专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2017060130A3 MEMS YAW-RATE SENSOR WITH MAGNETIC DETECTION 审中-公开
标题翻译：带有磁检测的MEMS转向传感器
公开(公告)号：WO2017060130A3
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：PCT/EP2016073005
申请日：2016-09-27
申请人： EPCOS AG
发明人： BESSON MARCUS , OSTRICK BERNHARD
IPC分类号： G01C19/5747 , G01C19/5712 , G01C19/5769
CPC分类号： G01C19/5747 , G01C19/5712 , G01C19/5769
摘要： The invention relates to a MEMS yaw-rate sensor (1) which comprises a main part (2), a first primary mass (3) designed to implement a primary oscillation relative to the main part (2), a first secondary mass (6) connected to said first primary mass (3) by a suspension mechanism (7) such that the primary movement of the first primary mass (3) incites a primary movement of the first secondary mass (6) and a secondary movement of the first secondary mass (6) is permitted relative to the first primary mass (3), a first magnetic field-generating element (9) and a first magnet-sensitive element (8), one of which is arranged on the main part (2) and the other arranged on the first primary mass (3), wherein the first magnet-sensitive element (8) is designed to determine the primary movement of the first primary mass (3) relative to the main part (2), and a second magnetic field-generating element (11) and a second magnet-sensitive element (10), one of which is arranged on the main part (2) or on the first primary mass (3) and the other arranged on the first secondary mass (6), wherein the second magnet-sensitive element (10) is designed to determine the secondary movement of the first secondary mass (6) relative to the first primary mass (3).
摘要翻译：本发明涉及（1），包括其适合于一个主摆动相对于基体的基体（2），第一主质量块（3）的MEMS率传感器（2）以执行第一辅块（6）是在这样的悬挂器连接到所述第一初级质量块（3）（7），所述第一主质量块（3）的主运动刺激（6）的第一辅块和第一辅块的次级运动的主运动（6）相对于所述第一主质量（ 3）是允许的，第一磁场生成元件（9）和第一磁敏感元件（8），其（在主体2）布置的一个和布置在（第一初级质量3），其中，所述第一磁体敏感元件（用于确定所述第一主质量块（3）相对于所述基体（2）的主运动的第一磁场产生元件（11）和第二磁场产生元件（11）以及第二磁场产生元件 Ives的元件（10），其在所述基体之一（2）或所述第一主质量的（3）并且被置于一个在所述第一辅块（6）的顶部上，其中，用于确定所述第一的二次运动第二磁体敏感元件（10）次质量（6）相对于第一主质量（3）具有。

2. 发明申请

WO2017003148A1 멤스 자이로스코프에 사용되는 멤스 링크 기구 审中-公开
标题翻译：用于MEMS陀螺仪的MEMS链路机制
公开(公告)号：WO2017003148A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：PCT/KR2016/006876
申请日：2016-06-28
申请人： 주식회사 신성씨앤티
发明人： 송기무 , 윤근중 , 강정식 , 김용국 , 한승오 , 송현주
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5769 , G01C19/5783
CPC分类号： G01C19/5747 , B81B7/02 , G01C19/5621 , G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5769 , G01C19/5783
摘要： 바닥 웨이퍼기판에 대해 평행하게 배치되는 프레임과, 상기 프레임에 가진 방향의 움직임과 외부의 각속도가 입력될 때 코리올리 힘에 의해 변위가 감지되는 센서질량체와, 상기 센서질량체의 변위를 감지하는 적어도 하나의 감지전극을 포함하는 멤스 기반의 자이로스코프에서, 상기 센서 질량체를 구성하는 선대칭 형태의 2개의 질량체 유닛의 역위상 움직임을 보장하기 위한 멤스 역위상 링크 기구가 제공된다. 이러한 멤스 역위상 링크 기구는, 움직임을 갖지 않는 중앙 앵커와 연결되는 적어도 2개의 앵커 연결부와, 상기 적어도 2개의 앵커 연결부와 연결되며 상기 멤스 역위상 링크 기구의 중심을 기준으로 서로 간에 180도 회전 대칭인 형태로 상기 2개의 질량체 유닛에 각각 연결되는 적어도 2개의 링크 아암을 포함한다.
摘要翻译：提供了一种用于补偿基于MEMS的陀螺仪的传感器质量体中的两个轴对称质量单元的反相运动的反相MEMS连杆机构，包括：相对于底部上的晶片衬底水平布置的框架; 传感器质量体，其中当在框架中输入外部角速度和激励方向的移动时，通过科里奥利力感测到相位变化; 以及用于感测传感器质量体的相位变化的至少一个感测电极。这种反相MEMS连杆机构包括：至少两个连接到不动的中心锚的锚连接部分; 以及至少两个连接臂，其连接到所述至少两个锚固连接部分，并且分别相对于所述反相MEMS连杆机构的中心以180度旋转对称的方式分别连接到所述两个质量单元。

3. 发明申请

WO2016145535A1 MULTIPLE DEGREE OF FREEDOM MEMS SENSOR CHIP AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME 审中-公开
标题翻译：多种自由度MEMS传感器芯片及其制造方法
公开(公告)号：WO2016145535A1
公开(公告)日：2016-09-22
申请号：PCT/CA2016/050303
申请日：2016-03-17
申请人： MOTION ENGINE INC.
发明人： BOYSEL, Robert Mark
IPC分类号： B81B7/02 , G01C19/574 , G01D21/02 , G01L9/00 , G01P15/08 , G01P15/18 , G01R33/028
CPC分类号： G01P15/097 , B81B7/0061 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2201/0292 , B81C1/00238 , B81C1/00309 , G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5762 , G01C19/5769 , G01D21/02 , G01L9/00 , G01L9/0045 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01R33/028 , G01R33/0286
摘要： A single Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) sensor chip is provided, for measuring multiple parameters, referred to as multiple degrees of freedom (DOF). The sensor chip comprises a central MEMS wafer bonded to a top cap wafer and a bottom cap wafer, all three wafer being electrically conductive. The sensor comprises at least two distinct sensors, each patterned in the electrically conductive MEMS wafer and in at least one of the top and bottom cap wafer. Insulated conducting pathways extend from electrical connections on the top or bottom cap wafers, through at least one of the electrically conductive top cap and bottom cap wafers, and through the electrically conductive MEMS wafer, to the sensors, for conducting electrical signals between the sensors and the electrical connections. The two or more distinct sensors are enclosed by the top and bottom cap wafers and by the outer frame of MEMS wafer.
摘要翻译：提供单个微机电系统（MEMS）传感器芯片，用于测量称为多自由度（DOF）的多个参数。传感器芯片包括结合到顶盖晶片和底盖晶片的中心MEMS晶片，所有三个晶片都是导电的。传感器包括至少两个不同的传感器，每个传感器在导电MEMS晶片和顶盖和底盖晶片中的至少一个中被图案化。绝缘导电通道从顶盖或底盖晶片上的电连接延伸穿过导电顶盖和底盖晶片中的至少一个，并通过导电MEMS晶片延伸到传感器，用于传导传感器与传感器之间的电信号电气连接。两个或更多个不同的传感器被顶盖和底盖晶片以及MEMS晶片的外框包围。

4. 发明申请

WO2016108151A1 MICROMECHANICAL GYROSCOPE STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：微机械结构
公开(公告)号：WO2016108151A1
公开(公告)日：2016-07-07
申请号：PCT/IB2015/059910
申请日：2015-12-23
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： RINKIÖ, Marcus
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C25/00
摘要： A microelectromechanical gyroscope structure, and a method for manufacturing a microelectromechanical gyroscope structure, comprising a seismic mass and a spring structure suspending the seismic mass to a body element with a suspension structure. The spring structure allows a primary oscillation motion about a primary axis that is aligned with the plane of the seismic mass, and a secondary oscillation motion where at least part of the seismic mass moves in a second direction, perpendicular to the direction of the primary oscillation motion. The spring structure is attached to the seismic mass at both sides of the suspension structure and said spring structure is in torsional motion about the primary axis that is common with the primary oscillation motion. The structure of the gyroscope enables mechanical compensation of a quadrature error of the seismic mass by etching a compensation groove on the top face of the seismic mass.
摘要翻译：一种微机电陀螺仪结构，以及一种用于制造微机电陀螺仪结构的方法，其包括将地震块和弹簧结构悬挂在具有悬挂结构的主体元件上。弹簧结构允许围绕与主体轴对准的主轴的主振荡运动，以及次震动，其中至少部分地震质量沿垂直于主振荡方向的第二方向移动运动。弹簧结构附着在悬架结构两侧的地震块上，而弹簧结构围绕主轴与主振荡运动相同的扭转运动。陀螺仪的结构可以通过蚀刻地震块顶面的补偿槽来对地震质量的正交误差进行机械补偿。

5. 发明申请

WO2016097127A1 A QUADRATURE COMPENSATION METHOD FOR MEMS GYROSCOPES AND A GYROSCOPE SENSOR 审中-公开
标题翻译：用于MEMS陀螺仪和陀螺仪传感器的四次补偿方法
公开(公告)号：WO2016097127A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/080195
申请日：2015-12-17
申请人： ACREO SWEDISH ICT AB
发明人： ANDERSSON, Gert , SVENSSON, Erik , STOEW, Borys , HEDENSTIERNA, Nils
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： The present invention relates to a gyroscope sensor (102) for detecting a rotational motion about a sensitivity axis (104) and comprising means for quadrature compensation. The gyroscope sensor comprises a total inertial mass (105) comprising a first inertial mass (106) and a second inertial mass (108) physically attached to each other and arranged such that a rotation of the first inertial mass about a detection axis caused by the coriolis force when the gyroscope sensor is subjected to a rotation about a sensitivity axis. The gyroscope further comprises a first drive structure having a displaceable drive frame which may cause a respective of the first or second inertial mass to rotate about the detection axis in order to compensate for quadrature errors originating from faulty coupling between a drive mode and a sense mode of the gyroscope sensor.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测关于灵敏度轴（104）的旋转运动并包括用于正交补偿的装置的陀螺仪传感器（102）。陀螺仪传感器包括总惯性质量（105），其包括彼此物理连接的第一惯性质量（106）和第二惯性质量（108），并布置成使得第一惯性质量块围绕由当陀螺传感器经受围绕感光度轴的旋转时的科里奥利力。陀螺仪还包括具有位移驱动框架的第一驱动结构，其可以使得相应的第一或第二惯性质量围绕检测轴线旋转，以便补偿源自驱动模式和感测模式之间的故障耦合的正交误差的陀螺仪传感器。

6. 发明申请

WO2015121780A2 A drive circuitry for a MEMS resonator 审中-公开
标题翻译： MEMS谐振器的驱动电路
公开(公告)号：WO2015121780A2
公开(公告)日：2015-08-20
申请号：PCT/IB2015/050903
申请日：2015-02-06
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： AALTONEN, Lasse
IPC分类号： H03H7/00 , G01C19/5776 , H03L7/08 , H03H7/01
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5776 , H03B5/06 , H03H7/002 , H03H7/0153 , H03H2007/008 , H03L7/0805 , H03L7/099
摘要： A drive loop circuitry for a MEMS resonator. The circuitry comprises closed loop means for detecting and amplifying a signal of the MEMS resonator, means for phase shifting the detected and amplified signal, and means for feeding the detected, amplified and phase shifted signal as a feedback signal back to the MEMS resonator. The means for phase shifting the detected and amplified signal comprise a low pass filter of at least 2 nd order.
摘要翻译：用于MEMS谐振器的驱动回路电路
。该电路包括用于检测和放大MEMS谐振器的信号的闭环装置，用于对检测和放大的信号进行相移的装置，以及用于将检测到的放大的相移信号作为反馈信号反馈回MEMS谐振器的装置。用于对检测和放大的信号进行相移的装置包括至少2阶的低通滤波器。

7. 发明申请

WO2015114530A1 IMPROVED RING GYROSCOPE STRUCTURE AND GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：改进的环形结构和陀螺仪
公开(公告)号：WO2015114530A1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：PCT/IB2015/050640
申请日：2015-01-28
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： RUOHIO, Jaakko
IPC分类号： G01C19/5684
CPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , G01C19/5684 , G01C19/5719
摘要： A ring gyroscope structure with central spring structure that prefers prefers 26-modes and makes them low in frequency. The flexing resonance modes that tend to couple to external mechanical excitation are clearly higher that the 26-modes. The described structure is thus very robust against external mechanical shocks and vibrations.
摘要翻译：具有中心弹簧结构的环形陀螺仪结构优选26种模式，并使其频率较低。倾向于耦合到外部机械激励的弯曲共振模式明显高于26模式。因此，所描述的结构对于外部机械冲击和振动非常牢固。

8. 发明申请

WO2015033587A1 角速度センサ审中-公开
标题翻译：角速度传感器
公开(公告)号：WO2015033587A1
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：PCT/JP2014/052201
申请日：2014-01-31
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：山中　聖子 , 鄭　希元 , 林　雅秀
IPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/574
摘要：　ｘ軸方向周りの角速度、あるいは、ｙ軸方向周りの角速度を検出できる面内角速度センサの性能向上を図る。　角速度センサ素子が形成された半導体チップＣＨＰ１は、デバイス層ＤＬとキャップ層ＣＡＰＬとを含む。デバイス層ＤＬには、支持基板１Ｓの厚さ方向を含むｚｘ平面内で振動可能な励振素子１０５と、ｚｘ平面に垂直なｘｙ平面内に含まれる回転軸周りに角速度が印加された際、角速度に起因して発生するコリオリ力に基づくｘｙ平面内の変位を静電容量の変化として捉える検出部とが形成されている。キャップ層ＣＡＰＬには、励振素子１０５をｚｘ平面内で振動させるための電圧が印加される駆動用固定電極１０６ｂ、１０７ｂが形成されている。
摘要翻译：本发明增强了能够检测围绕x轴方向的角速度和围绕y轴方向的角速度的面内角速度传感器的性能。其中形成有角速度传感器元件的半导体芯片（CHP1）包括器件层（DL）和盖层（CAPL）。器件层（DL）在其中形成有能够在包括支撑衬底（1S）的厚度方向的zx平面内振动的振动元件（105）和能够捕获作为电容变化的检测单元，垂直于zx平面的xy平面中的位移由由围绕在xy平面中的旋转轴线施加的角速度产生的科里奥利力引起。盖层（CAPL）具有固定的施加电压的驱动电极（106b，107b），用于使振动元件（105）在zx平面内振动。

9. 发明申请

WO2014203903A1 共振周波数調整モジュール审中-公开
标题翻译：谐振频率调整模块
公开(公告)号：WO2014203903A1
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：PCT/JP2014/066052
申请日：2014-06-17
申请人：ヤマハ株式会社
发明人：小野　秀和 , 岡見　威 , ▲辻▼　信昭 , 植屋　夕輝
IPC分类号： G01C19/5733 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC分类号： B81B3/0045 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/0127 , B81B2203/0163 , B81B2203/019 , B81B2203/0307 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C19/5733
摘要：　本発明は、角速度を検出するＭＥＭＳセンサを構成する共振周波数調整モジュールであって、可動電極と、この可動電極と対向しキャパシタを形成する固定電極と、上記可動電極を一方向に変位可能に支持する弾性体とを備え、上記可動電極及び固定電極のキャパシタを形成する対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しており、可動電極と固定電極とに挟まれる領域において可動電極の移動によって体積が減少しない体積一定領域を有する。
摘要翻译：本发明是构成用于检测角速度的MEMS传感器的谐振频率调整模块，共振频率调整模块设置有可动电极，与可动电极相对的固定电极，形成电容器，弹性体其支撑可动电极，使得电极可沿一个方向移位。形成可动电极电容器和固定电极电容器的相对表面各自相对于位移方向倾斜，并且由于可动电极在夹在可动电极和固定电极之间的区域中移动的结果，有一个固定的卷区域，其中卷不会减少。

10. 发明申请

WO2014119609A1 角速度センサ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：角速度传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2014119609A1
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：PCT/JP2014/051929
申请日：2014-01-29
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：直野　崇幸 , 中野　琢磨
IPC分类号： G01C19/5783
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/56 , G01C25/00 , G01P15/09 , G01P15/097
摘要：　ダイヤフラム部（12）を構成する１層以上の振動板層（21,22）を薄膜形成技術によって形成する。角速度センサ（10）の構造体の寸法と、材料の弾性パラメータから計算される共振振動モードの共振周波数をfキロヘルツ、錘部（14）の質量をＭミリグラム、ダイヤフラム部（12）の周長をrメートル、圧電体層（32）にかかる応力をσ p パスカル、膜厚をt p メートル、下部電極と振動板層（21,22）とを含む複数層で構成される振動板部分における錘部（14）の側から数えて第n番目の層にかかる応力をσ n パスカル、膜厚をｔ n メートルとしたとき（ｎは自然数）、Ｔ eff ＝ｒ（σ p ｔ p ＋Σσ n ｔ n ）／Ｍで表されるＴ eff が、{（-0.36f 2 +210）/33}≦Ｔ eff ≦{（0.44f 2 +210）/33}を満たす。
摘要翻译：通过薄膜形成技术形成构成隔膜部分（12）的一个或多个隔膜层（21,22）。当根据角速度传感器（10）的结构的尺寸和其材料的弹性参数计算的共振振动模式中的共振频率被定义为f [kHz]时，重量部分（14）的质量为定义为M [mg]，膜片部分（12）的周长定义为r [m]，施加到压电层（32）的应力定义为＆sgr; p [Pa]，其厚度定义为在由包括下电极和隔膜层（21,22）的多个层组成的隔膜部分中，从配重部分（14）侧向第n层施加的应力被定义为＆sgr; n [Pa]，其厚度定义为tn [m]（n是自然数），Teff = r（＆sgr; ptp +＆Sgr;＆sgr; ntn）/ M表示的Teff满足{（-0.36 F2 + 210）/ 33}≤Teff≤{（0.44f2 + 210）/ 33}。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式