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1. 发明申请

WO2015104959A1 荷電粒子ビーム装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：WO2015104959A1
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：PCT/JP2014/083200
申请日：2014-12-16
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：李　ウェン , 門井　涼 , 池田　一樹 , 高橋　弘之 , 川野　源
IPC分类号： H01J37/05
CPC分类号： H01J37/1472 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/1504 , H01J2237/1508 , H01J2237/152 , H01J2237/1534 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806
摘要：一次ビーム／二次ビーム分離手段の回路ノイズに起因する一次電子ビームの位置ずれを抑制する。磁界偏向器（１１６ａ，１１６ｂ）と電界偏向器（１１６ｅ，１１６ｆ）から構成される直交電磁偏向器の制御回路（３０２）において、電界－磁界共通電圧発生部（３０２ａ）から電圧値（３０２ａ１）を生成し、前記電圧値（３０２ａ１）を磁界駆動電流源回路（３０２ｃ）で電流へ変換・増幅して、前記磁界偏向器（１１６ａ，１１６ｂ）へ印加するとともに、前記電圧値（３０２ａ１）をゲイン調整部（３０２ｂ）でウイン条件を満足するように調整し、電界駆動電圧源回路（３０２ｄ）で増幅して、前記電界偏向器（１１６ｅ，１１６ｆ）へ印加するようにした。
摘要翻译：本发明抑制由于用于分离主光束和次光束的装置的电路噪声导致的一次电子束的位置偏移。在由磁场偏转器（116a，116b）和电场偏转器（116e，116f）组成的正交电磁偏转器的控制电路（302）中，从电场/磁场共同电压产生电压值（302a1）单元（302a），将电压值（302a1）转换成电流并在磁场驱动电流源电路（302c）中放大，并施加到磁场偏转器（116a，116b），电压值（302a1）被调整为满足在电场驱动电压源电路（302d）中放大并被施加到电场偏转器（116e，116f）的增益调整单元（302b）中的维恩条件。

2. 发明申请

WO2014175087A1 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：电子枪，充电颗粒枪和充电颗粒光束装置使用电子枪和充电颗粒枪
公开(公告)号：WO2014175087A1
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：PCT/JP2014/060575
申请日：2014-04-14
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：今井　悠太 , 大嶋　卓 , 森下　英郎
IPC分类号： H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
摘要：　本開示では、静電レンズのみを用いた比較的小型な、収差の少ない荷電粒子銃を提供し、大電流においても高輝度の電界放出型荷電粒子銃を提供することを目的とする。荷電粒子銃は、荷電粒子源と、荷電粒子源から放出される荷電粒子を加速させる加速電極と、加速電極よりも荷電粒子源側に配置され、加速電極の開口径よりも大きい開口径を有する制御電極と、加速電極に印加された電位に基づき、制御電極に印加される電位を制御する制御部と、を有する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种仅使用静电透镜的带电粒子枪，所述带电粒子枪相对较小并且具有较小的像差，并且提供即使具有高电流也具有高亮度的场致发射型带电粒子枪。该带电粒子枪具有：带电粒子源; 加速电极，其加速从带电粒子源发射的带电粒子; 控制电极，其设置成比加速电极更加朝向带电粒子源侧，并且具有比加速电极的开口直径大的孔径; 以及控制单元，其基于对加速电极施加的电位控制施加到控制电极的电位。

3. 发明申请

WO2007095189A2 ELECTROMAGNET WITH ACTIVE FIELD CONTAINMENT 审中-公开
标题翻译：具有活动场地容纳的电磁铁
公开(公告)号：WO2007095189A2
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：PCT/US2007/003700
申请日：2007-02-13
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. , KELLERMAN, Peter, L. , PURSER, Kenneth, H.
发明人： KELLERMAN, Peter, L. , PURSER, Kenneth, H.
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/141 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J2237/0042 , H01J2237/057 , H01J2237/141 , H01J2237/142 , H01J2237/1508 , H01J2237/152 , H01J2237/31701 , H01J2237/31705
摘要： An electromagnet and related ion implanter system including active field containment are disclosed. The electromagnet provides a dipole magnetic field within a tall, large gap with minimum distortion and degradation of strength. In one embodiment, an electromagnet for modifying an ion beam includes: a ferromagnetic box structure including six sides; an opening in each of a first side and a second opposing side of the ferromagnetic box structure for passage of the ion beam therethrough; and a plurality of current-carrying wires having a path along an inner surface of the ferromagnetic box structure, the inner surface including the first side and the second opposing side and third side and a fourth opposing side, wherein the plurality of current-carrying wires are positioned to pass around each of the openings of the first and second opposing sides.
摘要翻译：公开了一种包括活性场容纳的电磁体和相关离子注入机系统。电磁铁在高大的间隙内提供偶极磁场，具有最小的变形和强度的降低。在一个实施例中，用于修改离子束的电磁体包括：包括六个边的铁磁箱结构; 所述铁磁盒结构的第一侧和第二相对侧中的每一个中的开口用于使所述离子束通过其中; 以及多个载流电线，其具有沿铁磁箱结构的内表面的路径，内表面包括第一侧和第二相对侧以及第三侧和第四相对侧，其中多个载流线定位成绕过第一和第二相对侧的每个开口。

4. 发明申请

WO2004107386A2 METHOD AND SYSTEM FOR ION BEAM CONTAINMENT IN AN ION BEAM GUIDE 审中-公开
标题翻译：离子束指南中离子束容纳的方法和系统
公开(公告)号：WO2004107386A2
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：PCT/US2004/016073
申请日：2004-05-21
申请人： AXCELIS TECHNOLOGIES INC. , YE, John Zheng , BENVENISTE, Victor , CRISTOFORO, Michael
发明人： YE, John Zheng , BENVENISTE, Victor , CRISTOFORO, Michael
IPC分类号： H01J37/00
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/3171 , H01J37/32623 , H01J37/32678 , H01J2237/1508
摘要： Ion implantation systems and beamline assemblies therefor are provided, in which multi-cusped magnetic fields are provided in a beamguide and the beamguide is energized to provide microwave electric fields in a traveling wave along the beamguide passageway. The magnetic and electric fields interact to provide an electron-cyclotron resonance condition for beam containment in the beamguide passageway.
摘要翻译：提供了离子注入系统和其束线组件，其中在光束导向器中设置多通道磁场，并且激光束导向器沿着光束通道在行波中提供微波电场。磁场和电场相互作用，为光束通道中的光束收容提供电子回旋共振条件。

5. 发明申请

WO2013077715A1 КОРРЕКТОР АБЕРРАЦИЙ ЭЛЕКТРОННЫХ ЛИНЗ 审中-公开
标题翻译：电子镜片去除校正器
公开(公告)号：WO2013077715A1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：PCT/KZ2012/000006
申请日：2012-08-31
申请人： БИМУРЗАЕВ, Сеиткерим Бимурзаевич
发明人： БИМУРЗАЕВ, Сеиткерим Бимурзаевич , ЯКУШЕВ, Евгений Михайлович
IPC分类号： H01J37/153
CPC分类号： H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1508 , H01J2237/1534
摘要： Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано при формировании изображения объектов с помощью электронных (ионных) линз, в частности его применяют в электронной микроскопии объектов микро- и нанотехнологии. Корректор аберраций электронных линз содержит осесимметричный магнитный дефлектор и осесимметричное электростатическое электронное зеркало, расположенные друг относительно друга так, что центр кривизны электронного зеркала совмещен с центральной точкой корректора - точкой пересечения главной оптической оси электронного зеркала с осью симметрии магнитного дефлектора. При этом ось симметрии магнитного дефлектора и главная оптическая ось электронного зеркала при пересечении образуют прямой угол. Для нормальной работы корректора следует расположить его так, чтобы плоскость изображений электронной линзы проходила через центральную точку корректора. Преимущества предлагаемого корректора аберраций электронных линз: 1. простая конструкция магнитного дефлектора; 2. отсутствие аберраций, вносимых магнитным дефлектором; 3. простая конструкция корректора аберраций в целом и высокая технологичность его изготовления; 4. возможность коррекции наиболее важных аберраций электронных линз: сферической и осевой хроматической одновременно.
摘要翻译：本发明涉及光电仪器，并且可以用于借助于电子（离子）透镜形成物体的图像，特别是在微纳米技术的电子显微镜中。电子透镜像差校正器包括轴对称磁偏转器和轴向对称静电电子反射镜，其相互布置，使得电子反射镜的曲率中心与校正器的中心点重合，换句话说，电子反射镜的主光轴与磁偏转器的对称轴相交。磁偏转器的对称轴和电子反射镜的主光轴相交，形成直角。为了使校正器正常工作，它应该被定位成使得电子透镜的像面通过校正器的中心点。所提出的电子透镜像差校正器的优点是：1.导磁板的简单设计; 2.磁偏转器不存在像差; 作为整体的像差校正器的简单设计及其可制造性; 4.同时校正最重要的电子透镜像差的可能性，即球面和轴向色差。

6. 发明申请

WO2008101714A2 HIGH THROUGHPUT SEM TOOL 审中-公开
标题翻译：高通量扫描仪刀具
公开(公告)号：WO2008101714A2
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/EP2008/001414
申请日：2008-02-22
申请人： APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. , FROSIEN, Jürgen , BANZHOF, Helmut , ADAMEC, Pavel
发明人： FROSIEN, Jürgen , BANZHOF, Helmut , ADAMEC, Pavel
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/0635 , H01J2237/1508 , H01J2237/2449 , H01J2237/2817
摘要： A scanning charged particle beam device is described. The scanning charged particle beam device includes a beam emitter for emitting a primary electron beam, a first scan stage for scanning the beam over a specimen, an achromatic beam separator adapted for separating a signal electron beam from the primary electron beam, and a detection unit for detecting signal electrons.
摘要翻译：描述扫描带电粒子束装置。扫描带电粒子束装置包括用于发射一次电子束的束发射器，用于扫描试样上的束的第一扫描级，适于从一次电子束分离信号电子束的消色束分离器，以及检测单元用于检测信号电子。

7. 发明申请

WO2015080978A1 ASYMMETRIC ELECTROSTATIC QUADRUPOLE DEFLECTOR FOR IMPROVED FIELD UNIFORMITY 审中-公开
标题翻译：用于改进现场均匀性的不对称静电四极偏转器
公开(公告)号：WO2015080978A1
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：PCT/US2014/066915
申请日：2014-11-21
申请人： KLA-TENCOR CORPORATION
发明人： SEARS, Christopher
IPC分类号： H01J37/147
CPC分类号： H01J37/1472 , H01J37/10 , H01J37/1471 , H01J37/153 , H01J2237/10 , H01J2237/1508 , H01J2237/1516 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2602 , H01J2237/28
摘要： An electron beam device for inspecting a target substrate or specimen thereon includes a beam separator with an asymmetric quadrupole electrostatic deflector for improving field uniformity for a single direction of deflection. The asymmetric quadrupole electrostatic deflector includes two orthogonal electrode plates spanning roughly 60 degrees and two electrode plates spanning roughly 120 degrees, the two latter plates defining a unidirectional deflection field. The device generates a primary electron beam and focuses the primary electron beam along an optical axis into the target substrate. Secondary electrons detected at the target substrate are focused into a secondary electron beam. The beam separator with asymmetric quadrupole electrostatic deflector deflects the secondary electron beam away from the axis of the primary electron beam in the direction of deflection and into a detector array.
摘要翻译：用于检查目标衬底或样品的电子束装置包括具有不对称四极静电偏转器的光束分离器，用于改善单个偏转方向的场均匀性。不对称四极静电偏转器包括跨越大约60度的两个正交电极板和跨越大约120度的两个电极板，后两个板限定单向偏转场。器件产生一次电子束，并将一次电子束沿着光轴聚焦到目标衬底中。在目标衬底处检测到的二次电子被聚焦成二次电子束。具有不对称四极静电偏转器的光束分离器使二次电子束在偏转方向上偏离一次电子束的轴线并且进入检测器阵列。

8. 发明申请

WO2008101714A3 HIGH THROUGHPUT SEM TOOL 审中-公开
标题翻译：高通量扫描仪刀具
公开(公告)号：WO2008101714A3
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：PCT/EP2008001414
申请日：2008-02-22
申请人： APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD , FROSIEN JUERGEN , BANZHOF HELMUT , ADAMEC PAVEL
发明人： FROSIEN JUERGEN , BANZHOF HELMUT , ADAMEC PAVEL
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/0635 , H01J2237/1508 , H01J2237/2449 , H01J2237/2817
摘要： A scanning charged particle beam device (100) is described. The scanning charged particle beam device includes a beam emitter (102) for emitting a primary electron beam, a first scan stage for scanning the beam over a specimen, an achromatic beam separator (130) adapted for separating a signal electron beam from the primary electron beam, and a detection unit (172,174,178) for detecting signal electrons.
摘要翻译：描述扫描带电粒子束装置（100）。扫描带电粒子束装置包括用于发射一次电子束的射束发射器（102），用于扫描试样上的束的第一扫描级，适于从一次电子分离信号电子束的消色束分离器（130）以及用于检测信号电子的检测单元（172,174,178）。

9. 发明申请

WO2008101713A2 HIGH THROUGHPUT SEM TOOL 审中-公开
标题翻译：高通量扫描仪刀具
公开(公告)号：WO2008101713A2
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/EP2008001413
申请日：2008-02-22
申请人： APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD , ALMOGY GILAD , BARTOV AVISHAI , FROSIEN JUERGEN , ADAMEC PAVEL , BANZHOF HELMUT
发明人： ALMOGY GILAD , BARTOV AVISHAI , FROSIEN JUERGEN , ADAMEC PAVEL , BANZHOF HELMUT
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/0635 , H01J2237/1508 , H01J2237/2449 , H01J2237/2817
摘要： A multi-beam scanning electron beam device is described. The multi-beam scanning electron beam device having a column, includes a multi-beam emitter for emitting a plurality of electron beams, at least one common electron beam optical element having a common opening for at least two of the plurality of electron beams and being adapted for commonly influencing at least two of the plurality of electron beams, at least one individual electron beam optical element for individually influencing the plurality of electron beams, a common objective lens assembly for focusing the plurality of electrons beams having a common excitation for focusing at least two of the plurality of electron beams, and adapted for focusing the plurality of electron beams onto a specimen for generation of a plurality of signal beams, and a detection assembly for individually detecting each signal beam on a corresponding detection element.
摘要翻译：描述了多光束扫描电子束装置。具有列的多光束扫描电子束装置包括用于发射多个电子束的多光束发射器，至少一个具有用于多个电子束中的至少两个的公共开口的公共电子束光学元件，并且是用于共同影响多个电子束中的至少两个，用于单独影响多个电子束的至少一个单独的电子束光学元件，用于聚焦具有用于聚焦的共同激发的多个电子束的公共物镜组件多个电子束中的至少两个，并且适于将多个电子束聚焦到用于产生多个信号光束的样本上;以及检测组件，用于在相应的检测元件上单独检测每个信号光束。

10. 发明申请

WO2007095189A3 ELECTROMAGNET WITH ACTIVE FIELD CONTAINMENT 审中-公开
标题翻译：具有活动场地容纳的电磁铁
公开(公告)号：WO2007095189A3
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：PCT/US2007003700
申请日：2007-02-13
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT , KELLERMAN PETER L , PURSER KENNETH H
发明人： KELLERMAN PETER L , PURSER KENNETH H
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/05 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/141 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J2237/0042 , H01J2237/057 , H01J2237/141 , H01J2237/142 , H01J2237/1508 , H01J2237/152 , H01J2237/31701 , H01J2237/31705
摘要： An electromagnet and related ion implanter system including active field containment are disclosed. The electromagnet provides a dipole magnetic field within a tall, large gap with minimum distortion and degradation of strength. In one embodiment, an electromagnet for modifying an ion beam includes: a ferromagnetic box structure including six sides; an opening in each of a first side and a second opposing side of the ferromagnetic box structure for passage of the ion beam therethrough; and a plurality of current-carrying wires having a path along an inner surface of the ferromagnetic box structure, the inner surface including the first side and the second opposing side and third side and a fourth opposing side, wherein the plurality of current-carrying wires are positioned to pass around each of the openings of the first and second opposing sides.
摘要翻译：公开了一种包括活性场容纳的电磁体和相关离子注入机系统。电磁铁在高大的间隙内提供偶极磁场，具有最小的变形和强度的降低。在一个实施例中，用于修改离子束的电磁体包括：包括六个边的铁磁盒结构; 所述铁磁盒结构的第一侧和第二相对侧中的每一个中的开口用于使所述离子束通过其中; 以及多个载流电线，其具有沿铁磁箱结构的内表面的路径，内表面包括第一侧和第二相对侧以及第三侧和第四相对侧，其中多个载流线定位成绕过第一和第二相对侧的每个开口。

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