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1. 发明授权

EP1672648B1 Rasterkraftsonde mit einer EBD-Abtastspitze. 有权
标题翻译：原子力探头的扫描EBD。
公开(公告)号：EP1672648B1
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：EP04029525.5
申请日：2004-12-14
申请人： Nanoworld AG
发明人： Krause, Oliver, Dr. , Lehrer, Christoph , Petersen, Silke
IPC分类号： G12B21/02
CPC分类号： G01Q70/12

2. 发明公开

EP1672648A1 Rasterkraftsonde mit einer EBD-Abtastspitze. 有权
标题翻译： Rasterkraftsonde mit einer EBD-Abtastspitze。
公开(公告)号：EP1672648A1
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：EP04029525.5
申请日：2004-12-14
申请人： Nanoworld AG
发明人： Krause, Oliver, Dr. , Lehrer, Christoph , Petersen, Silke
IPC分类号： G12B21/02
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： Die Erfindung betrifft einen SPM-Sensor (1) für ein Rasterkraftmikroskop mit einem Biegebalken (3), einem Halteelement (2) an einem Ende des Biegebalkens (3) und einer Sensorspitze (4) mit einer EBD-Struktur (5) am anderen Ende des Biegebalkens (3) sowie ein Verfahren zur Herstellung derartiger Sensoren. Die EBD-Struktur (5) ist direkt im Substrat der Sensorspitze (4) verankert. Die Verankerung der EBD-Struktur (5) erfolgt form- und kraftschlüssig in einem Loch (6) der Sensorspitze (4), das durch Materialabtrag im Substrat der Sensorspitze (4) erzeugt ist. Das Verfahren sieht nach dem Materialabtrag durch fotolithographische Strukturierung mit nachfolgenden Ätzprozess bzw. mittels Teilchenstrahlen die Erzeugung der EBD-Struktur durch eine teilchenstrahlinduzierte Materialabscheidung im Loch der Sensorspitze vor.
摘要翻译：传感器具有设置在悬臂（3）的一端的保持部分（2）。传感器尖端（4）设置在悬臂的另一端，并且部分圆柱形的电子束感应沉积（EBD）扫描尖端从传感器尖端突出。该部分用于在扫描探针显微镜的测量头上接收和紧固传感器。悬臂带EBD扫描头的传感器端头。扫描探针显微镜（SPM）传感器的制造方法也包含独立的权利要求。

3. 发明授权

EP1359593B1 SPM-Sensor und Verfahren zur Herstellung desselben 有权
标题翻译：用于制造该SPM传感器和方法
公开(公告)号：EP1359593B1
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：EP02006227.9
申请日：2002-03-20
申请人： Nanoworld AG
发明人： Lutter, Stefan
IPC分类号： G12B21/02 , G01B7/34 , B81C1/00 , B81B3/00 , B81B1/00
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10

4. 发明公开

EP2502876A1 Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement 有权
标题翻译：米克拉姆机械设备有限公司（Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement）
公开(公告)号：EP2502876A1
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：EP11401049.9
申请日：2011-03-24
申请人： NanoWorld AG
发明人： Richter, Christoph , Sulzbach, Thomas , Engl, Wolfgang
IPC分类号： B81B7/00 , G01Q20/04
CPC分类号： G01Q20/04 , B81B7/0006 , B82Y35/00 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/0256 , G01N2291/0427 , G01Q10/045
摘要： Mikromechanisches Bauelement 100, bestehend aus einem Halteelement 2 und einem Federbalken 1 mit integriertem elektrischen Funktionselement 3, zu dem mindestens zwei als Leiterbahnen an dem Federbalken 1 ausgebildete elektrischen Zuleitungen 41, 42 führen. Die Erfindung schlägt vor, mindestens jeweils eine der Zuleitungen 41, 42 auf den zwei einander gegenüberliegenden Flachseiten 21, 22 des Federbalkens 1 und/oder des Halteelementes 2 anzuordnen. Mit einer ersten Zuleitung 41 auf einer ersten Flachseite 21 wird das Funktionselement 3 versorgt, die zweite Zuleitung 42 auf der gegenüber liegenden Flachseite 42 dient als Rückleitung.
摘要翻译：微机械部件（100）具有保持元件（2）和具有集成电功能元件（3）的弹簧梁（1）。弹簧梁连接到保持元件的平坦侧（21）。功能元件由两个电引线（41,42）组成，它们形成为弹簧梁和保持元件上的导体轨迹。引线沿保持元件的相对的平坦侧面（21,22）延伸。在弹簧梁中形成用于连接电引线的局部互连（43,432）。

5. 发明授权

EP1491950B1 Micro device and process for producing it 有权
标题翻译：式微和工艺及其制备方法
公开(公告)号：EP1491950B1
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：EP03014140.2
申请日：2003-06-24
申请人： NanoWorld AG
发明人： Detterbeck, Manfred , Lutter, Stefan , Burri, Mathieu , Hartmann, Theo , Akiyama, Terunobu
IPC分类号： G03F7/00 , B81B3/00
CPC分类号： G03F7/0035 , B81C99/0085 , G03F7/16

6. 发明授权

EP1860424B1 Selbstausrichtende Abtastsonden für Rastersondenmikroskop 无效转让
标题翻译：自对准扫描探针，用于扫描探针显微镜
公开(公告)号：EP1860424B1
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：EP06010813.1
申请日：2006-05-26
申请人： NanoWorld AG
发明人： Sulzbach, Thomas , Detterbeck, Manfred , Burri, Mathieu , Richter, Christoph , Luedge, Hans-Juergen
IPC分类号： G01Q70/02
CPC分类号： G01Q70/02

7. 发明授权

EP2502876B1 Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement 有权
标题翻译：与悬臂和集成电功能元件的微机械构件
公开(公告)号：EP2502876B1
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：EP11401049.9
申请日：2011-03-24
申请人： NanoWorld AG
发明人： Richter, Christoph , Sulzbach, Thomas , Engl, Wolfgang
IPC分类号： B81B7/00 , G01Q20/04
CPC分类号： G01Q20/04 , B81B7/0006 , B82Y35/00 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/0256 , G01N2291/0427 , G01Q10/045

8. 发明公开

EP2175286A1 SPM-Sonde mit der Abtastspitze gegenüberliegender Justierhilfe und Verfahren zur Herstellung 有权
标题翻译：一种用于生产具有一个触笔的SPM传感器和调整辅助相反触笔过程
公开(公告)号：EP2175286A1
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：EP08017867.6
申请日：2008-10-11
申请人： NanoWorld AG
发明人： Sulzbach, Thomas , Krause, Oliver , Burri, Mathieu , Detterbeck, Manfred , Irmer, Berndt , Penzkofer, Christian
IPC分类号： G01Q70/08
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/08
摘要： Die Erfindung betrifft eine SPM-Sonde (1) bestehend aus einem Halteelement (2), einem Federbalken (3) und einer Abtastspitze (4), die vorteilhafterweise auf der der Abtastspitze (4) gegenüberliegenden Oberseite (7) des Federbalkens (3) eine Markierung (8) enthält. Die Markierung (8) auf der Oberseite (7) des Federbalkens (3) ist exakt der Abtastspitze (4) auf der Unterseite (6) des Federbalkens (3) gegenüberliegend angeordnet. Damit kann die exakte Position der Abtastspitze (4) im Rastersondenmikroskop von der nach oben weisenden Oberseite (7) des Federbalkens (3) lokalisiert werden, was die Justierung der SPM-Sonde (1) wesentlich vereinfacht.
摘要翻译：该方法涉及预制的支撑单元（2）与悬臂（3），并产生一扫描尖端（4）和一个标记（8）通过使用粒子束诱导的材料沉积在以自对准的方式在悬臂基于气体诱导的过程。蚀刻掩膜层施加在正面和一个硅晶片的背面侧，和一个本地掩蔽在硅晶片的正面产生的。另一本地糖化在硅晶片的背面侧产生，并且该晶片的厚度减小到悬臂的预定厚度。因此独立claimsoft包括用于扫描探针显微镜探针，其包括一个支撑单元和悬臂。

9. 发明公开

EP1993102A1 Cantilever assembly and process of manufacturing the same 审中-公开
标题翻译：悬臂组装和制造工艺一样
公开(公告)号：EP1993102A1
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：EP08003535.5
申请日：2004-11-04
申请人： NanoWorld AG
发明人： Hoogenboom, Bart W. , Yang, Jinling , Hug, Hans J. , Martin, Sascha
IPC分类号： G12B21/22
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q70/10 , Y10T29/49
摘要： A cantilever assembly (1) for scanning a sample comprises a cantilever (10) having a cantilever tip (11). The cantilever is mounted to a rigid support (12, 120, 121) and comprises a step-like portion (100) which is arranged near that end of the cantilever (10) which is attached to the support, said step-like portion (100) substantially increasing the thickness of the cantilever (10) on the front side of the cantilever (10).
摘要翻译：用于扫描样品的悬臂组件（1）包括具有悬臂尖端（11）的悬臂（10）。悬臂安装在刚性支撑件（12,120,121）上并且包括布置在附接到支撑件的悬臂（10）的端部附近的台阶状部分（100），所述台阶状部分 100）大大增加了悬臂（10）前侧上的悬臂（10）的厚度。

10. 发明授权

EP1270504B1 Halbleiterbauelemente in einem Waferverbund 有权
标题翻译：在一个晶片复合体的半导体器件
公开(公告)号：EP1270504B1
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：EP01115136.2
申请日：2001-06-22
申请人： Nanoworld AG
发明人： Lutter, Stefan
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00888 , Y10T29/49121 , Y10T29/49124

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