对象的表面和结构; 并将隐藏对象的表面和结构绑定到创建3-D模型的结构和/或系统的预先存在的坐标系中。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2013019900A Clustering multi-modal data 审中-公开
标题翻译：聚集多模态数据
公开(公告)号：JP2013019900A
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：JP2012155780
申请日：2012-07-11
申请人： Fei Co , エフイーアイカンパニFei Company
发明人： CORNELIS SANDER KOOIJMAN , SANDER RICHARD MARIE STOKS
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： G01N23/203 , G01N23/2206 , G01N23/2252 , G01N2223/402 , G01N2223/418 , G01N2223/616 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/2611
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and apparatus for more promptly acquiring information relating to a sample.SOLUTION: Information from multiple detectors acquiring different types of information is combined to determine one or more properties of a sample more efficiently than the properties could be determined using a single type of information from a single type of detector. In some embodiments, information is collected simultaneously from the different detectors which can greatly reduce data acquisition time. In some embodiments, information from different points on the sample are grouped based on information from a first type detector, and information from a second type detector related to these points is combined, for example, to create a single spectrum from the second type detector of a region of common composition as determined by the first type detector. In some embodiments, the data collection is adaptive, that is, the data are analyzed during collection to determine whether sufficient data have been collected to determine a desired property with the desired confidence.
摘要翻译：要解决的问题：提供用于更快速地获取与样本有关的信息的方法和装置。解决方案：来自多个检测器获取不同类型信息的信息被组合以比可以使用来自单一类型的检测器的单一类型的信息确定属性更有效地确定样本的一个或多个属性。在一些实施例中，从不同的检测器同时收集信息，这可以大大减少数据采集时间。在一些实施例中，来自样本上不同点的信息基于来自第一类型检测器的信息分组，并且来自与这些点相关的第二类型检测器的信息被组合，例如，从第二类型检测器的第二类型检测器中产生单个频谱由第一类型检测器确定的共同组成区域。在一些实施例中，数据收集是自适应的，即，在收集期间分析数据以确定是否已经收集了足够的数据以确定具有期望置信度的所需属性。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JP4634852B2 Sem Shikigaikan inspection apparatus and method 有权
公开(公告)号：JP4634852B2
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：JP2005125859
申请日：2005-04-25
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：裕史宮井 , 成弥田中 , 康弘郡司
IPC分类号： G01N23/225 , H01L21/66
CPC分类号： G01N23/203 , G01N23/2251 , G01N2223/3302 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2817
摘要： A visual inspection apparatus and method using the scanning electron microscope are disclosed. An electron beam is scanned repeatedly on a sample, and an inspection and a reference image are generated by the secondary electrons generated from the sample or reflected electrons. From the differential image between the inspection image and the reference image, a defect is determined. The number of pixels in the generated image along the direction of repetitive scanning by the electron beam can be changed.

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