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1. 发明申请

WO2005013440A2 ELECTRODES FOR FLUORINE GAS DISCHARGE LASERS 审中-公开
标题翻译：氟化物放电激光电极
公开(公告)号：WO2005013440A2
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/US2004022809
申请日：2004-07-16
申请人： CYMER INC , MORTON RICHARD G , MOOSMAN BRYAN , DYER TIMOTHY , CARMICHAEL JAMES A , ZHANG JIPING
发明人： MORTON RICHARD G , MOOSMAN BRYAN , DYER TIMOTHY , CARMICHAEL JAMES A , ZHANG JIPING
IPC分类号： H01S20060101 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S
CPC分类号： H01S3/0385 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0384 , H01S3/0388 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2251
摘要： Fluorine gas discharge laser electrodes and electrode systems are disclosed that may comprise a plurality of current return tangs extending for less than the respective length of the second elongated gas discharge electrode. In addition disclosed are electrodes that may comprise a first discharge shaping magnet mounted in a first elongated gas discharge electrode and a second discharge shaping magnet mounted in a second elongated gas discharge electrode. This may also comprise at least one of the first and second gas discharge electrodes has imbedded therein a first and a second auxiliary field creating magnet. Also disclosed is an electrode that may comprise a crown straddling the centerline axis between the pair of side walls and the pair of end walls, comprising a first material, forming at least a portion of the discharge region of the electrode and a pair of elongated high erosion regions on either side of the crown comprising a second material with a relatively higher erosion rate during gas discharge than that of the first material. Also disclosed are electrodes that may comprise a first insert in the electrode body comprising an electrically conductive material having a different coefficient of thermal conductivity than the electrode body. Also disclosed are electrodes that may have a thin film of semi-conductive material coating at least the discharge footprint of the gas discharge electrode, or at least a portion of the discharge region covered with a pre-formed reef having generally uniform pore size and distribution, and methods of making such coatings or reef. Also disclosed is a method of forming an electrode by diffusion bonding a first piece of a first material to a second piece of a second material utilizing a diffusion bonding catalyst between the first piece of material and the second piece of material during the diffusion bonding step and machining the bonded pieces to form an electrode.
摘要翻译：公开了氟气放电激光电极和电极系统，其可以包括延伸小于第二细长气体放电电极的相应长度的多个电流返回脚。另外公开了可以包括安装在第一细长气体放电电极中的第一放电成形磁体和安装在第二细长气体放电电极中的第二放电成形磁体的电极。这也可以包括第一和第二气体放电电极中的至少一个嵌入其中的第一和第二辅助场产生磁体。还公开了一种电极，其可以包括跨越一对侧壁和一对端壁之间的中心线轴线的冠，包括形成电极的放电区域的至少一部分的第一材料和一对细长的高度在冠的任一侧的侵蚀区域包括在气体放电期间具有比第一材料的侵蚀速率相对较高的第二材料。还公开了可以包括电极体中的第一插入物的电极，其包括具有与电极体不同的导热系数的导电材料。还公开了电极，其可以具有至少涂覆气体放电电极的放电足迹的半导电材料薄膜，或至少一部分用预先形成的具有大致均匀的孔径和分布的预定形式的礁，以及制造这种涂层或珊瑚礁的方法。还公开了一种通过在扩散接合步骤期间利用第一片材料和第二片材料之间的扩散接合催化剂将第一片材料扩散接合到第二片材的第二片材来形成电极的方法，以及加工粘合片以形成电极。

2. 发明申请

WO2015125286A1 レーザチャンバ审中-公开
标题翻译：激光室
公开(公告)号：WO2015125286A1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：PCT/JP2014/054230
申请日：2014-02-21
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：池田　宏幸 , 柿崎　弘司 , 對馬　弘朗
IPC分类号： H01S3/03
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0384 , H01S3/0385 , H01S3/09702 , H01S3/134 , H01S3/225 , H01S3/2258
摘要：　安定した放電を行うことができる。　レーザチャンバは、放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、前記レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、前記レーザチャンバ内で前記第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、前記第１放電電極と前記第２放電電極との間にレーザガスを流すファンと、前記第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、前記第２放電電極における前記レーザガス流の上流側に配置された金属ダンパ部材と、前記第２放電電極における前記レーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、を備えてもよい。
摘要翻译：本发明能够进行稳定的放电。激光室用于放电激励型气体激光装置，并且可以设置有：设置在激光室内的第一放电电极; 第二放电电极，设置在所述激光室的内部以面对所述第一放电电极; 用于使激光气体在所述第一放电电极和所述第二放电电极之间流动的风扇; 第一绝缘构件，其设置在所述第一放电电极处的所述激光气体流的上游侧和下游侧; 设置在所述第二放电电极处的所述激光气流的上游侧的金属阻尼器部件; 以及设置在第二放电电极处的激光气流的下游侧的第二绝缘构件。

3. 发明申请

WO2005098903A1 誘電体バリア放電エキシマ光源审中-公开
标题翻译：介电障碍物放电灯光源
公开(公告)号：WO2005098903A1
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/JP2005/006742
申请日：2005-04-06
申请人：センエンジニアリング株式会社 , ハイカレントエレクトロニクスインスティテュート , ロマイエフ,ミハエルアイ. , リーシェンコ,アンドレイエイ. , スカクーン,ヴィクトルエス. , シュッツ,ドミトリブイ. , タラシェンコ,ヴィクトルエフ. , 松本好家
发明人：ロマイエフ，ミハエルアイ． , リーシェンコ，アンドレイエイ． , スカクーン，ヴィクトルエス． , シュッツ，ドミトリブイ． , タラシェンコ，ヴィクトルエフ． , 松本好家
IPC分类号： H01J65/00
CPC分类号： H01J65/046 , H01J61/06 , H01J61/35 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0971 , H01S3/225
摘要： An anode electrode (10) is composed of a long straight cylinder-shaped body, and the outer circumference of the cylinder-shaped body is covered with a dielectric (12). A cathode part (20) has a shape of straight half cylinder. A cathode (25) surrounds the anode, and the anode and the cathode are arranged parallel to one another in the lengthwise direction. The cathode is provided with a cathode wire group (16). In the cathode wire group, both edges of the wire are fixed at both edges (20D) of the half cylinder shaped body constituting the cathode part, in the lengthwise direction, so as to have the plurality of wires parallel to one another. On a surface (20S) of the cathode part on a side that faces the anode, a reflecting plane is formed for reflecting radiation in a vacuum ultraviolet region. Thus, high-intensity light having a wavelength in the vacuum ultraviolet region can be obtained, and an object to be irradiated can be efficiently irradiated with the light.
摘要翻译：阳极电极（10）由长直筒状体构成，圆筒状体的外周被电介质（12）覆盖。阴极部（20）具有直半圆柱体的形状。阴极（25）围绕阳极，并且阳极和阴极在长度方向上彼此平行地布置。阴极设有阴极线组（16）。在阴极线组中，电线的两个边沿长度方向固定在构成阴极部分的半圆柱形体的两个边缘（20D）处，以使多条电线彼此平行。在阴极部分的面对阳极的一侧的表面（20S）上，形成反射平面，用于反射真空紫外区域中的辐射。因此，可以获得具有真空紫外区域中的波长的高强度光，并且可以用光有效地照射被照射物体。

4. 发明申请

WO2002093703A1 IMPROVED FAN FOR GAS DISCHARGE LASER 审中-公开
标题翻译：改进的风扇排放激光
公开(公告)号：WO2002093703A1
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：PCT/US2002/012417
申请日：2002-04-18
申请人： CYMER, INC. , PARTLO, William, N. , RETTIG, Curtis, L.
发明人： PARTLO, William, N. , RETTIG, Curtis, L.
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： G03F7/70025 , F04D29/283 , F04D29/666 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , G03F7/70933 , H01S3/02 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0385 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/1024 , H01S3/104 , H01S3/105 , H01S3/1305 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258
摘要： An electric discharge laser apparatus having a laser chamber containing a laser gas and two longitudinal electrodes defining a discharge region for producing electrical discharges, and a tangential fan for circulating the laser gas. The fan has blade members and hub members (12) configured to minimize adverse effects of reflections of electric discharge generated shock waves back to the discharge region simultaneously with a subsequent discharge.
摘要翻译：一种具有包含激光气体的激光室和限定用于产生放电的放电区域的两个纵向电极的放电激光装置和用于循环激光气体的切向风扇。风扇具有叶片构件和轮毂构件（12），其构造成使放电产生的冲击波的反射的不利影响最小化，以随后的放电同时返回到放电区域。

5. 发明申请

WO01097347A1 GAS DISCHARGE LASER ELECTRODE WITH REDUCED SENSITIVITY TO ADVERSE BOUNDARY LAYER EFFECTS 审中-公开
标题翻译：气体放电激光电极，具有降低敏感性，不利于边界层效应
公开(公告)号：WO01097347A1
公开(公告)日：2001-12-20
申请号：PCT/US2001/013197
申请日：2001-04-24
IPC分类号： G03F7/20 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/0979 , H01S3/22 , H01S3/223 , H01S3/225
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , G03F7/708 , G03F7/70933 , H01S3/036 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0384 , H01S3/0385 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： A long life laser chamber for a halogen containing gas discharge laser. In a preferred embodiment electrode erosion caused by excited fluorine (i.e., atomic fluorine and fluorine ions) is reduced by forcing the excited fluorine away from the discharge footprint of the electrodes. Preferred embodiments include electrodes (83) with a large number of small holes (42) in the discharge footprint through which laser gas flows (86a) to remove the excited fluorine from the footprint region in the time period between electric discharges.
摘要翻译：一种用于含卤素气体放电激光器的长寿命激光室。在优选实施例中，由激发的氟（即原子氟和氟离子）引起的电极腐蚀通过迫使激发的氟远离电极的放电足迹而减小。优选实施例包括在放电足迹中具有大量小孔（42）的电极（83），通过该放电足迹，激光气体流过（86a）以在放电期间从占位区域去除激发的氟。

6. 发明申请

WO1990007809A1 A LASER CATHODE COMPOSED OF EMBEDDED LASER GAS MOLECULES 审中-公开
标题翻译：组合激光气体分子的激光阴极
公开(公告)号：WO1990007809A1
公开(公告)日：1990-07-12
申请号：PCT/US1989002276
申请日：1989-05-25
申请人： HONEYWELL INC.
发明人： HONEYWELL INC. , FORD, Carol, M. , PODGORSKI, Theodore, J.
IPC分类号： H01S03/03
CPC分类号： H01S3/0388 , H01S3/0382
摘要： Disclosed is a long life cathode for laser generators consisting of a cathode body having an electron emitting surface in which lasing gas molecules are embedded therein.

7. 发明申请

WO2017058531A1 EROSION RESISTANT ELECTRODES FOR USE IN GENERATING GAS DISCHARGE LASER 审中-公开
标题翻译：用于产生气体放电激光器的耐腐蚀电极
公开(公告)号：WO2017058531A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/US2016/052001
申请日：2016-09-15
申请人： CYMER, LLC
发明人： LUO, Siqi , UJAZDOWSKI, Richard, Carl , DUFFEY, Thomas, Patrick , GILLESPIE, Walter, Dale
IPC分类号： H01S3/032 , H01S3/038 , H01S3/0971
CPC分类号： H01S3/0385 , H01S3/0382 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225
摘要： Anodes and cathodes for use in generating gas discharge laser Sight are disclosed. The improved anode has a transition portion that includes a substantially vertical sidewall to transition between the active portion and the end portion to reduce erosion-related issues. The improved cathode has thickened spine portions in enhanced erosion locations. The spine portions are thickened by removing material from the shoulder of the cathode stepped cross-section profile in those locations in order to improve the longevity of the cathode.
摘要翻译：公开了用于产生气体放电激光瞄准镜的阳极和阴极。改进的阳极具有过渡部分，该过渡部分包括基本上垂直的侧壁，以在活性部分和端部部分之间转变，以减少侵蚀相关问题。改进的阴极在增强的侵蚀位置中具有增厚的脊部。为了改善阴极的使用寿命，在这些位置中，通过从阴极阶梯状截面轮廓的肩部除去材料来增加脊部。

8. 发明申请

WO2005013441A3 CATHODES FOR FLUORINE GAS DISCHARGE LASERS 审中-公开
标题翻译：氟气排放激光灯
公开(公告)号：WO2005013441A3
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/US2004023663
申请日：2004-07-21
申请人： CYMER INC , STEIGER THOMAS D , BROWN JOSHUA C , DUFFEY THOMAS P , GILLESPIE WALTER D , MORTON RICHARD G , DYER TIMOTHY S
发明人： STEIGER THOMAS D , BROWN JOSHUA C , DUFFEY THOMAS P , GILLESPIE WALTER D , MORTON RICHARD G , DYER TIMOTHY S
IPC分类号： H01R43/00 , H01S20060101 , H01S3/00 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/036 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0385 , H01S3/0388 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258
摘要： A fluorine gas discharge laser electrode (70) for a gas discharge laser having a laser gas containing fluorine is disclosed which may comprise a copper and copper alloy cathode body having an upper curved region containing the discharge footprint (74) for the cathode comprising copper and a lower portion comprising a copper alloy.
摘要翻译：公开了一种用于具有含氟激光气体的气体放电激光器的氟气放电激光电极（70），该氟气气体放电激光电极（70）包括铜和铜合金阴极体，该铜和铜合金阴极体具有上部弯曲区域，该上部弯曲区域包含用于阴极的放电足迹（74）包括铜合金的下部。

9. 发明申请

WO2003004970A1 ELECTRODE DESIGN TO EXTEND SPUTTER LIFE OF A RING LASER GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：电极设计以延长环形激光陀螺仪的爆炸寿命
公开(公告)号：WO2003004970A1
公开(公告)日：2003-01-16
申请号：PCT/US2002/018312
申请日：2002-06-11
申请人： HONEYWELL INTERNATIONAL INC.
发明人： SEIBER, Bruce, A. , CALLAGHAN, Timothy, J. , ROCK, Paul, O.
IPC分类号： G01C19/66
CPC分类号： G01C19/661 , H01S3/0305 , H01S3/034 , H01S3/0382 , H01S3/083 , H01S3/0835 , H01S3/223
摘要： A gas discharge tube such as a ring laser gyroscope includes a block. A cathode has an inwardly extending foot that engages the block. Additionally, or alternatively, an insulator is arranged to inhibit shorting between plasma in the block and a flange of the cathode.
摘要翻译：诸如环形激光陀螺仪的气体放电管包括块。阴极具有接合块的向内延伸的脚。另外或替代地，布置绝缘体以防止块中的等离子体与阴极的凸缘之间的短路。

10. 发明申请

WO02037629A1 ANNEALED COPPER ALLOY ELECTRODES FOR FLUORINE CONTAINING GAS DISCHARGE LASERS 审中-公开
标题翻译：用于含氟气体放电激光器的退火铜合金电极
公开(公告)号：WO02037629A1
公开(公告)日：2002-05-10
申请号：PCT/US2001/031346
申请日：2001-10-05
IPC分类号： G03F7/20 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/0979 , H01S3/22 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/03 , H01S3/097
CPC分类号： H01S3/038 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , G03F7/70933 , H01S3/036 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0385 , H01S3/0387 , H01S3/041 , H01S3/0979 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225
摘要： An excimer laser with a laser chamber containing a circulating laser gas containing fluorine and long-life, annealed, copper alloy electrodes. Electrode lifetime is increased by annealing them after the electrodes are machined. This annealing relieves the surface stress caused by the machining operation and reduces the exposed metallic grain boundary length per unit area on the surface of the electrodes, which provides substantial reduction in erosion caused by fluorine chemical attack. Annealing after machining also reduces teh stress throughout the bulk of the electrode material. In preferred embodiments the anode is a copper-aluminum alloy and the cathode is a copper-zinc alloy.
摘要翻译：准激光激光器，激光腔包含含有氟和长寿命，退火的铜合金电极的循环激光气体。电极寿命通过在电极加工后退火而增加。该退火减轻了加工操作引起的表面应力，降低了电极表面单位面积暴露的金属晶界长度，大大减少了氟化学侵蚀引起的侵蚀。加工后的退火也减少了整个电极材料的应力。在优选实施例中，阳极是铜 - 铝合金，阴极是铜 - 锌合金。

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