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1. 发明申请

WO2019062319A1 膜层检测方法、膜层检测装置及膜层检测系统审中-公开
公开(公告)号：WO2019062319A1
公开(公告)日：2019-04-04
申请号：PCT/CN2018/098087
申请日：2018-08-01
申请人：京东方科技集团股份有限公司 , 绵阳京东方光电科技有限公司
发明人：安亚斌 , 张铁轶 , 权基瑛 , 闫小宝 , 李彦生
IPC分类号： G01N21/86
CPC分类号： G01N21/8422
摘要：一种膜层检测方法、膜层检测装置及膜层检测系统。膜层检测装置包括：光源（11）、图像采集组件（12）和图像分析组件（13）。光源（11）照射待检测基板（01）设置有膜层（02）的一侧；图像采集组件（12）从基板（01）设置有膜层（02）的一侧采集膜层（02）图像，膜层（02）图像包括被照射的至少一层膜层（02）的图像；图像分析组件（13）根据膜层（02）图像的亮度分布，确定至少一层膜层（02）中最上层膜层（02）的类型。

2. 发明申请

WO2018190955A1 SYSTEMS AND METHODS OF DETECTING COATINGS ON METAL SUBSTRATES 审中-公开
公开(公告)号：WO2018190955A1
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：PCT/US2018/018920
申请日：2018-02-21
申请人： NOVELIS INC.
发明人： PRINZHORN, Heinrich
IPC分类号： G01N21/35 , G01B11/06 , G01N21/55 , G01N21/84 , G01N25/00 , G01N21/3563
CPC分类号： G01N21/35 , G01B11/0625 , G01N21/3563 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01N2021/8427 , G01N2021/8433
摘要： Disclosed herein are tools and systems for verifying the presence of coatings applied to metal substrates. Also disclosed are methods for employing the tools and systems described herein to verify coatings applied to metal substrates. The tools, systems and methods described herein can be used in metal production lines such as continuous production lines to determine whether a coating is applied to one or both sides of the metal substrate.

3. 发明申请

WO2018017032A1 MEASUREMENT OF OXIDE THICKNESS ON ALUMINUM SURFACE BY FTIR SPECTROSCOPY AND CHEMOMETRICS METHOD 审中-公开
标题翻译：傅立叶变换红外光谱法和化学计量法测定铝表面氧化膜厚度
公开(公告)号：WO2018017032A1
公开(公告)日：2018-01-25
申请号：PCT/TR2017/050298
申请日：2017-07-03
申请人： ASSAN ALÜMİNYUM SAN. VE TİC. A. Ş.
发明人： UÇAR, Özlem , ÖZDEMİR, Durmuş , DÜNDAR, Mustafa Murat
IPC分类号： G01B11/06 , G01N21/35
CPC分类号： G01B11/06 , G01N21/552 , G01N21/8422 , G01N2021/3595
摘要： The invention relates to a measurement method enabling on-line thickness measurement of the oxide layer formed on aluminum foil by FTIR spectrometer at low cost and precise manner, during aluminum-containing material production.
摘要翻译：
本发明涉及一种测量方法，使得能够以低成本和精确的方式通过FTIR光谱仪在铝箔材料生产期间在铝箔上形成氧化物层。

4. 发明申请

WO2017172160A1 DETECTING VOIDS AND DELAMINATION IN PHOTORESIST LAYER 审中-公开
标题翻译：检测光敏层中的空隙和脱层
公开(公告)号：WO2017172160A1
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：PCT/US2017/019684
申请日：2017-02-27
申请人： INTEL CORPORATION
发明人： GHOSH, Nilanjan , GOYAL, Deepak , CHENG, Jing , ARANA, Leonel R.
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/17
CPC分类号： G01N21/95 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01N21/956 , G01N2201/0612 , G01N2201/13
摘要： A system for detecting a void in a photoresist layer can include: a detector, a processor, and a memory. The detector can be arranged to receive reflected light from a surface of a sample. The processor can be in electrical communication with the detector. The memory can store instructions that, when executed by the processor, can cause the processor to perform operations. The operations can comprise: receiving optical data from the detector, receiving calibrated data, and determining an existence of the void. the optical data can include information regarding a signature of the reflected light. The calibrated data can include information regarding a signature for a known sample of photoresist. The determination of the existence of the void can be based on a deviation of the optical data from the calibrated data.
摘要翻译：用于检测光致抗蚀剂层中的空隙的系统可以包括：检测器，处理器和存储器。检测器可以布置成接收来自样品表面的反射光。处理器可以与检测器电通信。存储器可以存储指令，所述指令在由处理器执行时可以使处理器执行操作。操作可以包括：从检测器接收光学数据，接收校准数据，并确定空隙的存在。光学数据可以包括关于反射光的签名的信息。校准数据可以包括关于已知光致抗蚀剂样品的签名的信息。确定空隙的存在可以基于光学数据与校准数据的偏差。

5. 发明申请

WO2017171195A1 그래핀 비파괴 검사방법 审中-公开
标题翻译：石墨烯无损检测方法
公开(公告)号：WO2017171195A1
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：PCT/KR2016/014100
申请日：2016-12-02
申请人： 전자부품연구원
发明人： 김형근 , 유세현 , 김예경 , 김예나
IPC分类号： G01N21/88 , G01Q60/10 , G03H1/24
CPC分类号： G01N21/8422 , G01N2021/8427 , G01N2021/8477 , G03H1/24
摘要： 그래핀 손상없이 그래핀 합성과정에서 실시간으로 검사가 가능하고 대면적 그래핀 검사가 가능하여 효율적인 검사를 수행할 수 있는 그래핀 비파괴 검사방법이 제안된다. 본 발명에 따른 그래핀 비파괴 검사방법은 표면에 그래핀이 합성된 금속기판에 광을 조사하는 단계 및 광에 의해 금속기판이 산화된 영역을 추출하는 단계를 포함한다.
摘要翻译：
是能够从石墨烯合成实时检查而不损坏销和石墨烯的非破坏性测试方法，其中大面积石墨烯检查可以通过有效的检查来执行算法。所以根据本发明所述石墨烯表面非破坏性的检查方法包括：通过一个步骤和用于在金属基底上照射的光的光提取氧化区的金属衬底的步骤是复合针。

6. 发明申请

WO2017120161A1 OBJECT POSITION INDEPENDENT METHOD TO MEASURE THE THICKNESS OF COATINGS DEPOSITED ON CURVED OBJECTS MOVING AT HIGH RATES 审中-公开
标题翻译：目标位置独立方法，用于测量在高速移动的曲面物体上沉积的涂层厚度
公开(公告)号：WO2017120161A1
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：PCT/US2017/012087
申请日：2017-01-04
申请人： ARKEMA INC.
发明人： MOELLER, Gunter, E. , KOROTKOV, Roman, Y. , SMITH, Ryan, C.
IPC分类号： G01N21/00 , G01B11/28 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/0625 , G01B11/0691 , G01N21/9054 , G01N2021/8427
摘要： Methods and apparatus for measuring a thickness of a coating on an moving object are provided. Light is directed toward the object at a predetermined location on the object such that a portion of the light interacts with the object. A I D and/or 2D maximum intensities for at least one wavelength channel is captured that is produced by the portion of the light interacting with the object. A measured average intensity of the wavelength channel and/or intensities and their arithmetic derivatives of multi wavelength channel geometries is converted into I D (averaged) and/or 2D thickness values. Based on these values an acceptability of the coating is evaluated and thickness calculated.
摘要翻译：提供了用于测量移动物体上的涂层厚度的方法和设备。光在物体上的预定位置被导向物体，使得一部分光与物体相互作用。捕获至少一个波长信道的I D和/或2D最大强度，其由与对象相互作用的部分光产生。波长信道的测量平均强度和/或多波长信道几何结构的强度及其算术导数被转换为I D（平均）和/或2D厚度值。基于这些数值评估涂层的可接受性并计算厚度。

7. 发明申请

WO2017098053A1 SYSTEM AND METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS ON A TRANSPARENT SHEET 审中-公开
标题翻译：用于透明片材上的光学测量的系统和方法
公开(公告)号：WO2017098053A1
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：PCT/EP2016/080685
申请日：2016-12-12
申请人： DSM IP ASSETS B.V.
发明人： ABEN, Gerardus , THEISS, Wolfgang
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/86 , G01N21/896 , G01N21/84 , G01J1/06 , G01N21/59
CPC分类号： G01N21/474 , G01J3/0254 , G01J2001/0481 , G01J2001/061 , G01N21/59 , G01N21/8422 , G01N21/86 , G01N21/896 , G01N2021/4735 , G01N2021/8411 , G01N2021/8618 , G01N2201/0632 , G01N2201/065
摘要： The invention relates to a system for measuring light transmission and/or light reflection properties of a transparent sample sheet (S), the system comprising a detection assembly and a control unit (10), wherein the detection assembly comprises an integrating sphere (1) having a sample port (2), an illumination port, a detection port, an internal light source (4) positioned at the illumination port, and a photodetector (3) coupled to a spectrometer and positioned at the detection port; means to detect radiation coming either directly from the sample port or from the wall of the integrating sphere or both directly from the sample port and from the wall of the integrating sphere, e.g. movable baffle (8); an external light source (5) or a transmittance detector axially aligned with the sample port; means to illuminate with the internal light source or with the external light source if present or with no light source; a reference standard (9), and means to position it at and from the sample port. This system is relatively compact, and can advantageously be used at existing sheet production lines for process and quality control. The invention also relates to a method for measuring light transmission and/or light reflection properties of a transparent sample sheet that applies said system; and to processes of making a sheet, especially an AR-coated glass sheet, comprising said method.
摘要翻译：本发明涉及用于测量透明样品片（S）的光透射和/或光反射特性的系统，该系统包括检测组件和控制单元（10），其中检测组件包括具有样品端口（2），照射端口，检测端口，定位在照射端口处的内部光源（4）和耦合到光谱仪的光检测器（3）的积分球（1）检测口; 用于检测直接来自样品端口或来自积分球的壁的辐射，或者直接来自样品端口和来自积分球的壁的辐射，例如，活动挡板（8）; 外部光源（5）或与样品端口轴向对齐的透射率检测器; 用内部光源或用外部光源（如果存在或不用光源）照明的装置; 参考标准（9），以及将其定位在样品端口和从样品端口定位的方法。该系统相对紧凑，并且可以有利地用于现有的片材生产线以用于过程和质量控制。本发明还涉及用于测量应用所述系统的透明样品片的光透射和/或光反射性质的方法; 并涉及制造包括所述方法的片材，特别是AR涂布的玻璃片材的方法。

8. 发明申请

WO2017055895A1 METHOD OF ONLINE CHARACTERIZATION OF A LAYER OF OXIDES ON A STEEL SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：铁基层氧化物在线表征的方法
公开(公告)号：WO2017055895A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/IB2015/057496
申请日：2015-09-30
申请人： ARCELORMITTAL
发明人： FRICOUT, Gabriel , GLIJER, David
IPC分类号： G01N21/84
CPC分类号： G01B11/0625 , G01N21/8422 , G01N2021/8411
摘要： Method of online characterization of a layer of oxides on a steel substrate Method of characterization of a layer of oxides (22) present on a steel substrate (21), comprising the steps of: - providing a portion of the steel substrate comprising a layer of oxides wherein the portion defines an oxide surface, - collecting light (Lr) from said oxide surface using a hyperspectral camera (20) in order to obtain intensity values (I λ,M ) respectively representative of an intensity of a part (Lr λ,M ) of the collected light, wherein each part is respectively collected from one of a plurality of points (M) located on said oxide surface and respectively has a wavelength (λ) from a plurality of wavelengths, - comparing the obtained intensity values with reference intensity values obtained for reference oxides, and - calculating amounts of reference oxides in the layer.
摘要翻译：在钢基材上的一层氧化物的在线表征方法在钢基材（21）上存在的氧化物层（22）的表征方法，包括以下步骤： - 提供钢基材的一部分，包括一层氧化物，其中所述部分限定氧化物表面， - 使用高光谱照相机（20）从所述氧化物表面收集光（Lr），以获得分别代表部分（Lrλ，M）的强度的强度值（Iλ，M）的收集光，其中每个部分分别从位于所述氧化物表面上的多个点（M）中的一个收集，并且分别具有来自多个波长的波长（λ）， - 将所获得的强度值与参考强度值进行比较获得参考氧化物，以及 - 计算层中参考氧化物的量。

9. 发明申请

WO2016162324A1 VERFAHREN ZUM ERMITTELN VON BRECHUNGSINDEX UND SCHICHTDICKE EINER TRANSPARENTEN SCHICHT MITTELS ELLIPSOMETRIE 审中-公开
标题翻译：程序用于确定折射率和厚度通过椭圆透明层
公开(公告)号：WO2016162324A1
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：PCT/EP2016/057405
申请日：2016-04-05
申请人： ERNST-MORITZ-ARNDT-UNIVERSITÄT GREIFSWALD
发明人： NESTLER, Peter , HELM, Christiane A.
IPC分类号： G01N21/21 , G01B11/06 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/0641 , G01N21/8422 , G01N2021/8433
摘要： Ein ellipsometrisches Verfahren zum Ermitteln charakteristischer Größen transparenter Schichten ermittelt an einer zu untersuchenden Schicht (2) ein Paar der ellipsometrischen Größen dieser Schicht bei einer ersten Schichtdicke und anschließend bei einer zweiten Schichtdicke. Eine der beiden Schichtdicken kann auch den Wert 0 aufweisen, wobei dann das Paar der ellipsometrischen Größen an einem unbeschichteten Substrat (1) gemessen wird. Aus den insgesamt vier gemessenen ellipsometrischen Größen wird anhand einer angegebenen Formel der Brechungsindex der zu untersuchenden Schicht ermittelt, aus dem nach bekannten ellipsometrischen Verfahren die Schichtdicke ermittelt werden kann.
摘要翻译：要被检查以确定的确定透明层的特性参数的椭偏法层（2）在第一涂层厚度的一对这种膜的椭圆量的，然后在第二层的厚度。所述两个层的厚度也可以具有在该情况下未涂覆的衬底（1）在一对椭圆量的测量值0，。从要被检查总的层的折射率的测定4个椭偏幅度，层的厚度可以从通过已知方法的椭圆来确定是基于指定的公式确定。

10. 发明申请

WO2016146460A1 DISPOSITIF ET PROCEDE POUR DETECTER DES DEFAUTS DANS DES ZONES DE LIAISON ENTRE DES ECHANTILLONS TELS QUE DES WAFERS 审中-公开
标题翻译：用于检测诸如此类的样品之间的连接区域中的缺陷的装置和方法
公开(公告)号：WO2016146460A1
公开(公告)日：2016-09-22
申请号：PCT/EP2016/055071
申请日：2016-03-10
申请人： FOGALE NANOTECH
发明人： PERROT, Sylvain
IPC分类号： G01N21/84 , G01B9/02 , G01B11/06 , G01B11/24 , G01N21/95 , H01L21/66 , G01N21/47
CPC分类号： G01N21/9501 , G01B9/0201 , G01B9/02081 , G01B9/0209 , G01N21/8422 , H01L21/6836 , H01L22/12 , H01L2221/68327
摘要： La présente invention concerne un dispositif de mesure pour contrôler une zone de liaison (18) entre des échantillons (16, 17), comprenant (i) un interféromètre à faible cohérence illuminé par une source de lumière polychromatique avec un bras de mesure traversant ladite zone de liaison (18) et un bras de référence, (ii) au moins un détecteur optique (10) et des moyens de conditionnement optiques et/ou mécaniques (15) agencés pour permettre l'acquisition d'au moins deux mesures d'interférences avec des conditions de phase différentes entre un faisceau optique de mesure (21) issu du bras de mesure et un faisceau optique de référence (20) issu du bras de référence; et (iii) des moyens de calcul (25) agencés pour calculer une information de contraste desdites interférences, et rechercher sur la base de ladite information de contraste des défauts (19) dans ladite zone de liaison (18).
摘要翻译：本发明涉及一种用于检查样品（16,17）之间的结合区（18）的测量装置，包括：（i）由具有与所述连接区（18）交叉的测量臂照射的多色光源照射的低相干干涉仪，和参考臂，（ii）至少一个光学检测器（10）和光学和/或机械调节装置（15），其布置成使得能够获取在测量光束（21）之间具有不同相位条件的至少两个干涉测量，来自测量臂和来自参考臂的参考光束（20）; 和（iii）用于计算与所述干扰有关的对比度信息的计算装置（25），并且基于所述对比度信息搜索所述粘合区（18）中的缺陷（19）。

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