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1. 发明公开

EP3159703A1 DISPOSITIF ET SYSTEME MICROELECTROMECANIQUE AVEC TRANSDUCTEUR RESISTIF A FAIBLE IMPEDANCE 无效
标题翻译：微机电设备和系统与具有弱阻抗转换器
公开(公告)号：EP3159703A1
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：EP16193853.5
申请日：2016-10-14
申请人： Vmicro , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
发明人： WALTER, Benjamin , FAUCHER, Marc
IPC分类号： G01Q10/04 , B81B3/00 , G01Q20/04
CPC分类号： B81B3/0045 , B81B3/0021 , B81B3/0024 , B81B3/0086 , B81B2201/02 , B81B2201/031 , B81B2203/0118 , G01P15/123 , G01Q10/045 , G01Q20/04
摘要： Dispositif microélectromécanique comprenant une structure mécanique (P1) s'étendant principalement selon une direction longitudinale (x), reliée à un substrat planaire (S) par au moins un ancrage (APLM, APLM2) situé à l'une de ses extrémités et susceptible de fléchir dans un plan parallèle au substrat, ladite structure mécanique comprenant une portion de raccord, qui la relie audit ou à chaque dit ancrage et qui inclut une région résistive (R1) présentant une première (PL1M1) et une deuxième (12) zone d'injection d'un courant électrique pour former un transducteur résistif, ladite région résistive s'étendant principalement dans ladite direction longitudinale à partir dudit ou d'un dit ancrage et étant agencée de telle sorte qu'une flexion de ladite structure mécanique dans ledit plan parallèle au substrat induise dans ladite région résistive une contrainte moyenne non nulle et réciproquement; caractérisé en ce que : ladite première zone d'injection est portée par ledit ancrage ; et ladite deuxième zone d'injection est portée par un élément conducteur non fixé audit substrat et s'étendant principalement dans une direction dite latérale, sensiblement perpendiculaire à ladite direction longitudinale.
摘要翻译：一种微机电装置，包括一机械结构沿纵向方向延伸，通过在锚固位于其端部中的一个，并能够在平行于基板的平面内弯曲地连接到平面基底，所述机械结构包括接合部分，其离开它到每个锚固和包括电阻区域呈现第一和第二区，用于电流注入以形成电阻换能器，所述阻性区域从在锚固在纵向方向上延伸并且布置为机械结构的在平行于平面的弯曲基板诱导在电阻区，反之亦然非零平均应变; worin：第一喷射区由锚固承载; 和第二注入区是由不固定于基板，并在方向上延伸的导电元件，基本上垂直于纵向方向横向称之携带。

2. 发明公开

EP2783231A1 AFM-COUPLED MICROSCALE RADIOFREQUENCY PROBE FOR MAGNETIC RESONANCE IMAGING AND SPECTROSCOPY 审中-公开
标题翻译： AFM耦合微型高频探头磁共振成像和光谱
公开(公告)号：EP2783231A1
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：EP12840458.9
申请日：2012-10-10
申请人： Purdue Research Foundation
发明人： NEU, Corey, P. , ZIAIE, Babak , MALEKI-JAFARABADI, Teimour , MOUSOULIS, Charilaos
IPC分类号： G01R33/46
CPC分类号： G01R33/4808 , G01N24/08 , G01Q20/04 , G01Q30/02 , G01Q60/08 , G01Q60/52 , G01Q70/16 , G01R33/341 , G01R33/46
摘要： The present disclosure is discloses the development of a new device, system, and method that combines advantages of magnetic resonance and atomic force microscopy technologies, and the utility of the new device, system, and method for a wide range of biomedical and clinical researchers. According to one aspect of the present disclosure, a device for micro-scale spectroscopy is disclosed. The micro-scale spectroscopy device includes a beam having a distal end, a proximal end, a top surface and a bottom surface, where the beam is attached to an anchor at the proximal end and further includes a tip extending substantially perpendicular from the bottom surface at or near the distal end, and a coil having at least one turn mounted to the top surface of the beam at or near the distal end opposite the tip, where the coil is capable of both transmitting and sensing electromagnetic radiation.

3. 发明公开

EP2754176A1 SENSOR FOR LAW FORCE-NOISE DETECTION IN LIQUIDS 审中-公开
标题翻译：传感器确定低投入噪声在液体中
公开(公告)号：EP2754176A1
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：EP12829889.0
申请日：2012-08-21
申请人： The Regents of The University of California
发明人： ZIEGLER, Dominik , ASHBY, Paul
IPC分类号： H01L27/14
CPC分类号： G01Q70/08 , B82Y35/00 , G01Q20/02 , G01Q20/04 , G01Q30/14
摘要： The embodiments described herein provide a sensor. In an exemplary embodiment, the sensor includes ( 1) a resonator, (2) a probe attached to the resonator, and (3) an encasement that encases the resonator, where the encasement includes an opening through which the probe can protrude and where the dimensions of the encasement are on the same order as the dimensions of the resonator,

4. 发明公开

EP2749890A1 A composite beam having an adjustable stiffness. 审中-公开
标题翻译： Verbundträgermit einstellbarer Steifigkeit
公开(公告)号：EP2749890A1
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：EP12199410.7
申请日：2012-12-27
申请人： Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
发明人： Sadeghian Marnani , van Keulen, Alfred
IPC分类号： G01Q20/04 , G01Q70/10 , G01Q10/04 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2201/12 , G01Q10/045 , G01Q20/04 , G01Q70/10
摘要： A composite beam (1) having an adjustable stiffness, for example for use in an AFM, a micromechanical biosensor or acoustic actuator or sensor. The composite beam comprises at least one passive beam (2) and one responsive beam (6) for example a piezoelectric beam. The composite beam further comprises a third beam that may be either a passive beam (10) or a responsive beam, depending on the geometry of the assembly of beams. All three beams are connected at one side with a solid base element (5) and at the other side with a solid distal element (13). The internal mechanical stress induced by the responsive beam will result in a variation of the stiffness of the composite beam. So, the stiffness of the composite beam can be adjusted by stimulating the responsive beam.
The composite beam can also be used in other application where the stiffness of a beam has to be adjusted such as acoustic instruments like microphones or loudspeakers or in for example acceleration sensors.
摘要翻译：具有可调节刚度的组合梁（1），例如用于AFM，微机械生物传感器或声学致动器或传感器。复合梁包括至少一个无源梁（2）和一个响应梁（6），例如压电梁。组合梁还包括根据梁组件的几何形状的第三梁，其可以是无源梁（10）或响应梁。所有三个梁在一侧与固体基体元件（5）连接，另一侧与实心远端元件（13）连接。响应梁引起的内部机械应力将导致复合梁刚度的变化。因此，可以通过激发响应梁来调节复合梁的刚度。组合梁还可以用于需要调节梁的刚度的其他应用中，例如诸如麦克风或扬声器之类的声学仪器，或者例如加速度传感器。

5. 发明公开

EP2404164A4 A SCANNED PROBE MICROSCOPE WITHOUT INTERFERENCE OR GEOMETRIC CONSTRAINT FOR SINGLE OR MULTIPLE PROBE OPERATION IN AIR OR LIQUID 审中-公开
标题翻译： GRID探针显微镜，不必顾虑在空气或液体的单个或多个探头操作干扰或几何限制
公开(公告)号：EP2404164A4
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：EP10749119
申请日：2010-02-25
申请人： NANONICS IMAGING LTD
发明人： LEWIS AARON , LEWIS DAVID , DEKHTER RIMA , FISH GALINA , KOKOTOV MICHAEL , KOKOTOV SOFIA , FEDOSYEYEV OLEG , KOMISSAR ANATOLY
IPC分类号： G01N23/00 , B82Y35/00 , G01Q10/06 , G01Q20/04 , G01Q30/02 , G01Q30/14 , G01Q70/06
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q20/04 , G01Q30/025 , G01Q30/14 , G01Q70/06
摘要： A method and a device permit scanned probe microscopes with a non-optical feedback mechanism (1.2), such as a tuning fork, to be used in air or in liquid. The embodiments of the invention require geometric construction of the scanning device that can incorporate the non-optical feedback mechanism in a way that does not obstruct geometrically essentially any lens (1.3) from above or below and permits free access to the probe that is interacting with the sample. In one such embodiment, a scanner (1.1) in x, y and z can move the probe with a structure in which either the non-optical feedback mechanism is in the liquid or in the air and can use either a cantilevered or straight probe. The system can also be constructed with multiple independent scanned probe microscopy probes that can work in liquid and/or in air.

6. 发明公开

EP2502876A1 Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement 有权
标题翻译：米克拉姆机械设备有限公司（Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement）
公开(公告)号：EP2502876A1
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：EP11401049.9
申请日：2011-03-24
申请人： NanoWorld AG
发明人： Richter, Christoph , Sulzbach, Thomas , Engl, Wolfgang
IPC分类号： B81B7/00 , G01Q20/04
CPC分类号： G01Q20/04 , B81B7/0006 , B82Y35/00 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/0256 , G01N2291/0427 , G01Q10/045
摘要： Mikromechanisches Bauelement 100, bestehend aus einem Halteelement 2 und einem Federbalken 1 mit integriertem elektrischen Funktionselement 3, zu dem mindestens zwei als Leiterbahnen an dem Federbalken 1 ausgebildete elektrischen Zuleitungen 41, 42 führen. Die Erfindung schlägt vor, mindestens jeweils eine der Zuleitungen 41, 42 auf den zwei einander gegenüberliegenden Flachseiten 21, 22 des Federbalkens 1 und/oder des Halteelementes 2 anzuordnen. Mit einer ersten Zuleitung 41 auf einer ersten Flachseite 21 wird das Funktionselement 3 versorgt, die zweite Zuleitung 42 auf der gegenüber liegenden Flachseite 42 dient als Rückleitung.
摘要翻译：微机械部件（100）具有保持元件（2）和具有集成电功能元件（3）的弹簧梁（1）。弹簧梁连接到保持元件的平坦侧（21）。功能元件由两个电引线（41,42）组成，它们形成为弹簧梁和保持元件上的导体轨迹。引线沿保持元件的相对的平坦侧面（21,22）延伸。在弹簧梁中形成用于连接电引线的局部互连（43,432）。

7. 发明公开

EP1899107A4 INTEGRATED DISPLACEMENT SENSORS FOR PROBE MICROSCOPY AND FORCE SPECTROSCOPY 审中-公开
标题翻译：集成位移传感器，用于特别观察与力光谱
公开(公告)号：EP1899107A4
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：EP06785076
申请日：2006-06-16
申请人： GEORGIA TECH RES INST
发明人： DEGERTEKIN FAHRETTIN
IPC分类号： G01B5/28 , B82Y35/00 , G01Q20/02 , G01Q20/04 , G01Q60/38 , G02B6/26
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q20/02 , G01Q60/38

8. 发明公开

EP2291849A2 HEIGHT SENSING CANTILEVER 审中-公开
标题翻译： HÖHENMESSENDERKRAGTRÄGER
公开(公告)号：EP2291849A2
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：EP09747524.8
申请日：2009-05-13
申请人： Nanoink, Inc.
发明人： FRAGALA, Joseph, S. , HENNING, Albert, K. , SHILE, Raymond, Roger
IPC分类号： G12B21/08 , G01N13/16
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q20/04 , G01Q40/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01Q80/00
摘要： A device comprising at least one cantilever comprising at least one piezoresistor is described, where the cantilevers comprise silicon nitride or silicon carbide and the piezoresistors comprise doped silicon. Methods for making and using such a device are also provided.
摘要翻译：公开了一种用于扫描探针外延的双尖端探针和形成双尖端探针的方法。双尖头探针包括设置在悬臂上的第一和第二尖端。第一和第二提示可以分别是读取器尖端和合成尖端。第一尖端可以在书写期间保持与基底接触，并且提供基底和/或结构的原位表征，而第二尖端可以以非接触模式执行以写入和合成纳米结构。此功能可以允许双尖端探针使用第一个尖端检测印刷图案中的错误，并使用第二个尖端校正错误。

9. 发明公开

EP2171425A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHENEIGENSCHAFTEN VERSCHIEDENARTIGER MATERIALIEN 有权转让
标题翻译：装置和方法进行调查不同的材料如表面物性
公开(公告)号：EP2171425A1
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：EP08774334.0
申请日：2008-06-26
申请人： Rangelow, Ivo W.
发明人： RANGELOW, Ivo, W. , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard , GOTSZALK, Teodor , WOSZCZYNA, Miroslaw , MIELCZARSKI, Jerzy , SAROV, Yanko
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q10/045 , G01Q10/065 , G01Q60/26 , G01Q60/38 , G01Q70/06 , G01Q70/10 , G01Q70/12
摘要： The present invention relates to an apparatus and a method for investigating surface properties of different materials, which make it possible to carry out atomic force microscopy with a simplified and faster shear force method. The apparatus according to the invention is characterized by perpendicular orientation of the measuring tip of a self-actuated cantilever with respect to the surface of the sample. A piezoresistive sensor and a bimorph actuator are preferably DC-isolated. The measuring tip is in the form of a carbon nanotube, in particular. A plurality of cantilevers can be arranged in the form of a cantilever array which is characterized by a comb-like arrangement of individual pre-bent cantilevers. The method according to the invention is distinguished by a fast feedback signal on account of the distance between the measuring tip and the surface to be investigated being regulated using the change in a DC signal which supplies the actuator.

10. 发明公开

EP2031369A2 Method and apparatus for detecting measurement position of resonance sensor 有权转让
标题翻译： Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung der Messposition eines Resonanzsensors
公开(公告)号：EP2031369A2
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：EP08161262.4
申请日：2008-07-28
申请人： Mitutoyo Corporation
发明人： Goto, Tomonori c/o Mitutoyo Corporation
IPC分类号： G01N13/10
CPC分类号： G01Q20/04 , G01B21/045 , G01Q30/06
摘要： In a resonance sensor 20, a measuring element 22 is resonant-vibrated in the longitudinal direction by vibrating means (a piezoelectric element 24), an output signal depending on resonance of the measuring element 22 is obtained by detecting means (a piezoelectric element 26), and a change in the output signal is captured, thereby sensing a contact between the tip end 22A of the measuring element and a measurement object 10. In detection of a measurement position of the resonance sensor, a characteristic curve showing a relationship between the distance between the measuring element 22 and the measurement object 10, and a change state of the output signal is obtained, and a change start position of the output signal corresponding to a contact start position is estimated from the characteristic curve, and set as a measurement position.
摘要翻译：在谐振传感器20中，测量元件22通过振动装置（压电元件24）沿纵向共振振动，通过检测装置（压电元件26）获得取决于测量元件22的谐振的输出信号，，并且捕获输出信号的变化，从而感测测量元件的尖端22A与测量对象10之间的接触。在检测到谐振传感器的测量位置时，显示了距离在测量元件22和测量对象10之间，并且获得输出信号的改变状态，并根据特性曲线估计与接触开始位置对应的输出信号的变化开始位置，并将其设置为测量位置。

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