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1. 发明申请

WO2022262809A1 一种基于空间点面关系测量隧道管片横断面平整度计算方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022262809A1
公开(公告)日：2022-12-22
申请号：PCT/CN2022/099164
申请日：2022-06-16
申请人：中交疏浚技术装备国家工程研究中心有限公司
发明人：缪袁泉 , 宋伟浩 , 张红升 , 徐庆 , 庞景墩 , 何彦行 , 吴易 , 周剑东
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/02
摘要：一种基于空间点面关系测量隧道管片横断面平整度计算方法，步骤为：安装：若干激光位移传感器安装于盾构机推进油缸装配平面，各传感器发射激光束与油缸轴线平行、与推进油缸装配平面垂直，且指向待测的管环端面；设：各激光位移传感器激光所在直线与推进油缸装配平面的交点称为基点P i，与待测的管环端面形成交点称为测量点P' i；各基点对应空间坐标用P i(x i,y i,z i)表示；各测量点对应空间坐标用P i'(x i',y i',z i')表示；后盾体轴线向量n 后盾体＝(x n,y n,z n)；处理过程：初次拟合获取的平面称为基准平面，用α 0表示；平移基准平面α 0至校正位置所得平面称为校准平面，用α 1表示；各测量点与基准平面α 0距离用Δd i表示，各测量点与校准平面α 1距离用d i表示。

2. 发明申请

WO2022260028A1 外観検査装置、外観検査方法、画像生成装置および画像生成方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022260028A1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：PCT/JP2022/022903
申请日：2022-06-07
申请人：日立Ａｓｔｅｍｏ株式会社
发明人：小野塚　英明 , 井上　真一 , 今泉　貴正 , 林　裕之
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30
摘要：外観検査装置は、被検査物の表面を撮像する撮像部と、撮像部に対する被検査物の姿勢を変化させる姿勢制御部と、不良品サンプル画像を用いて機械学習させた学習結果が記憶された記憶部であって、不良品サンプル画像は、予め設定された姿勢角になるように傾けられた被検査物に相当する三次元データを参照して求められた合成位置で、被検査物の良品画像に予め用意された欠陥部画像を合成して生成される、記憶部と、撮像部によって姿勢角で撮像された撮像画像と、学習結果と、に基づいて、被検査物の表面を検査する検査部とを備える。

3. 发明申请

WO2022209709A1 画像処理装置、画像処理方法及び画像処理プログラム审中-公开
公开(公告)号：WO2022209709A1
公开(公告)日：2022-10-06
申请号：PCT/JP2022/010616
申请日：2022-03-10
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：菊池　浩明
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/30 , G06T7/00 , G01N21/88
摘要：損傷の正確なサイズを簡単に計測できる画像処理装置、画像処理方法及び画像処理プログラムを提供する。画像処理装置は、被写体を複数の視点から撮影範囲を重複させて撮影した複数の画像を取得する処理と、取得した複数の画像から被写体の表面の損傷を検出する処理と、特徴点の３次元の点群データを生成する処理と、生成した点群データに基づいて被写体の３次元パッチモデルを生成する処理と、取得した複数の画像の中から３次元パッチモデルの各パッチに対応する画像を選出する処理と、選出した画像においてパッチに対応する領域における損傷のサイズを計測する処理と、損傷のサイズの計測結果の補正に必要な補正情報を生成する処理と、生成した補正情報に基づいて、損傷のサイズの計測結果を補正する処理と、を行う。

4. 发明申请

WO2022189250A1 MEASURING APPARATUS AND METHOD FOR ROUGHNESS AND/OR DEFECT MEASUREMENT ON A SURFACE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022189250A1
公开(公告)日：2022-09-15
申请号：PCT/EP2022/055393
申请日：2022-03-03
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： VON FINCK, Alexander , HALM, Simon , MARKEL, Ingo , NEUMANN, Maciej
IPC分类号： G01B11/30 , H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/683 , G01N21/47 , G01N21/88
摘要： A measuring apparatus (100) which is configured for roughness and/or defect measurement on a plurality of surface sections (2) of a surface of a sample (1) to be investigated comprises an illumination device (10) having at least two light sources (11A, 11B, 11C, 11D) which are arranged for illuminating a measuring region (3) of the surface with measuring light, a detector device (20) having a detector array (21) with a plurality of detector pixels which are arranged for capturing scattered light scattered at the surface, and an evaluation device (30) which is configured for determining at least one roughness feature of the surface, from the captured scattered light, the at least two light sources (11A, 11B, 11C, 11D) being configured for illuminating the measuring region (3) along at least two illumination beam paths (LA, LB, LC, LD) at different angles of incidence relative to a surface normal of the surface, the at least two light sources (11A, 11B, 11C, 11D) being able to be fixed with respect to the detector device (20), the detector device (20) being provided with imaging optics (22) arranged for imaging the measuring region (3) of the surface on the detector array (21), the detector device (20) being configured for detecting at least two scattered light images (4A, 4B, 4C, 4D) of surface sections (2) in the illuminated measuring region (3) at a predetermined viewing angle relative to the surface normal of the surface, portions of the scattered light received by the detector pixels, which portions are formed in each case by the illumination in one of the illumination beam paths (LA, LB, LC, LD), in each case having a common spatial frequency, and the evaluation device (30) being configured for determining the at least one roughness feature of the surface sections (2) from the at least two scattered light images (4A, 4B, 4C, 4D). A method for roughness and/or defect measurement is also described.

5. 发明申请

WO2022177570A1 HYBRID ANALOG AND DIGITAL COMPUTATIONAL SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2022177570A1
公开(公告)日：2022-08-25
申请号：PCT/US2021/018709
申请日：2021-02-19
申请人： UNIVERSITY OF CENTRAL FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC.
发明人： PANG, Shuo , LI, Guifang , ZHU, Zheyuan
IPC分类号： G01B11/30 , G06F7/38 , H04L9/00
摘要： A hybrid analog and digital computational system is created by receiving equations in which a set of solution values is unknown. A residual iterative algorithm is implemented to solve the set of solution values for the equations. The residual iterative algorithm includes an outer update loop computed using a digital computing device with a set of residue values initially set to a first initial value and a set of solution update values set to a second initial value. The residual iterative algorithm includes an inner residual loop, which is iteratively computed using an analog accelerator until one or more inner residual loop stopping criteria is met and returning the set of solution update values. Next, the set of solution updates are used to update the set of residue values and a range of a next set of solution update values, thereby adjusting a computational precision of the inner residual loop.

6. 发明申请

WO2022157310A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERSTELLEN AUSSAGEKRÄFTIGER SCHNITTKANTENBILDER 审中-公开
公开(公告)号：WO2022157310A1
公开(公告)日：2022-07-28
申请号：PCT/EP2022/051346
申请日：2022-01-21
申请人： TRUMPF WERKZEUGMASCHINEN GMBH + CO. KG , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： TATZEL, Leonie Felica , OTTNAD, Jens , STAHL, Janek , JAUCH, Christian
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/30
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zur Analyse einer Schnittkante (12) eines Werkstücks (14). Das Werkstück (14) kann in einem Werkstückhalter gehalten werden, um die Schnittkante (12) mit einer ersten Lichtquelle (24) in einem spitzen Winkel (w1) zu beleuchten. Die Beleuchtung durch die erste Lichtquelle (24) erfolgt vorzugsweise bis auf wenige Grad parallel oder antiparallel zur Schnittrichtung (16) der Schnittkante (12). Die erste Lichtquelle (24) ist dabei vorzugsweise parallel versetzt zur Werkstückebene (18) angeordnet. Mit anderen Worten erfolgt die Beleuchtung durch die erste Lichtquelle (24) in einem spitzen Winkel (w1) zu einer Ebene, die sich senkrecht zur Werkstückebene (18) in Richtung der Längsachse der Schnittkante (12) erstreckt. Die erste Lichtquelle 24 ist dabei vorzugsweise parallel versetzt zur Werkstückebene (18) angeordnet. Die Vorrichtung (10) weist eine Kamera (20) auf, deren optische Achse (34) sich vorzugsweise in der Werkstückebene (18) erstreckt. Ein Rechner kann einen Algorithmus, insbesondere mit einem neuronalen Netz, aufweisen, um mit der Kamera (20) erstellte Schnittkantenbilder zu analysieren. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Analyse der Schnittkante (12), insbesondere mit einer solchen Vorrichtung (10).

7. 发明申请

WO2022115815A1 RECOVERING MATERIAL PROPERTIES WITH ACTIVE ILLUMINATION AND CAMERA ON A ROBOT MANIPULATOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2022115815A1
公开(公告)日：2022-06-02
申请号：PCT/US2021/071700
申请日：2021-10-04
申请人： X DEVELOPMENT LLC
发明人： SATAT, Guy
IPC分类号： G01B11/25 , G01B11/30 , G01N21/31 , G01N21/55 , G01N21/17 , G06N3/08
摘要： A method includes identifying a target surface in an environment of a robotic device. The method further includes controlling a moveable component of the robotic device to move along a motion path relative to the target surface, wherein the moveable component comprises a light source and a camera. The method additionally includes receiving a plurality of images from the camera when the moveable component is at a plurality of poses along the motion path and when the light source is illuminating the target surface. The method also includes determining bidirectional reflectance distribution function (BRDF) image data, wherein the BRDF image data comprises the plurality of images converted to angular space with respect to the target surface. The method further includes determining, based on the BRDF image data and by applying at least one pre-trained machine learning model, a material property of the target surface.

8. 发明申请

WO2022113934A1 表面粗さ測定装置、及び、表面粗さ測定方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022113934A1
公开(公告)日：2022-06-02
申请号：PCT/JP2021/042806
申请日：2021-11-22
申请人：株式会社堀場製作所
发明人：長岡　英一
IPC分类号： G01B11/30
摘要：本発明は、測定対象面での正反射光が別の照明部で反射されることで生じる測定誤差を低減するものであり、照度差ステレオ法を用いて測定対象面の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置１００であって、測定対象面Ｗを撮像する撮像部２と、撮像部２に測定対象面Ｗを結像させる光学レンズ３と、測定対象面Ｗに光を照射する３つ以上の照明部４ａ～４ｅとを備え、照明部４ａ～４ｅそれぞれは、光学レンズ３の光軸方向から視たときに互いに向かい合わない位置に配置されている。

9. 发明申请

WO2022037487A1 一种板材平面度在线检测装置审中-公开
公开(公告)号：WO2022037487A1
公开(公告)日：2022-02-24
申请号：PCT/CN2021/112456
申请日：2021-08-13
申请人：泰安华鲁锻压机床有限公司
发明人：张红伟 , 梁涛 , 孔德文 , 赵旭 , 李玲玉 , 卢保强 , 吕品
IPC分类号： G01B11/30
摘要：一种板材平面度在线检测装置，包括检测装置（1）和置于检测装置（1）下方的检测平台（2），检测装置（1）包括架体（3），架体（3）在横向和纵向方向分别布置若干激光测距仪（4），检测平台（2）包括底座（5），底座（5）上部开设有若干凹槽（6），凹槽（6）上方分别对应设有辊筒（7），辊筒（7）安装于升降架体（8）上，底座（5）两侧分别设有若干组对中推板（9）。可实现对经板料矫平机矫平后的板材进行在线检测，检测方式为非接触式检测，检测结果更加精确；检测过程无需附加吊装动作，自动化程度高，检测结果能自动反馈矫平机控制系统。

10. 发明申请

WO2021223956A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION DER OBERFLÄCHE EINES SPIEGELS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021223956A1
公开(公告)日：2021-11-11
申请号：PCT/EP2021/059218
申请日：2021-04-08
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , KRAEHMER, Daniel , STIRNER, Steffen , JOSEPH-HAENLE, Manuel , FREYTAG, Alexander , SCHMIED, Daniel , EISERT, Frank
发明人： KRAEHMER, Daniel , STIRNER, Steffen , JOSEPH-HAENLE, Manuel , FREYTAG, Alexander , SCHMIED, Daniel , EISERT, Frank
IPC分类号： G01M11/00 , G01B11/30 , G01B21/30 , G01M11/02 , G01N21/88 , G01N21/95
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Inspektion der Oberfläche eines Spiegels, insbesondere für die Mikrolithographie. Ein erfindungsgemäßes Verfahren weist folgende Schritte auf: Durchführen wenigstens einer Rauheitsmessung an der Oberfläche des Spiegels, und automatisches Bewerten von bei dieser Rauheitsmessung erhaltenen Messdaten auf Basis eines Modells, wobei dieses Modell unter Verwendung einer Methode der künstlichen Intelligenz erzeugt wird, wobei in einer Lernphase ein Trainieren des Modells anhand einer Vielzahl von Trainingsdaten erfolgt, wobei die Trainingsdaten jeweils Messdaten von zuvor durchgeführten Rauheitsmessungen sowie diesen Messdaten zugeordnete Bewertungen umfassen.

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