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    • 10. 发明专利
    • 粒子分析方法及び粒子分析装置
    • JP2017096701A
    • 2017-06-01
    • JP2015227597
    • 2015-11-20
    • 新日鐵住金株式会社
    • 西野宮 卓辻 典宏
    • G01N15/02G01N23/225G01N23/22G01N15/10
    • 【課題】周囲が液体によって被覆されている粒子であっても、粒子の粒子径に関する情報を含む粒子の構造を正確に分析すること。 【解決手段】本発明に係る粒子分析方法は、平均粒子径が3μm以下の粒子に対して、一次イオンの照射条件が1×10 14 〜1×10 17 イオン/cm 2 に設定された集束イオンビームを照射して粒子の表面を研削する研削ステップと、研削ステップの前後で実施され、一次イオンの照射条件が1×10 14 イオン/cm 2 未満に設定された集束イオンビームを粒子に照射して粒子から放出される二次イオンを検出し、粒子の構造を解析する解析ステップと、研削ステップの前後での粒子の構造に関する解析結果に基づいて、粒子の表面における液体の存在の有無を判断する判断ステップと、を含み、液体が存在していると判断された粒子に対して、研削ステップと当該研削ステップ後における解析ステップとを再度実施する。 【選択図】図1