专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2016051660A1 貼り合わせ不良部の検出方法及び検査システム审中-公开
标题翻译：检测不良接合部分和检查系统的方法
公开(公告)号：WO2016051660A1
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：PCT/JP2015/004394
申请日：2015-08-31
申请人：信越半導体株式会社
发明人：原田　敬
IPC分类号： H01L33/00 , G01N21/958
CPC分类号： H01L22/12 , G01N21/88 , G01N21/9505 , G01N2021/8438 , G06T7/0004 , G06T2207/30152 , H01L21/681 , H01L21/6836 , H01L22/20 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L27/14636 , H01L33/00 , H01L2221/68327
摘要：　本発明は、発光層を有する化合物半導体からなる第１の透明基板と、化合物半導体からなる第２の透明基板とを貼り合わせた化合物半導体ウェーハから個片化された化合物半導体チップの貼り合わせ不良部の検出方法であって、同軸落斜照明の光を前記化合物半導体チップに照射し、前記化合物半導体チップの貼り合わせ不良部からの反射光の色を識別し、前記貼り合わせ不良部を検出することを特徴とする貼り合わせ不良部の検出方法である。これにより、化合物半導体からなる２枚の透明基板を直接接合により貼り合わせた化合物半導体ウェーハを個片化した化合物半導体チップの貼り合わせ界面の貼り合わせ不良部を、精度よく検出できる貼り合わせ不良部の検出方法が提供される。
摘要翻译：本发明是一种检测由化合物半导体晶片形成的化合物半导体芯片中的不良接合部分的方法，该化合物半导体晶片是通过将由具有发光层的化合物半导体构成的第一透明基板和由化合物半导体构成的第二透明基板接合而形成的。该方法的特征在于用化合物半导体芯片对由化合物半导体芯片的不良接合部反射的光的颜色进行了同轴的外照射光照射化合物半导体芯片，并且检测出不良的接合部。通过这样做，能够高精度地检测从通过直接接合由两个透明基板构成的两个透明基板形成的化合物半导体晶片上形成的化合物半导体芯片的接合界面处的不良接合部分的差接合部分检测方法提供化合物半导体。

2. 发明申请

WO2015197555A1 ANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG VON EIGENSCHAFTEN UND/ODER PARAMETERN EINER PROBE UND/ODER MINDESTENS EINER AUF ODER AN EINER OBERFLÄCHE EINER PROBE AUSGEBILDETEN SCHICHT 审中-公开
标题翻译：安排确定和/或至少一个ON或一个经过培训的样本层的表面性能和/或参数的样本的
公开(公告)号：WO2015197555A1
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：PCT/EP2015/063984
申请日：2015-06-22
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： GRÄHLERT, Wulf , WOLLMANN, Philipp , GRUBER, Florian
IPC分类号： G01N21/55 , G01N21/59 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/0625 , G01N21/21 , G01N21/31 , G01N2021/8438
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Bestimmung von Eigenschaften und/oder Parametern einer Probe und/oder mindestens einer auf einer Oberfläche einer Probe ausgebildeten Schicht. Dabei sind mehrere Detektoren, die zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind, in einer Reihen oder einer Reihen- und Spaltenanordnung angeordnet. Die Detektoren sind mit einer elektronischen Auswerteeinheit verbunden und so angeordnet, dass von einer breitbandigen Strahlungsquelle emittierte elektromagnetische Strahlung entweder nach einer Reflexion an der Oberfläche der Probe, einer auf der Probe ausgebildeten Schicht oder an der Oberfläche einer Schicht innerhalb der Probe und/oder nach dem Durchstrahlen einer für die elektromagnetische Strahlung transparenten Probe auf die Detektoren auftrifft. Die Bestrahlung erfolgt so, dass auf einer Fläche, von der die elektromagnetische Strahlung reflektiert oder durch die Fläche transmittiert wird, eine homogene Intensität der elektromagnetischen Strahlung eingehalten ist. Die elektronische Auswerteeinheit ist so ausgebildet, dass die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls mit einem durch Simulation erhaltenen theoretischen wellenlängenabhängigen Verlauf der jeweiligen Strahlungsintensitäten oder einem durch eine Kalibrierung an mindestens einer bekannten Probe erhaltenen Verlauf verglichen werden, um eine Aussage zur Bestimmung mindestens einer Eigenschaft oder mindestens eines Parameters der Probe oder mindestens einer auf oder an der Probe ausgebildeten Schicht für die erfassten Messpositionen und somit die ortsaufgelöste Verteilung mindestens einer Eigenschaft oder mindestens eines Parameters der Probe oder mindestens einer auf oder an der Probe ausgebildeten Schicht zu erhalten.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测定样品和/或形成的样品的表面上的至少一个层的特性和/或参数的装置。在此，多个检测器，其被设计为一个波长区间内的电磁辐射的空间解析光谱分析的，布置成串联或行和列阵列。该检测器被连接到电子评估单元和布置在从宽带辐射源的电磁辐射发射的，使得光无论是样品的表面，所形成的样品层上或在样品内的层的表面和/或之后的层上反射后通过爆破透明的电磁辐射入射在样品上的检测器的方式进行。照射进行，使得在表面上，其中反射的电磁辐射，或通过表面传输时，电磁辐射的均匀的强度是观察。该电子评估单元被设计为使得与至少一个已知样品通过校准获得由模拟的理论波长依赖性过程的各个辐射强度而得到的值，或一个波形的波长间隔内的检测器的位置 - 和波长分辨检测到的测量信号进行比较，以对一个语句以得到确定至少一个特性或所述样品的至少一个参数或至少一个或形成有用于检测的测量位置上的样品层上，因此至少一个特性或所述样品的至少一个参数或至少一个或形成的样品层上的空间解析分布，

3. 发明申请

WO2015099710A1 SPATIALLY-RESOLVED MONITORING OF FABRICATION OF INTEGRATED COMPUTATIONAL ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：集成计算元素制造的空间分辨监测
公开(公告)号：WO2015099710A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/US2013/077688
申请日：2013-12-24
申请人： HALLIBURTON ENERGY SERVICES, INC.
发明人： PERKINS, David L. , FREESE, Robert Paul , JONES, Christopher Michael , GARDNER, Richard Neal
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/41 , G01B11/06
CPC分类号： G01N21/41 , C23C14/22 , G01B11/06 , G01B11/0625 , G01N21/211 , G01N21/31 , G01N21/8422 , G01N2021/4126 , G01N2021/8416 , G01N2021/8438 , G01N2201/12
摘要： Techniques include receiving a design of an integrated computational element (ICE) including specification of a substrate and multiple layers, their respective target thicknesses and complex refractive indices, complex refractive indices of adjacent layers being different from each other, and a notional ICE fabricated based on the ICE design being related to a characteristic of a sample; forming at least some of the layers of a plurality of ICEs in accordance with the ICE design, where the ICEs' layers are moved along a direction of motion during the forming; measuring characteristics of probe-light that interacts with formed ICEs' layers such that the measured characteristics are spatially-resolved along a first direction orthogonal to the direction of motion; determining, based on the spatially-resolved characteristics, complex refractive indices and thicknesses of the formed ICE layers as a function of the ICEs' location along the first direction; adjusting the forming based on the determinations.
摘要翻译：技术包括接收包括衬底和多层的规格，它们各自的目标厚度和复合折射率，相邻层的复折射率彼此不同的综合计算元件（ICE）的设计，以及基于 ICE设计与样本的特征有关; 根据ICE设计形成多个ICE的至少一些层，其中ICE层在成形期间沿着运动方向移动; 测量与形成的ICE层相互作用的探测光的特性，使得测量的特征沿着与运动方向正交的第一方向被空间分辨; 基于空间分辨特性，确定形成的ICE层的复折射率和厚度作为沿着第一方向的ICE位置的函数; 根据测定调整成型。

4. 发明申请

WO2012123947A2 METHOD AND APPARATUS FOR MORPHOLOGICAL ANALYSIS 审中-公开
标题翻译：方法和装置的形态分析
公开(公告)号：WO2012123947A2
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：PCT/IL2012/050091
申请日：2012-03-14
申请人： G & D INNOVATIVE ANALYSIS, LTD. , AIZENBERG, Gustavo , PINCU, David
发明人： AIZENBERG, Gustavo , PINCU, David
IPC分类号： A61B3/00 , A61B5/00 , G01B11/06 , G01N21/00
CPC分类号： G01B11/24 , A61B3/102 , A61B3/103 , A61B5/0066 , G01B11/06 , G01N21/4133 , G01N21/45 , G01N21/8422 , G01N2021/8438
摘要： An apparatus arranged to analyze a structure, the apparatus comprising: a control unit; a light source arranged to irradiate a target area of the structure; and a light detector in communication with said control unit, and arranged to detect said irradiated light from said light source after interaction with the target area, said control unit arranged to: transform amplitudes of the detected light to the optical thickness domain, said transform comprising a bilinear transform; determine morphological information of the target area responsive to said performed transform. The determined morphological information is optionally displayed within a three dimensional view of the target area.
摘要翻译：一种被配置为分析结构的装置，所述装置包括：控制单元; 布置成照射所述结构的目标区域的光源; 以及与所述控制单元通信的光检测器，并被布置成在与所述目标区域相互作用之后检测来自所述光源的所述照射光，所述控制单元被布置成：将检测到的光的振幅变换到所述光学厚度域，所述变换包括双线性变换响应于所述执行的变换来确定目标区域的形态信息。所确定的形态信息可选地显示在目标区域的三维视图内。

5. 发明申请

WO2010086377A2 METHOD FOR MEASURING AND METHOD FOR VIEWING A WAVE SURFACE USING SPECTROPHOTOMETRY 审中-公开
标题翻译：用于使用分光光度法测量波表面的方法和方法
公开(公告)号：WO2010086377A2
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/EP2010051009
申请日：2010-01-28
申请人： COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE , PIOMBINI HERVE
发明人： PIOMBINI HERVE
IPC分类号： G01J9/00
CPC分类号： G01J9/00 , G01J3/42 , G01N21/95 , G01N2021/8438 , G01N2021/9511 , G02B5/285
摘要： The invention relates to a method for measuring a wave surface of an optical component consisting of a stack of at least two layers with different refractive indices based on reflection or transmission measurements of points located on one surface of said optical component.
摘要翻译：本发明涉及一种用于基于位于所述光学部件的一个表面上的点的反射或透射测量来测量由具有不同折射率的至少两层的叠层组成的光学部件的波面的方法。

6. 发明申请

WO2008013909A3 MULTIPLE MEASUREMENT TECHNIQUES INCLUDING FOCUSED BEAM SCATTEROMETRY FOR CHARACTERIZATION OF SAMPLES 审中-公开
标题翻译：多种测量技术，包括用于表征样品的聚焦束测量技术
公开(公告)号：WO2008013909A3
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/US2007016842
申请日：2007-07-27
申请人： RUDOLPH TECHNOLOGIES INC , WOLF ROBERT GREGORY , KOTELYANSKII MICHAEL J
发明人： WOLF ROBERT GREGORY , KOTELYANSKII MICHAEL J
IPC分类号： G01B11/14
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/24 , G01N21/47 , G01N21/9501 , G01N2021/213 , G01N2021/214 , G01N2021/8438
摘要： A system for monitoring thin-film fabrication processes is herein disclosed. Diffraction of incident light is measured and the results are compared to a predictive model based on at least one idealized or nominal structure. The model and/or the measurement of diffracted incident light may be modified using the output of one or more additional metrology systems.
摘要翻译：这里公开了一种用于监测薄膜制造工艺的系统。测量入射光的衍射，并将结果与基于至少一个理想化或名义结构的预测模型进行比较。衍射入射光的模型和/或测量可以使用一个或多个附加测量系统的输出来修改。

7. 发明申请

WO2005052509A1 SYSTEM AND METHOD FOR COUNTING THE NUMBER OF LAYERS OF A MULTILAYER OBJECT BY MEANS OF ELECTROMAGNETIC WAVES 审中-公开
标题翻译：通过电磁波计算多层物体层数的方法和系统
公开(公告)号：WO2005052509A1
公开(公告)日：2005-06-09
申请号：PCT/JP2004/017670
申请日：2004-11-22
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA , MIYAZAKI, Jungo , OUCHI, Toshihiko
发明人： MIYAZAKI, Jungo , OUCHI, Toshihiko
IPC分类号： G01B15/02
CPC分类号： G01B15/02 , G01N21/3563 , G01N21/3581 , G01N21/41 , G01N21/8422 , G01N2021/8438
摘要： A system or method is adapted for counting the number of layers of a multilayer object such as a stuck of paper. An electromagnetic wave is caused to strike the surface of the multilayer object. Signals of the waves generated by reflection at the respective interfaces of the layers are evaluated to count the number of layers. Alternatively, the phase of the electromagnetic wave transmitted through the multilayer object, is evaluated to determine the number of layers. It is proposed to use frequencies from 30 GHz to 100 THz, ie. microwaves, millimeter waves and infrared waves.
摘要翻译：系统或方法适用于计数多层物体的层数，例如卡纸。引起电磁波撞击多层物体的表面。评估通过层的相应界面处的反射产生的波的信号以计数层数。或者，评估透过多层物体的电磁波的相位来确定层数。建议使用30 GHz至100 THz的频率，即。微波，毫米波和红外波。

8. 发明申请

WO2016203049A1 CHARACTERIZATION OF MULTILAYER STRUCTURES 审中-公开
标题翻译：多层结构的表征
公开(公告)号：WO2016203049A1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：PCT/EP2016/064208
申请日：2016-06-20
申请人： VRIJE UNIVERSITEIT BRUSSEL
发明人： POURKAZEMI, Ali , STIENS, Johan
IPC分类号： G01N22/00 , G01N21/3581
CPC分类号： G01N21/55 , G01N21/3581 , G01N22/00 , G01N2021/8438
摘要： A method for determining characteristics of a layer-based structure is disclosed. The method comprises repetitively irradiating the layer-based structure with a transient continuous wave electromagnetic radiation and capturing as a function of time a transient part of the reflection or transmission of the transient continuous wave electromagnetic radiation reflected at or transmitted through the different interfaces of layer-based structure. The method furthermore comprises deriving from the transient part of the reflected or transmitted transient continuous wave electromagnetic radiation as function of time information regarding different contributions in the transient part of the reflected or transmitted transient continuous wave electromagnetic radiation stemming from the reflections at different interfaces of the layer-based structure and determining from said information at least geometric information and/or electromagnetic properties of the different layers of the layer based structure. A corresponding system also is claimed.
摘要翻译：公开了一种确定基于层的结构特征的方法。该方法包括用瞬态连续波电磁辐射重复地照射基于层的结构，并且作为时间的函数捕获瞬时连续波电磁辐射的反射或透射的瞬时部分，反射或透过层间结构的不同界面，基础结构。该方法还包括从反射或传输的瞬态连续波电磁辐射的瞬态部分中导出，作为时间信息的函数，该时间信息关于来自反射或传输的瞬态连续波电磁辐射的瞬态部分中的不同贡献，基于层的结构，并且从所述信息确定基于层的结构的不同层的至少几何信息和/或电磁特性。还要求对应的系统。

9. 发明申请

WO2016139233A1 ANORDNUNG ZUR ORTSAUFGELÖSTEN BESTIMMUNG DES SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS UND/ODER DER SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN LEITFÄHIGKEIT VON PROBEN 审中-公开
标题翻译：安排电阻率和/或样品的比电导率的局部分辨地确定
公开(公告)号：WO2016139233A1
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：PCT/EP2016/054398
申请日：2016-03-02
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： WOLLMANN, Philipp , GRAEHLERT, Wulf , WEISSENBORN, Eric
IPC分类号： G01N21/84 , G01R27/26
CPC分类号： G01N21/8422 , G01N2021/8438 , G01R27/2682
摘要： Anordnung zur ortsaufgelösten Bestimmung des spezifischen elektrischen Widerstandes und/oder der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit einer Probe an unterschiedlichen Positionen, bei der mehrere Detektoren zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind. Eine Fläche der Probe wird mit homogener Intensität bestrahlt. Die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls werden für jede erfasste Position mit einer wellenlängenaufgelösten Funktion verglichen, wobei die wellenlängenabhängige Funktion durch Berechnung der Ausbreitung elektromagnetischer Strahlung in Mehrschichtsystemen unter Verwendung eines optischen Modells zur physikalischen Beschreibung der untersuchten Probe, unter Berücksichtigung der wellenlängenabhängigen Verläufe der linearen optischen Brechungsindizes (n) und Absorptionskoeffizienten (k) aller, die Probe bildenden, Materialien und/oder Werkstoffe erfolgt. Durch Änderung von Parametern der physikalischen Funktion werden diese iterativ zu einer hinreichenden Deckung mit einem Kalibrierkurvenverlauf gebracht, um den spezifischen elektrischen Widerstand und/oder die spezifische elektrische Leitfähigkeit an verschiedenen Positionen ortsaufgelöst zu bestimmen.
摘要翻译：安排空间分辨测定比电阻和/或在不同位置处的试样的具体的导电率，其特征在于，一个波长的间隔内形成的多个检测器对电磁辐射的空间解析光谱分析。样品的表面照射均匀的强度。的波长间隔内的检测器的位置 - 和波长分辨检测到的测量信号用于与波长分辨功能，其特征在于，检测通过使用用于样品的物理描述的光学模型计算的多层系统的电磁辐射的传播依赖于波长的函数中的每个检测出的位置进行比较时，考虑到波长依赖性的线性光学折射率（n）的简档和所有样品形成材料和/或材料的吸收系数（k）发生。通过改变后者的物理函数的参数被迭代带到足够的覆盖用Kalibrierkurvenverlauf来确定电阻率和/或电导率在各种位置局部地解决。

10. 发明申请

WO2016138935A1 SENSOR SYSTEM AND METHOD FOR CHARACTERIZING A STACK OF WET PAINT LAYERS 审中-公开
标题翻译：传感器系统和表征湿布层的方法
公开(公告)号：WO2016138935A1
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：PCT/EP2015/054352
申请日：2015-03-03
申请人： ABB TECHNOLOGY LTD
发明人： VAN MECHELEN, Jacobus Lodevicus Martinus
IPC分类号： G01B11/06 , G01N33/32 , G01N21/3581 , G01N21/84
CPC分类号： G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01N21/3581 , G01N21/59 , G01N33/32 , G01N2021/8438
摘要： A method of characterizing a wet paint layer stack of a painted body is provided, which comprises at least two wet paint layers, by individual parameters of the wet paint layers, based on fitting to a physical model, the method being carried out by a sensor system in a non-contact manner The sensor system comprises an emitter system for emitting THz radiation, a detector system for detecting THz radiation, and a processing unit operationally coupled to the emitter system and the detector system. The method comprises: Emitting, by the emitter system, a THz radiation signal towards the painted body such that the THz radiation interacts with the wet paint layer stack,detecting, by the detector system, a response signal being the detected THz radiation signal having interacted with the wet paint layer stack;Determining model parameters of the physical model by optimizing the model parameters such that a predicted response signal of the physical model, which approximates the interaction of the THz radiation signal with the wet paint layer stack, is fitted to the detected response signal, wherein at least some of the model parameters are indicative of individual optical properties of the wet paint layers and of a wet paint layer thickness; and Determining, from the determined model parameters, the individual paint layer parameters of at least one of the wet paint layers.
摘要翻译：提供了一种表征涂漆体的湿漆层叠层的方法，其包括至少两个湿涂层，通过湿涂层的各个参数，基于与物理模型的拟合，该方法由传感器系统以非接触方式传感器系统包括用于发射THz辐射的发射器系统，用于检测THz辐射的检测器系统，以及可操作地耦合到发射器系统和检测器系统的处理单元。该方法包括：通过发射器系统向喷涂体发射THz辐射信号，使得THz辐射与湿涂层叠层相互作用，由检测器系统检测响应信号，即被检测的THz辐射信号具有相互作用与湿漆层堆叠;通过优化模型参数来确定物理模型的模型参数，使得将近似于THz辐射信号与湿涂层堆叠的相互作用的物理模型的预测响应信号拟合到检测到的响应信号，其中模型参数中的至少一些指示湿涂层的单独光学特性和湿涂层厚度; 以及从确定的模型参数确定至少一个湿涂层的各个涂层参数。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式