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1. 发明申请

WO2013062158A1 주사전자현미경용 빈필터 제어방법 및 전자빔 정렬 기능을 구비한 주사전자현미경 审中-公开
标题翻译：具有电子束校准功能的扫描电子显微镜及用于扫描扫描电子显微镜的滤光器的方法
公开(公告)号：WO2013062158A1
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：PCT/KR2011/008082
申请日：2011-10-27
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 김석 , 금우락 , 안재형
发明人： 김석 , 금우락 , 안재형
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/1501 , H01J2237/2449
摘要： 본 발명은 주사전자현미경용 빈필터 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 주사전자현미경용 빈필터 제어방법은 광소스로부터 생성되는 전자빔이 빈필터를 통과하여 시료에 입사된 후 방출되는 방출전자를 빈필터에 통과시켜 디텍터에 입사시킴으로써 검출하는 주사전자 현미경에 이용되는 방법으로서, 상기 빈필터를 통과한 전자빔이 상기 시료의 목표점에 도달되도록 하는 동시에 상기 시료로부터 방출되어 상기 빈필터를 통과하는 방출전자가 상기 디텍터에 도달되도록 하기 위하여 상기 빈필터에 인가되어야 하는 최종전기장 및 최종자기장을 산출하는 산출단계; 상기 최종전기장 및 상기 최종자기장을 상기 빈필터에 인가하는 인가단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于扫描电子显微镜的维恩滤波器的控制方法。用于扫描电子显微镜的维恩滤波器的控制方法用于扫描电子显微镜，其通过使它们通过维恩滤波器并使其进入检测器来检测电子，其中在从光源产生的电子束进入电子之后发射电子通过维恩过滤器的样品。该方法的特征在于包括：产生最终电场和最终磁场，其施加到维恩滤波器以允许通过维恩滤波器的电子束达到样品上的目标点，并且同时以允许从样品发射的电子并通过维恩滤波器到达检测器; 并将最终电场和最终磁场施加到维恩滤波器。

2. 发明申请

WO2016051441A1 イオンビーム装置および試料観察方法审中-公开
标题翻译：离子束装置和样品观测方法
公开(公告)号：WO2016051441A1
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：PCT/JP2014/075772
申请日：2014-09-29
申请人：株式会社日立製作所
发明人：松原　信一 , 志知　広康 , 大嶋　卓
IPC分类号： H01J37/28 , H01H37/18
CPC分类号： H01J37/26 , H01H37/18 , H01J37/08 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0807 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2608 , H01J2237/31749
摘要：　特殊な薄膜を用い試料室と電子源を隔離するタイプのSEM では、試料室を高真空に保つ一般的なSEM に比べ、薄膜を通過する際の一次電子線の散乱による分解能劣化や、薄膜の耐久性の課題がある。一方、差動排気孔を通過する電子線には回折現象が生じるため、プローブ径を細束化した電子ビームは一定値以上のアスペクト比の孔は通過できないので、電子線側の真空度を向上させることができない。　イオンビーム装置に高アスペクト比の差動排気孔（３２５）を備えることによりイオンビーム側の真空度を安定化した状態で、試料を大気圧下もしくはそれに準ずる圧力下に置き試料（３１）表面の観察像を得ることを可能とする。またイオンビームを用い前記差動排気孔（３２５）をその都度加工することで、通常の高分解能の像観察と、大気圧またはそれに準ずる圧力下での像観察を両立することを可能とする。
摘要翻译：与将样品室保持在高真空中的普通SEM相比，使用特殊薄膜将样品室与电子源分离的类型的SEM具有分辨力的劣化和耐久性的问题由于在通过薄膜时一阶电子束的散射引起的薄膜。同时，由于通过差分排气口的电子束产生衍射现象，所以探针直径变窄的电子束不能通过长径比为规定值以上的孔，因此，电子束侧的真空度不能提高。本发明允许通过将样品放置在大气压或等效压力下来获得样品（31）的表面的观察图像，其中通过装备使离子束侧的真空度稳定具有高纵横比的差分排气口的离子束装置（325）。此外，离子束每次用于制造差分排气口（325），允许正常的高分辨率图像观察和在大气压或相当于其下的压力下进行图像观察。

3. 发明申请

WO2014185074A1 LEED FOR SEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2014185074A1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：PCT/JP2014/002556
申请日：2014-05-14
申请人： OKINAWA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY SCHOOL CORPORATION
发明人： SHINTAKE, Tsumoru
IPC分类号： H01J37/244 , G01N23/20 , H01J37/295
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/20 , H01J37/2955 , H01J2237/2449 , H01J2237/24578 , H01J2237/2544 , H01J2237/2803
摘要： A low energy electron diffraction (LEED) detection module (100) includes: a first vacuum chamber for receiving diffracted electrons from a specimen (109); a larger second vacuum chamber connected to the first vacuum chamber to receive the diffracted electrons that have been transported through the first vacuum chamber; a two-dimensional electron detector disposed in the second vacuum chamber to detect the diffracted electrons; a potential shield (106) disposed generally along an inner surface of the first vacuum chamber and an inner surface of the second vacuum chamber; a magnetic lens (105) to expand a beam of the diffracted electrons that have been transported through the first vacuum chamber towards the two-dimensional electron detector; and a generally plane-shaped energy filter (103) to repel electrons having an energy lower than the probe beam (203) of electrons that impinges on the specimen (109).
摘要翻译：低能电子衍射（LEED）检测模块（100）包括：用于从样品（109）接收衍射电子的第一真空室; 连接到第一真空室的较大的第二真空室，以接收已经传送通过第一真空室的衍射电子; 设置在第二真空室中以检测衍射电子的二维电子检测器; 大致沿第一真空室的内表面设置的电位屏蔽件（106）和第二真空室的内表面; 用于将已经通过第一真空室传送的衍射电子束朝向二维电子检测器扩大的磁性透镜（105）; 和大致平面状的能量过滤器（103），以排斥能量低于碰撞在试样（109）上的电子的探针光束（203）的能量的电子。

4. 发明申请

WO2013129147A1 走査電子顕微鏡审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜
公开(公告)号：WO2013129147A1
公开(公告)日：2013-09-06
申请号：PCT/JP2013/053786
申请日：2013-02-18
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：山崎　実 , 数見　秀之 , 笹氣　裕子 , 鈴木　誠
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/063 , H01J2237/15 , H01J2237/1501 , H01J2237/2449 , H01J2237/24495 , H01J2237/2814
摘要：　本発明は、走査電子顕微鏡において、軸外に角度制限用の開口を設けることなく、試料から放出される電子の角度弁別を行えるようにしたものである。　電子ビーム（１）の照射位置を偏向する偏向器（２５，２６）と、当該偏向器を制御する制御装置（４１）を備えた走査電子顕微鏡において、前記電子ビームの試料（２３）への照射によって得られる電子を検出する検出器（２８（ａ））と、当該検出器と前記偏向器との間に配置され、前記電子ビームの通過開口を有する開口形成部材（３１）と、前記試料から放出された電子を偏向する二次信号偏向器（３３（ａ），３３（ｂ））を備え、前記偏向器（２５，２６）の偏向制御に応じて、前記試料から放出される電子を前記電子ビームの通過開口に向かって偏向するように前記二次信号偏向器を制御するようにした。
摘要翻译：该扫描电子显微镜被配置为使得用于限制角度的开口不是离轴设置的，并且可能发生从样品发射的电子的角度辨别。包括偏转电子束（1）的照射位置的偏转器（25,26）和控制偏转器的控制装置（41）的扫描电子显微镜还包括：检测器（28（a）），其检测电子通过将电子束照射在样品（23）上获得; 开口形成构件（31），布置在所述检测器和所述偏转器之间，并且具有用于所述电子束的通道开口; 以及偏转从样品发射的电子的次级信号偏转器（33（a），33（b））。扫描电子显微镜被配置为使得根据偏转器（25,26）的偏转控制，控制辅助信号偏转器以使从样品发射的电子朝向电子束的通道开口偏转。

5. 发明申请

WO2013058077A1 走査電子顕微鏡审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜
公开(公告)号：WO2013058077A1
公开(公告)日：2013-04-25
申请号：PCT/JP2012/074924
申请日：2012-09-27
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：岡井　信裕 , 早田　康成 , 深谷　律雄 , 王　志剛
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/221 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/24578
摘要：任意の放出角度の反射電子を検出することのできる走査電子顕微鏡を提供するために、試料（１９）からの電子を検出することによって像を得る走査電子顕微鏡において、試料（１９）からの二次電子と反射電子とを弁別する制御電極（１８）と、反射電子の衝突によって二次電子を発生させる二次電子変換電極（１３）と、その二次電子を引き上げる引き上げ電極（１２）と、引き上げられた二次電子と試料（１９）からの反射電子を弁別するエネルギーフィルタ（１１）と、二次電子変換電極（１３）と引き上げ電極（１２）とエネルギーフィルタ（１１）への印加電圧の組み合わせを選択する制御演算手段（３６）とを有する。
摘要翻译：为了提供可以检测任何放电角的反射电子的扫描电子显微镜，通过从样品（19）检测电子而获得图像的扫描电子显微镜具有：鉴别来自样品的二次电子的控制电极（18）（19）和反射电子; 通过反射电子的撞击产生二次电子的二次电子转换电极（13）; 一个撤回电极（12）; 识别被抽出的二次电子和从样品（19）反射的电子的能量过滤器（11）; 以及选择施加到二次电子转换电极（13），抽出电极（12）和能量过滤器（11）的电压的组合的控制计算装置（36）。

6. 发明申请

WO2008087384A2 CHARGED PARTICLE ANALYSER AND METHOD 审中-公开
标题翻译：充电颗粒分析仪和方法
公开(公告)号：WO2008087384A2
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：PCT/GB2008000109
申请日：2008-01-14
申请人： OXFORD INSTR ANALYTICAL LTD , BARKSHIRE IAN RICHARD , STATHAM PETER JOHN , JACKA MARCUS
发明人： BARKSHIRE IAN RICHARD , STATHAM PETER JOHN , JACKA MARCUS
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/256 , H01J37/28 , H01J49/488 , H01J2237/053 , H01J2237/24415 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/24585 , H01J2237/2516
摘要： A charged particle analyser comprises a first non-imaging electrostatic lens for receiving charged particles having divergent, trajectories and for converting the said trajectories into substantially parallel trajectories. At least one planar filter is provided for receiving the charged particles having the substantially parallel trajectories and for filtering the charged particles in accordance with their respective energies. A second non-imaging electrostatic lens receives the energy filtered charged particles and selectively modifies their trajectories as a function of their energies. A charged particle detector then receives the charged particles in accordance with their selectively modified trajectories.
摘要翻译：带电粒子分析仪包括用于接收具有发散的轨迹的带电粒子并用于将所述轨迹转换成基本上平行的轨迹的第一非成像静电透镜。提供至少一个平面滤波器用于接收具有基本上平行的轨迹的带电粒子并根据它们各自的能量对带电粒子进行滤波。第二个非成像静电透镜接收能量过滤的带电粒子，并根据其能量选择性地修改其轨迹。带电粒子检测器然后根据它们选择性地修改的轨迹接收带电粒子。

7. 发明申请

WO2006015732A1 ELEKTRONENSTRAHLGERÄT 审中-公开
标题翻译： ELECTRON DEVICE
公开(公告)号：WO2006015732A1
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：PCT/EP2005/008216
申请日：2005-07-28
申请人： CARL ZEISS NTS GMBH , ESSERS, Erik , BENNER, Gerd , DREXEL, Volker
发明人： ESSERS, Erik , BENNER, Gerd , DREXEL, Volker
IPC分类号： H01J37/28
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2449
摘要： Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (10), mit einem Strahlerzeuger (11) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (4) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (9) und mindestens einem Detektor (19) zur Detektion von am Objekt (9) zurückgestreuten oder vom Objekt (9) emittierten Elektronen. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Elektronenstrahlgerät die Detektion von am Objekt zurückgestreuten Elektronen oder vom Objekt emittierten Elektronen zu vereinfachen und zu verbessern. Erfindungsgemäß sind hierzu Quadrupoleinrichtungen (7, 8) sowie bestimmte Anordnungen dieser Einrichtungen im Elektronenstrahlgerät (10) vorgesehen.
摘要翻译：本发明涉及一种电子束装置（10），用于聚焦所述电子束的物体上（9）和至少一个检测器（19），用于检测所述对象的产生电子束，物镜（4）的光束发生器（11）（9）反向散射或由物体（9）的电子发射。基于本发明的目的是简化在电子束设备，并改善从物体或电子反向散射的物体发射的电子的检测。在电子束装置（10）设置在该四极装置（7，8）和根据本发明的这些设备的特定配置。

8. 发明申请

WO01057910A1 OPTICAL COLUMN FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE 审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置的光学柱
公开(公告)号：WO01057910A1
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：PCT/EP2001/000931
申请日：2001-01-29
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/256 , H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/252
CPC分类号： H01J37/256 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/2449
摘要： The invention provides a miniaturized optical column for a charged particle beam apparatus for examining a specimen (14). Thereby, the column comprises a charged particle source (2) for providing a beam of charged particles (10); a lens system for guiding the beam of charged particles (10) from the source (2) onto the specimen (14); and a housing (40) which, during operation, is set on beam boost potential.
摘要翻译：本发明提供了一种用于检查样本（14）的带电粒子束装置的小型化光学柱。因此，柱包括用于提供带电粒子束（10）的带电粒子源（2）。用于将来自所述源（2）的带电粒子束（10）引导到所述样本（14）上的透镜系统; 以及在操作期间被设置为光束增强电位的壳体（40）。

9. 发明申请

WO2016104754A1 プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極、電極の再生方法、再生電極、プラズマエッチング装置、ガス導入孔の状態分布図及びその表示方法审中-公开
标题翻译：用于等离子体蚀刻装置的电极中提供的气体引入孔的方法，电极，电极再生方法，再生电极，等离子体蚀刻装置和气体介绍孔状态分布图和用于其的显示方法
公开(公告)号：WO2016104754A1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：PCT/JP2015/086349
申请日：2015-12-25
申请人：エーサット株式会社
发明人：鈴木　崇之
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32541 , H01J37/32082 , H01J37/32449 , H01J37/32532 , H01J37/32853 , H01J37/3288 , H01J37/32926 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , H01J37/3299 , H01J2237/2449 , H01J2237/334 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H05H1/46
摘要：　プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔を高精度に測定することができる測定方法及び精度の高いガス導入孔を備えた電極を提供すること。　本発明のプラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法は、プラズマエッチング装置用の電極における基材を厚さ方向に貫通するよう設けられたガス導入孔を測定する方法であって、基材の一方面側からガス導入孔に向けて光を照射する工程と、ガス導入孔を介して基材の他方面側に透過した光の２次元画像を取得する工程と、２次元画像に基づいてガス導入孔の径、内壁面の粗さ及び垂直度合いのうち少なくとも１つを測定する工程と、を備えたことを特徴とする。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种测量方法，通过该方法可以高精度地测量设置在等离子体蚀刻装置的电极中的气体导入孔，并且提供具有高精度的电极气体导入孔。这种测量设置在等离子体蚀刻装置用电极中的气体导入孔的方法是测量以等离子体蚀刻用电极的基材的厚度方向贯穿的方式设置的气体导入孔的方法装置，其特征在于具有：从所述基板的一个表面侧向所述气体导入孔照射光的工序; 获取已经通过所述气体导入孔的光的二维图像到所述基板的另一面的步骤; 以及基于二维图像测量气体导入孔的直径，内壁表面粗糙度和垂直度中的至少一个的步骤。

10. 发明申请

WO2013026537A3 DEVICE AND METHOD FOR MEASURING THE BEAM DEFLECTION BY MEANS OF FREQUENCY ANALYSIS 审中-公开
标题翻译：设备和方法测量梁的挠度进行频率分析
公开(公告)号：WO2013026537A3
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：PCT/EP2012003414
申请日：2012-08-09
申请人： UNIV REGENSBURG , ZWECK JOSEF
发明人： ZWECK JOSEF
IPC分类号： H01J37/244 , G02B21/00 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/244 , G02B21/0024 , G02B21/008 , H01J37/26 , H01J2237/223 , H01J2237/24455 , H01J2237/2449 , H01J2237/24495 , H01J2237/2802
摘要： The invention relates to a device for determining a deflection of the test beam (12) caused by interaction with a sample (10), comprising an oscillator unit (28) that periodically deflects the test beam and a detector unit (24) relative to one another. The detector unit is designed in such a way that the sensitive surface of the detector covered by the test beam and thus the corresponding measurement signal changes in a non-linear manner as a function of the deflection in the event of relative deflection of the test beam and of the detector unit. An evaluation of the detector signal on the basis of a Fourier spectral analysis and the theory of second harmonics generation then enables the definition of the smallest beam shifts caused by interaction with the sample having high dynamics. In an alternative design, instead of the beam deflection the effect of the sample to be measured is periodically modulated.
摘要翻译：一种用于确定与样品（10）相互作用的结果设备引起探测束（12）的偏转包括振荡器单元（28），其周期性地偏转探测光束和一个检测器单元（24）相对于彼此。所述检测器单元被布置成使得由所述检测器单元并且在探测光束的相对偏转相应的测量信号和所述检测器单元的探测光束敏感表面覆盖的区域不作为偏转的函数线性变化。傅立叶频谱分析和二次谐波生成的理论的基础上检测器信号的评估然后使得能够通过与具有高动力学采样光束位移相互作用诱导的最小的判定。在一个替代实施例中，代替光束偏转是样品的测量的效果进行周期性调制。

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