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    • 4. 发明申请
    • BAND EXCITATION METHOD APPLICABLE TO SCANNING PROBE MICROSCOPY
    • 带状激发法适用于扫描探针显微镜
    • WO2008027601A2
    • 2008-03-06
    • PCT/US2007/019339
    • 2007-09-04
    • UT-BATTELLE, LLCJESSE, StephenKALININ, Sergei, V.
    • JESSE, StephenKALININ, Sergei, V.
    • G01Q10/06G01Q30/04G01Q60/32
    • G01Q20/00B82Y35/00G01Q10/06G01Q30/04G01Q60/32
    • Methods and apparatus are described for scanning probe microscopy. A method includes generating a band excitation (BE) signal having finite and predefined amplitude and phase spectrum in at least a first predefined frequency band; exciting a probe using the band excitation signal; obtaining data by measuring a response of the probe in at least a second predefined frequency band; and extracting at least one relevant dynamic parameter of the response of the probe in a predefined range including analyzing the obtained data. The BE signal can be synthesized prior to imaging (static band excitation), or adjusted at each pixel or spectroscopy step to accommodate changes in sample properties (adaptive band excitation). An apparatus includes a band excitation signal generator; a probe coupled to the band excitation signal generator; a detector coupled to the probe; and a relevant dynamic parameter extractor component coupled to the detector, the relevant dynamic parameter extractor including a processor that performs a mathematical transform selected from the group consisting of an integral transform and a discrete transform.
    • 描述了用于扫描探针显微镜的方法和设备。 一种方法包括:在至少第一预定义频带中生成具有有限且预定义的幅度和相位频谱的频带激励(BE)信号; 使用频带激励信号激发探针; 通过在至少第二预定义频带中测量探针的响应来获得数据; 以及在预定范围内提取探针的响应的至少一个相关动态参数,包括分析所获得的数据。 BE信号可以在成像之前合成(静态带激发),或者在每个像素或光谱步骤处调整以适应样品属性(自适应带激发)的变化。 一种装置包括频带激励信号发生器; 耦合到频带激励信号发生器的探针; 耦合到探针的检测器; 以及耦合到所述检测器的相关动态参数提取器组件,所述相关动态参数提取器包括执行从包括积分变换和离散变换的组中选择的数学变换的处理器。
    • 5. 发明申请
    • MAGNETIC SENSING OF MOTION IN MICROFABRICATED DEVICES
    • 微型装置运动的磁感测
    • WO01020616A1
    • 2001-03-22
    • PCT/IB2000/001256
    • 2000-09-06
    • G01B7/00B81B3/00G01B7/14G01B7/34G01D5/14G01N27/00G01Q20/00G01R33/06G11B9/00G11B21/21G12B21/08G12B21/04
    • G01Q20/00G11B9/1418G11B21/21
    • A magnetic sensing unit for measuring displacements on a nanometer scale is disclosed. For that, a moveable part and a fixed part of a microdevice comprises a magnetic element having a magnetic field and a magnetic sensor. The magnetic element being located on the moveable part and the magnetic sensor on the fixed part, or the magnetic sensor being located on the moveable part and the magnetic element on the fixed part, the magnetic sensor and/or the magnetic element being an integral part of the microdevice. The magnetic element and the magnetic sensor being arranged relative to each other such that when the moveable part is displaced the change of the magnetic field at the magnetic sensor is detectable by use of the magnetic sensor. Applications are the deflection detection of the cantilever of a scanning probe microscope or in a flying head of a storage device.
    • 公开了一种用于测量纳米尺度位移的磁感测单元。 为此,微型装置的可移动部件和固定部件包括具有磁场的磁性元件和磁性传感器。 磁性元件位于可动部件上,磁传感器位于固定部件上,或者磁性传感器位于可移动部件上,而磁性元件位于固定部件上,磁性传感器和/或磁性元件是一体的部分 的微型设备。 磁性元件和磁性传感器相对于彼此布置,使得当可移动部件移位时,通过使用磁性传感器可以检测磁性传感器处的磁场变化。 应用是扫描探针显微镜或存储装置的飞头中的悬臂的偏转检测。
    • 6. 发明申请
    • 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ検鏡法
    • 扫描探针显微镜和扫描探针显微镜
    • WO2014162858A1
    • 2014-10-09
    • PCT/JP2014/057158
    • 2014-03-17
    • オリンパス株式会社
    • 酒井 信明
    • G01Q60/32
    • G01Q20/00G01Q60/32
    •  走査型プローブ顕微鏡は、加振信号に基づいてカンチレバー(12)を振動させる加振部(14)と、カンチレバー(12)の変位を表す変位信号を出力する変位検出部(15)と、加振信号と変位信号の位相差に位相オフセットを与える位相調整部(30)と、加振信号と変位信号の位相差と位相オフセットの情報を含む位相信号を生成する位相信号生成部と、位相信号に基づいてプローブ(11)と試料(19)の間の距離を制御するコントローラ(25)を備えている。位相調整部(30)は、プローブ(11)と試料(19)が接触していない状態において存在する初期位相差をキャンセルする第一の位相量と、(0[rad])以上かつ(π/2[rad])以下の第二の位相量を合算して位相オフセットとして位相差に与える。
    • 扫描探针显微镜具备:基于振动激励信号振动悬臂(12)的振动激励单元(14); 位移检测单元(15),用于输出指示悬臂(12)的位移的位移信号; 相位调整单元,用于对振动激励信号和位移信号之间的相位差施加相位偏移; 相位信号产生单元,用于产生包括与振动激励信号和位移信号之间的相位差有关的信息和相位偏移的相位信号; 以及用于根据相位信号控制探头(11)和样品(19)之间的距离的控制器(25)。 相位调整单元(30)将第一相位量相加以消除在探针(11)和样本(19)彼此不接触的状态下存在的初始相位差,并且相位调整单元 0到&pgr; / 2 [rad],并将其结果作为相位偏移应用于相位差。