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1. 发明申请

WO2020195386A1 物理量センサ审中-公开
公开(公告)号：WO2020195386A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：PCT/JP2020/006639
申请日：2020-02-19
申请人：パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人：青柳　孝典 , 相澤　宏幸 , 董　春祉 , 岸本　慎一
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/12 , G01P15/18 , G01C19/574
摘要：センサ特性の変化を抑制することが可能な物理量センサを提供する。物理量センサ（１）は、基板（２）と、アンカー部（３）と、囲繞部（４）と、検出部と、可動部（６）と、梁部（７）と、を備える。アンカー部（３）は、基板（２）の主面（２１）側に位置しており、基板（２）に固定されている。囲繞部（４）は、基板（２）の主面（２１）側に位置しており、アンカー部（３）を囲んでいる。検出部は、検出対象の物理量を検出する。可動部（６）は、検出部の少なくとも一部が設けられており、基板（２）の主面（２１）側に位置し囲繞部（４）につながっている。梁部（７）は、基板（２）の主面（２１）側に位置しており、アンカー部（３）と囲繞部（４）とをつないでいる。

2. 发明申请

WO2018022803A1 MULTI-AXIS, SINGLE-DRIVE INERTIAL DEVICE 审中-公开
标题翻译：多轴，单传动惯性装置
公开(公告)号：WO2018022803A1
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：PCT/US2017/044028
申请日：2017-07-26
申请人： LUMEDYNE TECHNOLOGIES INCORPORATED
发明人： ANAC, Ozan , HUANG, Xiaojun
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5719 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5719 , G01C19/574 , G01C19/5762 , G01P15/036 , G01P15/0802 , G01P15/0888 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0837 , G01P2015/0857 , G01P2015/0862
摘要： Systems and methods are disclosed herein for multi-axis single-drive inertial devices. A multi-axis single drive inertial device can include a rotational drive configured to oscillate a plurality of accelerometer proof masses and a plurality of gyroscope proof masses about a z axis and signal processing circuitry configured for determining inertial parameters based on motion of the plurality of accelerometer proof masses and the plurality of gyroscope proof masses. The inertial parameters can include acceleration of the inertial device along an x axis perpendicular to the z axis and along a y axis perpendicular to each of the x and z axes, and rotation of the inertial device about each of the x, y, and z axes.
摘要翻译：这里公开了用于多轴单驱动惯性装置的系统和方法。多轴单驱动惯性设备可以包括被配置为使多个加速度计检测质量块和围绕z轴的多个陀螺仪检测质量块振荡的旋转驱动器以及被配置用于基于多个加速度计检测器的运动来确定惯性参数的信号处理电路质量和多个陀螺仪检测质量。惯性参数可以包括惯性装置沿垂直于z轴的x轴以及垂直于x轴和z轴中的每一个的y轴的加速度以及惯性装置围绕x，y和z轴中的每一个的旋转

3. 发明申请

WO2016173755A1 DREHRATENSENSOR UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器和方法
公开(公告)号：WO2016173755A1
公开(公告)日：2016-11-03
申请号：PCT/EP2016/055215
申请日：2016-03-11
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： MAUL, Robert , HATTASS, Mirko , HOEPPNER, Christian
IPC分类号： G01C19/5705 , G01C19/574
CPC分类号： G01C19/5705 , G01C19/574
摘要： Die vorliegende Erfindung offenbart einen Drehratensensor mit einer ersten rotatorisch aufgehängten Masse, welche eine erste Drehachse und ein erstes Drehratenmesselement aufweist, welches ausgebildet ist die Drehrate um die erste Drehachse zu erfassen, mit einer zweiten rotatorisch aufgehängten Masse, welche eine zweite Drehachse, welche parallel zu der ersten Drehachse angeordnet ist, und ein zweites Drehratenmesselement aufweist, welches ausgebildet ist die Drehrate um die zweite Drehachse zu erfassen, und mit einer Antriebseinrichtung, welche ausgebildet ist, die erste Masse und die zweite Masse derart anzutreiben, dass die erste Masse und die zweite Masse Rotationsbewegungen in entgegengesetzten Richtungen ausführen. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung ein entsprechendes Verfahren.
摘要翻译：本发明公开了一种具有旋转速率传感器的第一旋转悬挂质量，其具有第一旋转轴和第一旋转速率感测元件，其被设计为检测关于所述第一旋转轴线的旋转速度与第二旋转地悬挂质量具有第二旋转轴线平行于旋转的第一轴布置，并且第二旋转速率感测元件，其被设计为检测关于第二旋转轴线，并用驱动装置，其适于驱动所述第一质量和第二质量，使得旋转速率的第一质量和第二质量执行沿相反方向的旋转运动。此外，本发明公开了一种相应的方法。

4. 发明申请

WO2014030492A1 慣性力センサ审中-公开
标题翻译：惯性力传感器
公开(公告)号：WO2014030492A1
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：PCT/JP2013/070267
申请日：2013-07-26
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：鈴木　健悟 , 青野　宇紀 , 金丸　昌敏 , 林　雅秀
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5769 , H01L29/84
CPC分类号： G01C19/574
摘要：　本発明は、外乱振動が作用した場合において、センサ素子内部で外乱振動を減衰することを可能とする慣性力センサを提供するために、固定部と、可とう性を有する第１の梁を介して前記固定部に保持される質量体と、可とう性を有する第２の梁を介して前記質量体に保持される振動体とを有し、前記質量体は前記固定部の内側に配置されるとともに前記振動体は前記質量体の内側に配置され、前記第１の梁が前記第２の梁より剛性が小さいことを特徴とする慣性力センサである。
摘要翻译：为了提供惯性力传感器，当扰动振动起作用时，能够衰减传感器元件内部的扰动振动，本发明是一种惯性力传感器，其特征在于包括：锚定部分，由锚固部分经由柔性部件第一梁和由质量体通过柔性第二梁保持的振动体，质量体布置在锚定部分的内侧，振动体设置在质量体的内侧，第一梁较少刚性比第二个梁。

5. 发明申请

WO2013083534A2 INERTIAL ANGULAR SENSOR OF BALANCED MEMS TYPE AND METHOD FOR BALANCING SUCH A SENSOR 审中-公开
标题翻译：平衡微机电系统的惯性角度传感器及平衡这种传感器的方法
公开(公告)号：WO2013083534A2
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：PCT/EP2012/074290
申请日：2012-12-03
申请人： SAGEM DEFENSE SECURITE
发明人： JEANROY, Alain
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , B81B3/0021 , B81B7/02 , B81C99/0025 , B81C99/003 , B81C99/0045
摘要： Inertial angular sensor of MEMS type comprising a support (1) of at least two masses (2) which are mounted movably with respect to the support, at least one electrostatic actuator (3) and at least one electrostatic detector (4). The masses (2) are suspended in a frame (6) itself connected by suspension means to the support. The actuator and the detector are designed to respectively produce and detect a vibration of the masses. Method for balancing such a sensor provided with at least one load detector mounted between the frame and the support and with at least one electrostatic spring (8) placed between the frame and one of the masses and slaved so as to ensure dynamic balancing of the sensor as a function of a measurement signal of the load sensor.
摘要翻译： MEMS类型的惯性角度传感器包括相对于支撑件可移动地安装的至少两个质量块（2）的支撑件（1），至少一个静电致动器（3）和至少一个静电检测器（4）。质量块（2）悬挂在框架（6）中，框架本身通过悬挂装置连接到支撑件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测质量的振动。用于平衡这种传感器的方法，所述传感器设置有安装在所述框架和所述支撑件之间的至少一个负载检测器，并且具有至少一个静电弹簧（8），所述静电弹簧放置在所述框架和所述质量块中的一个之间并且从属于所述传感器，作为负载传感器的测量信号的函数。

6. 发明申请

WO9938016A8 AN ARRANGEMENT FOR MEASURING ANGULAR VELOCITY 审中-公开
标题翻译：测量角速度的安排
公开(公告)号：WO9938016A8
公开(公告)日：1999-10-21
申请号：PCT/SE9900096
申请日：1999-01-22
申请人： AUTOLIV DEV , ANDERSSON GERT , HEDENSTIERNA NILS , SVENSSON PER
发明人： ANDERSSON GERT , HEDENSTIERNA NILS , SVENSSON PER
IPC分类号： B60R21/16 , G01C19/56 , G01C19/5656 , G01C19/574 , H01L29/84 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/574
摘要： The invention includes a sensor comprising a body (1) formed from a planar substrate. The body defines a beam (2), the opposed ends of which are adapted to be fixed in position, the beam having a preferential bending direction which makes an acute angle with the plane of the planar substrate. The beam (2) carries an inertia mass comprising two arms (6, 7) interconnected by a connecting bar, the central part of the connecting bar being formed unitarily with part of the beam (2). Capacitative plates (15, 16, 18, 19) located adjacent a conductive layer on the arms (6, 7) are provided with potentials which cause the inertia mass to rotate about the axis of the connecting bar with a "see-saw" action which, because of the configuration of the beam (2) leads to a rotational oscillation of the inertia mass in the plane of the substrate. If the arrangement is rotated about an axis coincident with the connecting bar, the inertia mass rotates about an axis coincident with the beam with an oscillating rotation. This is detected by capacitative plates (23, 24) to determine angular velocity.
摘要翻译：本发明包括传感器，该传感器包括由平面基底形成的主体（1）。本体限定了一个梁（2），梁的相对端适于固定就位，梁具有与平面基板的平面成锐角的优先弯曲方向。所述梁（2）承载惯性质量块，所述惯性质量块包括由连接杆相互连接的两个臂（6,7），所述连接杆的中心部分与所述梁（2）的一部分整体形成。位于臂（6,7）上的导电层附近的电容板（15,16,18,19）设置有电势，该电势使得惯性质量块围绕连接杆的轴线以“跷跷板”动作由于梁（2）的构造，这导致惯性质量在基板平面内的旋转振动。如果该装置围绕与连接杆一致的轴线旋转，则惯性质量体围绕与波束一致的轴线以摆动旋转的方式旋转。这由电容板（23,24）检测以确定角速度。

7. 发明申请

WO2022078917A1 PROCEDE DE CALIBRATION DE L'ECART DE RAIDEUR ET/OU DE LA QUADRATURE D'UN CAPTEUR INERTIEL VIBRANT 审中-公开
公开(公告)号：WO2022078917A1
公开(公告)日：2022-04-21
申请号：PCT/EP2021/077960
申请日：2021-10-08
申请人： THALES
发明人： VERCIER, Nicolas , MARTIN, Nicolas
IPC分类号： G01C19/574
摘要： L'invention concerne un procédé de calibration de l'écart de raideur ΔΚ ou de quadrature Kxy d'un capteur angulaire vibrant comprenant : - un résonateur s'étendant autour de deux axes x et y définissant un repère capteur xy, comprenant une masse mobile vibrante comportant deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase l'une par rapport à l'autre selon une direction x' définissant un repère onde x'y', la direction x' faisant un angle électrique (θ) par rapport à l'axe x; - des transducteurs de détection, excitation, compensation de quadrature et ajustement de raideur; le résonateur présentant une matrice de raideur Kc dans le repère capteur et une matrice de raideur KO dans le repère onde; ledit procédé comprenant les étapes : A déterminer l'angle électrique; B récupérer un terme de quadrature ou de raideur de la matrice de raideur KO dans le repère onde, ledit terme étant une somme de fonctions en cos(iθ) et en sin(iθ); les étapes A et B étant réitérées soit pour une pluralité d'angles électriques (θk), soit pendant une durée au cours de laquelle l'onde de vibration tourne en continu selon un angle électrique (θ(t)) variant en fonction du temps; C déterminer les amplitudes des fonctions en cos(iθ) et en sin(iθ); puis D déterminer l'écart de raideur ΔΚ ou la quadrature Kxy, à partir desdites amplitudes.

8. 发明申请

WO2019010246A1 DRIVE AND SENSE BALANCED, SEMI-COUPLED 3-AXIS GYROSCOPE 审中-公开
公开(公告)号：WO2019010246A1
公开(公告)日：2019-01-10
申请号：PCT/US2018/040822
申请日：2018-07-03
申请人： INVENSENSE, INC.
发明人： SENKAL, Doruk , HENNESSY, Robert , JOHARI-GALLE, Houri , SEEGER, Joseph
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5755 , G01C19/5747
摘要： In a first aspect, the angular rate sensor comprises a substrate and a rotating structure anchored to the substrate. The angular rate sensor also includes a drive mass anchored to the substrate and an element coupling the drive mass and the rotating structure. The angular rate sensor further includes an actuator for driving the drive mass into oscillation along a first axis in plane to the substrate and for driving the rotating structure into rotational oscillation around a second axis normal to the substrate; and a transducer to sense the motion of the rotating structure in response to a Coriolis force in a sense mode. In a second aspect the angular rate sensor comprises a substrate and two shear masses which are parallel to the substrate and anchored to the substrate via flexible elements. In further embodiments, a dynamically balanced 3-axis gyroscope architecture is provided.

9. 发明申请

WO2017003148A1 멤스 자이로스코프에 사용되는 멤스 링크 기구 审中-公开
标题翻译：用于MEMS陀螺仪的MEMS链路机制
公开(公告)号：WO2017003148A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：PCT/KR2016/006876
申请日：2016-06-28
申请人： 주식회사 신성씨앤티
发明人： 송기무 , 윤근중 , 강정식 , 김용국 , 한승오 , 송현주
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5769 , G01C19/5783
CPC分类号： G01C19/5747 , B81B7/02 , G01C19/5621 , G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5769 , G01C19/5783
摘要： 바닥 웨이퍼기판에 대해 평행하게 배치되는 프레임과, 상기 프레임에 가진 방향의 움직임과 외부의 각속도가 입력될 때 코리올리 힘에 의해 변위가 감지되는 센서질량체와, 상기 센서질량체의 변위를 감지하는 적어도 하나의 감지전극을 포함하는 멤스 기반의 자이로스코프에서, 상기 센서 질량체를 구성하는 선대칭 형태의 2개의 질량체 유닛의 역위상 움직임을 보장하기 위한 멤스 역위상 링크 기구가 제공된다. 이러한 멤스 역위상 링크 기구는, 움직임을 갖지 않는 중앙 앵커와 연결되는 적어도 2개의 앵커 연결부와, 상기 적어도 2개의 앵커 연결부와 연결되며 상기 멤스 역위상 링크 기구의 중심을 기준으로 서로 간에 180도 회전 대칭인 형태로 상기 2개의 질량체 유닛에 각각 연결되는 적어도 2개의 링크 아암을 포함한다.
摘要翻译：提供了一种用于补偿基于MEMS的陀螺仪的传感器质量体中的两个轴对称质量单元的反相运动的反相MEMS连杆机构，包括：相对于底部上的晶片衬底水平布置的框架; 传感器质量体，其中当在框架中输入外部角速度和激励方向的移动时，通过科里奥利力感测到相位变化; 以及用于感测传感器质量体的相位变化的至少一个感测电极。这种反相MEMS连杆机构包括：至少两个连接到不动的中心锚的锚连接部分; 以及至少两个连接臂，其连接到所述至少两个锚固连接部分，并且分别相对于所述反相MEMS连杆机构的中心以180度旋转对称的方式分别连接到所述两个质量单元。

10. 发明申请

WO2016145535A1 MULTIPLE DEGREE OF FREEDOM MEMS SENSOR CHIP AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME 审中-公开
标题翻译：多种自由度MEMS传感器芯片及其制造方法
公开(公告)号：WO2016145535A1
公开(公告)日：2016-09-22
申请号：PCT/CA2016/050303
申请日：2016-03-17
申请人： MOTION ENGINE INC.
发明人： BOYSEL, Robert Mark
IPC分类号： B81B7/02 , G01C19/574 , G01D21/02 , G01L9/00 , G01P15/08 , G01P15/18 , G01R33/028
CPC分类号： G01P15/097 , B81B7/0061 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2201/0292 , B81C1/00238 , B81C1/00309 , G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5762 , G01C19/5769 , G01D21/02 , G01L9/00 , G01L9/0045 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01R33/028 , G01R33/0286
摘要： A single Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) sensor chip is provided, for measuring multiple parameters, referred to as multiple degrees of freedom (DOF). The sensor chip comprises a central MEMS wafer bonded to a top cap wafer and a bottom cap wafer, all three wafer being electrically conductive. The sensor comprises at least two distinct sensors, each patterned in the electrically conductive MEMS wafer and in at least one of the top and bottom cap wafer. Insulated conducting pathways extend from electrical connections on the top or bottom cap wafers, through at least one of the electrically conductive top cap and bottom cap wafers, and through the electrically conductive MEMS wafer, to the sensors, for conducting electrical signals between the sensors and the electrical connections. The two or more distinct sensors are enclosed by the top and bottom cap wafers and by the outer frame of MEMS wafer.
摘要翻译：提供单个微机电系统（MEMS）传感器芯片，用于测量称为多自由度（DOF）的多个参数。传感器芯片包括结合到顶盖晶片和底盖晶片的中心MEMS晶片，所有三个晶片都是导电的。传感器包括至少两个不同的传感器，每个传感器在导电MEMS晶片和顶盖和底盖晶片中的至少一个中被图案化。绝缘导电通道从顶盖或底盖晶片上的电连接延伸穿过导电顶盖和底盖晶片中的至少一个，并通过导电MEMS晶片延伸到传感器，用于传导传感器与传感器之间的电信号电气连接。两个或更多个不同的传感器被顶盖和底盖晶片以及MEMS晶片的外框包围。

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