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    • 3. 发明公开
    • Procédé d'intégration monolithique de RITD pseudomorphique et de transistor à base de matériaux III-V
    • Monolithisches Integrationsverfahren von pseudomorphen resonanceen Tunneldioden(RITD)und Transistor auf der Basis von III-V-Materialien
    • EP2157613A1
    • 2010-02-24
    • EP08290791.6
    • 2008-08-20
    • OMMIC
    • Maher, Hassan
    • H01L29/778H01L29/88H01L21/20H01L27/06
    • H01L29/882H01L21/02395H01L21/02463H01L21/0251H01L21/02546H01L21/02549H01L29/08H01L29/20H01L29/205H01L29/778
    • Structure semi-conductrice en couches superposées pour réalisation de circuit intégré comprenant dans l'ordre d'empilage :
      - une couche support (3) composée d'un matériau semi-conducteur III-V présentant un premier paramètre de maille,
      - une couche dopée N (5) composée d'un matériau semi-conducteur III-V présentant un deuxième paramètre de maille différent du premier paramètre de maille,
      - une couche dopée P (6) composée d'un matériau semi-conducteur III-V tel que la couche dopée N (5) et la couche dopée P (6) forme une hétérojonction de type II apte à la réalisation d'une diode à effet tunnel à résonance inter bande, RITD, comprenant encore, entre la couche support (3) et la couche dopée N (5), une couche graduelle (4) composée d'un matériau semi-conducteur III-V dont la composition stoechiométrique varie graduellement en fonction de l'épaisseur de ladite couche graduelle (4) afin de présenter un paramètre de maille variant graduellement.
      Application à l'intégration monolithique de diode RITD InAS/GaAsSb sur substrat InP.
    • 具有重叠层的半导体结构包括支撑层(3),即由具有第一网孔参数的半导体III-V材料构成的衬底(1),由(III)组成的负极(N)掺杂层(5) 具有第二网格参数的V材料,由半导体III-V材料构成的正(P)掺杂层(6)和放置在支撑层和N掺杂层之间的渐变层(4),其由 半导体III-V材料的化学计量组成随渐层的厚度而逐渐变化。 具有重叠层的半导体结构包括支撑层(3),即由具有第一网孔参数的半导体III-V材料构成的衬底(1),由(III)组成的负极(N)掺杂层(5) 具有第二网格参数的V材料,由半导体III-V材料构成的正(P)掺杂层(6)和放置在支撑层和N掺杂层之间的渐变层(4),其由 半导体III-V材料,其化学计量组成随渐层的厚度而逐渐变化,以产生等于第一和第二参数的网格参数。 P掺杂层形成II型异质结。 该结构还包括上半导体层。