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1. 发明申请

WO2016139233A1 ANORDNUNG ZUR ORTSAUFGELÖSTEN BESTIMMUNG DES SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS UND/ODER DER SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN LEITFÄHIGKEIT VON PROBEN 审中-公开
标题翻译：安排电阻率和/或样品的比电导率的局部分辨地确定
公开(公告)号：WO2016139233A1
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：PCT/EP2016/054398
申请日：2016-03-02
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： WOLLMANN, Philipp , GRAEHLERT, Wulf , WEISSENBORN, Eric
IPC分类号： G01N21/84 , G01R27/26
CPC分类号： G01N21/8422 , G01N2021/8438 , G01R27/2682
摘要： Anordnung zur ortsaufgelösten Bestimmung des spezifischen elektrischen Widerstandes und/oder der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit einer Probe an unterschiedlichen Positionen, bei der mehrere Detektoren zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind. Eine Fläche der Probe wird mit homogener Intensität bestrahlt. Die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls werden für jede erfasste Position mit einer wellenlängenaufgelösten Funktion verglichen, wobei die wellenlängenabhängige Funktion durch Berechnung der Ausbreitung elektromagnetischer Strahlung in Mehrschichtsystemen unter Verwendung eines optischen Modells zur physikalischen Beschreibung der untersuchten Probe, unter Berücksichtigung der wellenlängenabhängigen Verläufe der linearen optischen Brechungsindizes (n) und Absorptionskoeffizienten (k) aller, die Probe bildenden, Materialien und/oder Werkstoffe erfolgt. Durch Änderung von Parametern der physikalischen Funktion werden diese iterativ zu einer hinreichenden Deckung mit einem Kalibrierkurvenverlauf gebracht, um den spezifischen elektrischen Widerstand und/oder die spezifische elektrische Leitfähigkeit an verschiedenen Positionen ortsaufgelöst zu bestimmen.
摘要翻译：安排空间分辨测定比电阻和/或在不同位置处的试样的具体的导电率，其特征在于，一个波长的间隔内形成的多个检测器对电磁辐射的空间解析光谱分析。样品的表面照射均匀的强度。的波长间隔内的检测器的位置 - 和波长分辨检测到的测量信号用于与波长分辨功能，其特征在于，检测通过使用用于样品的物理描述的光学模型计算的多层系统的电磁辐射的传播依赖于波长的函数中的每个检测出的位置进行比较时，考虑到波长依赖性的线性光学折射率（n）的简档和所有样品形成材料和/或材料的吸收系数（k）发生。通过改变后者的物理函数的参数被迭代带到足够的覆盖用Kalibrierkurvenverlauf来确定电阻率和/或电导率在各种位置局部地解决。

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