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    • 1. 发明申请
    • CONTACT LITHOGRAPHY APPARATUS, SYSTEM AND METHOD
    • 接触光刻设备,系统和方法
    • WO2008048491A3
    • 2008-06-05
    • PCT/US2007021813
    • 2007-10-12
    • HEWLETT PACKARD DEVELOPMENT COWU WEIWANG SHIH-YUANLI ZHIYONGWALMSLEY ROBERT
    • WU WEIWANG SHIH-YUANLI ZHIYONGWALMSLEY ROBERT
    • G03F7/00G03F7/20
    • G03F7/0002B82Y10/00B82Y40/00G03F7/7035
    • A contact lithography system (100, 200) includes a patterning tool (110, 228a, 510) bearing a pattern (112); a substrate chuck (214) for chucking a substrate (130, 228b) to receive the pattern (112) from the patterning tool (110, 228a, 510); where the system (100, 200) deflects a portion of either the patterning tool (110, 228a, 510) or the substrate (130, 228b) to bring the patterning tool (110, 228a, 510) and a portion of the substrate (130, 228b) into contact; and a stepper (260) for repositioning either or both of the patterning tool (110, 228a, 510) and substrate (130, 228b) to align the pattern (112) with an additional portion of the substrate (130, 228b) to also receive the pattern (112). A method of performing contact lithography comprising: deflecting a portion of either a patterning tool (110, 228a, 510) or a substrate (130, 228b) to bring the patterning tool (110, 228a, 510) and a portion of the substrate (130, 228b) into contact; and repositioning either or both of the patterning tool (110, 228a, 510) and substrate (130, 228b) to align a pattern (112) on the patterning tool (110, 228a, 510) with an additional portion of the substrate (130, 228b) to also receive the pattern (112).
    • 一种接触光刻系统(100,200)包括承载图案(112)的图案化工具(110,228a,510); 衬底卡盘(214),其用于夹持衬底(130,228b)以从图案化工具(110,228a,510)接收图案(112); 其中系统(100,200)使图案化工具(110,228a,510)或衬底(130,228b)的一部分偏转以使图案化工具(110,228a,510)和部分衬底 130,228b)接触; 和步进器(260),其用于重新定位图案形成工具(110,228a,510)和衬底(130,228b)中的任一个或两者以使图案(112)与衬底(130,228b)的另外部分对准 接收模式(112)。 一种执行接触光刻的方法,包括:使图案化工具(110,228a,510)或衬底(130,228b)的一部分偏转,以使图案化工具(110,228a,510)和衬底的一部分 130,228b)接触; 以及重新定位图案化工具(110,228a,510)和衬底(130,228b)中的任一者或两者以使图案形成工具(110,228a,510)上的图案(112)与衬底(130,228b)的另外部分 ,228b)也接收图案(112)。