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1. 发明申请

WO2017194417A1 SENSOR ASSEMBLY AND ARRANGEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING A SENSOR ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：传感器组件和安排以及制造传感器组件的方法
公开(公告)号：WO2017194417A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/EP2017/060810
申请日：2017-05-05
申请人： AMS AG
发明人： ETSCHMAIER, Harald , SINGULANI, Anderson
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B3/0021 , B81B7/0058 , B81B2201/02 , B81B2201/0264 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , B81B2203/051
摘要： A sensor assembly for being mounted on a circuit board (CB) comprises an interposer (I) with at least one opening (01, 02, 03, 04) extending between a first and a second main surface (MS1, MS2) of the interposer (I). The interposer (I) comprises at least two stress decoupling elements, each comprising a flexible structure (F1, F2, F3, F4) formed by a respective portion of the interposer (I) being partially enclosed by one of the at least one opening (01, 02, 03, 04). A sensor die (S) is connected to the flexible structures (F1, F2, F3, F4) on the first main surface (MS1). At least two board connection elements (SB) are arranged on the first main surface (MSI) and adapted for connecting the assembly to the circuit board (CB).
摘要翻译：一种用于安装在电路板（CB）上的传感器组件，包括具有至少一个开口（01,02,03,04）的插入件（I），所述开口在第一和第二主表面（I）的中继器（MS1，MS2）。插入件（I）包括至少两个应力解耦元件，每个应力解耦元件包括由插入件（I）的相应部分形成的柔性结构（F1，F2，F3，F4），该柔性结构由至少一个开口 01,02,03,04）。传感器管芯（S）连接到第一主表面（MS1）上的柔性结构（F1，F2，F3，F4）。至少两个板连接元件（SB）布置在第一主表面（MSI）上并且适于将组件连接到电路板（CB）。

2. 发明申请

WO2003076878A1 MEMBRANSENSOR MIT EINER VERSTÄRKUNGSSCHICHT IM RANDBEREICH DER MEMBRAN 审中-公开
标题翻译：在芦苇边境地区加强层干簧管传感器
公开(公告)号：WO2003076878A1
公开(公告)日：2003-09-18
申请号：PCT/DE2003/000593
申请日：2003-02-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WAGNER, Ulrich , SCHINK, Rainer , BERNHARD, Winfried , FUERTSCH, Matthias , MUELLER-FIEDLER, Roland
发明人： WAGNER, Ulrich , SCHINK, Rainer , BERNHARD, Winfried , FUERTSCH, Matthias , MUELLER-FIEDLER, Roland
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： B81B3/0075 , B81B2201/02 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , G01F1/6845
摘要： Es wird ein Membransensor mit einer Einfassung der Membran (2) in einer Halterung (1) am Sensorgehäuse vorgeschlagen, bei dem die Einfassung aus einer zusätzlichen Schicht (3;5;6;7) besteht, die auf der Seite der Membran (2), die dem zu sensierenden Medium ausgesetzt ist, entlang der Kante auf die Membran (2) heraufreicht und zumindest teilweise die feste Oberfläche der angrenzenden Halterung (1) bedeckt. Die Schicht (3;5;6;7) weist vorzugsweise eine Dicke auf, die nahezu keinen Einfluss auf die Strömung des mit einem Luftmassen- oder Luftgütesensor zu sensierenden Mediums hat. Die zusätzliche Schicht (3;5;6;7) kann aus einem in Dünnschicht- oder in Dickschichttechnik strukturierbarem Material gebildet sein.
摘要翻译：因此建议在传感器外壳上，在支架（1）具有振动板（2）的轮辋上的隔膜传感器，其中附加层的外壳（3; 5; 6; 7），其在膜的侧面（2）其被暴露于介质要被感测，沿着膜片的（2）向上延伸并且至少部分地在相邻的支承体的固体表面（1）覆盖的边缘。层（3; 5; 6; 7）优选具有的厚度为具有与气流或空气质量传感器的流动几乎没有影响要被感测介质。附加层（3; 5; 6; 7）可在薄膜或厚膜技术材料的可成像的形成。

3. 发明申请

WO2017055806A1 GAS SENSOR WITH A GAS PERMEABLE REGION 审中-公开
标题翻译：气体传感器与气体渗透区域
公开(公告)号：WO2017055806A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/GB2016/052921
申请日：2016-09-19
申请人： CAMBRIDGE CMOS SENSORS LIMITED
发明人： ALI, Syed Zeeshan , GOVETT, Matthew , STACEY, Simon Jonathan
IPC分类号： G01N27/414 , G01N27/12 , G01N27/22
CPC分类号： G01N27/128 , B81B2201/02 , G01N27/22 , G01N27/414
摘要： Disclosed herein is a gas sensing device comprising a dielectric membrane formed on a semiconductor substrate comprising a bulk-etched cavity portion, a heater located within or over the dielectric membrane, a material for sensing a gas which is located on one side of the membrane, a support structure located near the material, and a gas permeable region coupled to the support structure so as to protect the material.
摘要翻译：本文公开了一种气体感测装置，其包括形成在半导体衬底上的电介质膜，该电介质膜包括体蚀刻的空腔部分，位于电介质膜内或之上的加热器，用于感测位于膜的一侧上的气体的材料，位于材料附近的支撑结构，以及连接到支撑结构以便保护材料的气体可渗透区域。

4. 发明申请

WO2010061229A1 ELECTRODE ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：电极组件
公开(公告)号：WO2010061229A1
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：PCT/GB2009/051619
申请日：2009-11-30
申请人： NANOFLEX LIMITED , THE UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF EDINBURGH , FREEMAN, Neville John , MOUNT, Andrew Raymond , WALTON, Anthony John , TERRY, Jonathan Gordon
发明人： FREEMAN, Neville John , MOUNT, Andrew Raymond , WALTON, Anthony John , TERRY, Jonathan Gordon
IPC分类号： G01N27/30
CPC分类号： G01N27/307 , B81B2201/02 , B81B2203/04 , C25B11/02
摘要： The present invention relates to an electrode assembly having a laminate structure comprising: a first insulating capping layer; a first conducting layer capped by the first insulating capping layer and substantially sandwiched by at least the first insulating capping layer such as to leave exposed only an electrical contact lip of the first conducting layer; and an array of etched voids extending through at least the first insulating capping layer and the first conducting layer, wherein each void is partly bound by a surface of the first conducting layer which acts as an internal submicron electrode.
摘要翻译：本发明涉及一种具有叠层结构的电极组件，包括：第一绝缘覆盖层; 第一导电层被第一绝缘覆盖层覆盖，并且至少基本上被第一绝缘覆盖层夹持，以便仅露出第一导电层的电接触唇; 以及延伸穿过至少第一绝缘覆盖层和第一导电层的蚀刻空隙的阵列，其中每个空隙部分地由作为内部亚微米电极的第一导电层的表面结合。

5. 发明申请

WO2016120268A1 ADAPTER MIT EINGEBETTETEN FILTERBAUELEMENTEN FÜR SENSOREN 审中-公开
标题翻译：随着嵌入式滤波元件用于传感器适配器
公开(公告)号：WO2016120268A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/EP2016/051571
申请日：2016-01-26
申请人： CONTINENTAL TEVES AG & CO. OHG
发明人： RAUKOPF, Svenja , SCHILLINGER, Jakob , SCHULMEISTER, Michael
IPC分类号： G01D11/24
CPC分类号： G01D11/245 , B81B2201/02 , G01P1/026 , H01R13/6658 , H01R13/6683 , H01R43/16 , H01R43/24
摘要： Die Erfindung betrifft ein Bauteil (65) für einen Sensor (28) mit einem Sensorelement (35) und einer Ausgangsschnittstelle (67) zum Ausgeben eines von einer physikalischen Größe (20) abhängigen elektrischen Signals aus dem Sensorelement (35) an der Ausgangsschnittstelle (67), umfassend: - eine Schaltung mit wenigstens einem ersten Signalpfad (70) zum Empfangen des elektrischen Signals (42) vom Sensorelement (35) und zum Leiten des elektrischen Signals (42) an die Ausgangsschnittstelle (67) und einen vom ersten Signalpfad (70) verschiedenen zweiten Signalpfad (70) zum Leiten des elektrischen Signals (42) an die Ausgangsschnittstelle (67), - wobei eine Aktivität des ersten Signalpfades (70) oder des zweiten Signalpfades (70) von einer Lage des Bauteils (65) in dem Sensor (28) abhängig ist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于传感器（28）与传感器元件（35）和输出接口（67）的组件（65），用于输出的物理量中的一个（20）取决于从所述输出接口在所述传感器元件（35）的电信号（67 ），包括： - 至少包括用于从传感器元件（35）接收所述电信号（42）和用于从所述第一信号路径70传导的电信号（42）到输出接口（67）和一个（第一信号路径（70）的电路用于传导所述电信号（42）到输出接口（67），）不同的第二信号路径（70） - ，其中所述第一信号路径（70）或从所述部件（65）中的传感器的位置处的第二信号路径（70）的活性（28）依赖。

6. 发明申请

WO2016092475A1 MICRO ELECTRO-MECHANICAL STRAIN DISPLACEMENT SENSOR AND USAGE MONITORING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：微机电应变传感器和使用监测系统
公开(公告)号：WO2016092475A1
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：PCT/IB2015/059451
申请日：2015-12-09
申请人： OKULOV, Paul D.
发明人： OKULOV, Paul D.
IPC分类号： B81B7/00 , G01L1/00
CPC分类号： G01L1/005 , B81B7/00 , B81B2201/02 , G01L1/00 , G01L1/04 , G01L1/044 , G01M5/0033 , G01M5/0083
摘要： A low power consumption multi-contact micro electro-mechanical strain/displacement sensor and miniature autonomous self-contained systems for recording of stress and usage history with direct output suitable for fatigue and load spectrum analysis are provided. In aerospace applications the system can assist in prediction of fatigue of a component subject to mechanical stresses as well as in harmonizing maintenance and overhauls intervals. In alternative applications, i.e. civil structures, general machinery, marine and submarine vessels, etc., the system can autonomously record strain history, strain spectrum or maximum values of the strain over a prolonged period of time using an internal power supply or a power supply combined with an energy harvesting device. The sensor is based on MEMS technology and incorporates a micro array of flexible micro or nano-size cantilevers. The system can have extremely low power consumption while maintaining precision and temperature/humidify independence.
摘要翻译：提供了一种低功耗多接点微机电应变/位移传感器和用于记录应力和使用历史的微型自主独立系统，其直接输出适用于疲劳和负载频谱分析。在航空应用中，系统可以帮助预测受到机械应力的部件的疲劳以及协调维护和检修间隔。在民用结构，通用机械，海洋和潜艇等替代应用中，系统可以使用内部电源或电源自动记录应变历史，应变谱或长期应变的最大值结合能量收集装置。该传感器基于MEMS技术，并结合了微阵列的柔性微型或纳米级悬臂。该系统可以具有极低的功耗，同时保持精度和温度/加湿独立性。

7. 发明申请

WO2013191618A1 PRECISE DEFINITION OF TRANSDUCER ELECTRODES 审中-公开
标题翻译：传感器电极精密定义
公开(公告)号：WO2013191618A1
公开(公告)日：2013-12-27
申请号：PCT/SE2013/050678
申请日：2013-06-12
申请人： SILEX MICROSYSTEMS AB
发明人： ÅGREN, Peter
IPC分类号： B81B7/02 , B81B5/00 , G02B26/08 , H01L21/30 , H01L21/768 , H01L23/522
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0021 , B81B3/0045 , B81B2201/02 , B81B2201/03 , B81B2203/04 , B81C1/00357 , B81C1/00619 , G01D5/24 , G02B26/085 , H01L23/481 , H01L23/5225 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The present invention relates to a semiconductor device, comprising a semiconductor substrate (10) having a first (12a) and a second (12b) side. There is provided at least one via (15) extending through said substrate (10) having first (16a) and second (16b) end surfaces, said first end surface (16a) constituting an transducer electrode for interacting with a movable element (14) arranged at the first side (12a) of the substrate (10). A shield (17) is provided on and covers at least part of the first side (12a) of the substrate (10), the shield/mask (17) comprising a conductive layer (19a) and an insulating material layer (19b) provided between the substrate (10) and the conductive layer (19a). The mask has an opening (18) exposing only a part of the first surface (16a) of the via. Preferably the opening (18) in the mask is precisely aligned with the movable element, and the area of the opening is accurately defined.
摘要翻译：本发明涉及一种半导体器件，包括具有第一（12a）和第二（12b）侧的半导体衬底（10）。提供至少一个延伸穿过具有第一（16a）和第二（16b）端面的所述基板（10）的通孔（15），所述第一端面（16a）构成用于与可移动元件（14）相互作用的换能器电极，布置在基板（10）的第一侧（12a）处。在衬底（10）的第一侧（12a）的至少一部分上设置有屏蔽（17），所述屏蔽/掩模（17）包括导电层（19a）和绝缘材料层（19b）在所述基板（10）和所述导电层（19a）之间。掩模具有仅露出通孔的第一表面（16a）的一部分的开口（18）。优选地，掩模中的开口（18）与可移动元件精确对准，并且开口的区域被精确地限定。

8. 发明申请

WO2016090467A1 3D MEMS MAGNETOMETER AND ASSOCIATED METHODS 审中-公开
标题翻译： 3D MEMS磁铁计及相关方法
公开(公告)号：WO2016090467A1
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：PCT/CA2015/051259
申请日：2015-12-02
申请人： MOTION ENGINE INC.
发明人： BOYSEL, Robert Mark
IPC分类号： G01R33/02
CPC分类号： G01R33/0286 , B81B2201/02 , G01R33/0206
摘要： A micro-electro-mechanical system (MEMS) magnetometer is provided for measuring magnetic field components along three orthogonal axes. The MEMS magnetometer includes a top cap wafer, a bottom cap wafer and a MEMS wafer having opposed top and bottom sides bonded respectively to the top and bottom cap wafers. The MEMS wafer includes a frame structure and current-carrying first, second and third magnetic field transducers. The top cap, bottom cap and MEMS wafer are electrically conductive and stacked along the third axis. The top cap wafer, bottom cap wafer and frame structure together form one or more cavities enclosing the magnetic field transducers. The MEMS magnetometer further includes first, second and third electrode assemblies, the first and second electrode assemblies being formed in the top and/or bottom cap wafers. Each electrode assembly is configured to sense an output of a respective magnetic field transducer induced by a respective magnetic field component.
摘要翻译：提供微机电系统（MEMS）磁力计，用于沿三个正交轴测量磁场分量。 MEMS磁力计包括顶盖晶片，底盖晶片和具有分别结合到顶盖和底盖晶片的相对的顶面和底面的MEMS晶片。 MEMS晶片包括框架结构和载流的第一，第二和第三磁场换能器。顶盖，底盖和MEMS晶片是导电的并且沿着第三轴线堆叠。顶盖晶片，底盖晶片和框架结构一起形成包围磁场换能器的一个或多个空腔。 MEMS磁强计进一步包括第一和第三电极组件，第一和第二电极组件形成在顶盖和/或底盖晶片中。每个电极组件被配置为感测由相应的磁场分量感应的相应磁场换能器的输出。

9. 发明申请

WO2015189288A1 MEMS DEVICE CALIBRATION 审中-公开
标题翻译： MEMS器件校准
公开(公告)号：WO2015189288A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：PCT/EP2015/062967
申请日：2015-06-10
申请人： AMS INTERNATIONAL AG
发明人： GOOSSENS, Martijn , BESLING, Willem , STEENEKEN, Peter , VAN DER AVOORT, Casper , PIJNENBURG, Remco
IPC分类号： G01L27/00 , G01P21/00 , B81C99/00
CPC分类号： G01L27/005 , B81B2201/02 , B81B2201/0264 , B81B2207/11 , B81C99/0035 , G01L19/04 , G01L27/002
摘要： One example discloses a MEMS device, including: a cavity having an internal environment; a seal isolating the internal environment from an external environment outside the MEMS device; wherein the seal is susceptible to damage in response to a calibration unsealing energy; wherein upon damage to the seal, a pathway forms which couples the internal environment to the external environment; and a calibration circuit capable of measuring the internal environment before and after damage to the seal.
摘要翻译：一个实例公开了一种MEMS器件，包括：具有内部环境的腔; 将内部环境与MEMS器件外部的外部环境隔离的密封件; 其中所述密封件响应于校准开封能量而易受损坏; 其中在损坏密封件时，形成将内部环境耦合到外部环境的通路; 以及能够测量密封件损坏前后的内部环境的校准电路。

10. 发明申请

WO2014178163A1 センサデバイス及び電子機器审中-公开
标题翻译：传感器和电子设备
公开(公告)号：WO2014178163A1
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：PCT/JP2014/001614
申请日：2014-03-20
申请人：ソニー株式会社
发明人：椛澤　秀年 , 尾崎　裕司 , 高橋　和夫 , 三谷　諭司
IPC分类号： G01C19/5783 , G01C19/56 , G01L9/12 , G01P15/08 , G01P15/14 , H01L27/144 , H01L29/84 , H01L41/113
CPC分类号： H01L41/1132 , B81B7/008 , B81B2201/02 , B81B2207/012 , B81C1/00238 , G01C19/5769 , G01C19/5783 , G01L9/0073 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L25/162 , H01L41/0474 , H01L41/0533 , H01L41/113 , H01L41/1138 , H01L2224/16225
摘要：（課題）小型化及び低コスト化を実現することが可能なセンサデバイス及び電子機器を提供する。（解決手段）本技術の一形態に係るセンサデバイスは、センサ素子と、半導体素子とを具備する。　上記半導体素子は、第１の面と、第２の面と、ビアとを有する。　上記第１の面は、上記センサ素子が実装される第１の端子を有し非能動面である。　上記第２の面は、外部接続用の第２の端子を有し能動面である。　上記ビアは、上記第１の面と上記第２の面とを電気的に接続する。
摘要翻译： [问题]提供能够实现更小尺寸和更低成本的传感器装置和电子装置。 [解决方案]根据本发明的实施例的传感器装置设置有传感器元件和半导体元件。半导体元件具有第一表面，第二表面和通孔。第一表面是具有安装传感器元件的第一端子的非活性表面。第二表面是具有用于外部连接的第二端子的有源表面。通孔将第一表面和第二表面电连接在一起。

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