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1. 发明申请

WO2009138637A1 STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS 审中-公开
标题翻译：用于测量用于运输半导体基板的外壳的污染的站和方法
公开(公告)号：WO2009138637A1
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：PCT/FR2009/050713
申请日：2009-04-16
申请人： ALCATEL LUCENT , FAVRE, Arnaud , GODOT, Erwan , BELLET, Bertrand
发明人： FAVRE, Arnaud , GODOT, Erwan , BELLET, Bertrand
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67017 , H01L21/67389
摘要： L'invention concerne une station de mesure de la contamination tin particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi- conducteurs, ladite enceinte comprenant une enveloppe obrurable par une porte d'accès amovible, ladite station comportant : une interface (5) susceptible de ^accoupler à une enveloppe d'une enceinte de transport: (3), à la place de ladite porte, l´interface (5) comportant au moins une buse d'injection (9) disposée à un Extrémité mobile d'un tuyau saillant de ladite interface pour diriger un jet de gaz dam une direction perpendiculaire à une portion de paroi (13) à l'intérieur (10) de ladite enveloppe accouplée à ladite station de mesure, de manière â détacher des particules (1 1) de ladite enveloppe (3) par l'impact du jet de gaz sur ladite paroi (13) et, un dispositif de mesure (7) comportant une pompe à vide (17), un compteur de particules (19) et une canalisation de mesure (21) dont une entrée (23) débouche â l´intérieur (10) de ladite enveloppe (3) et dont une sortie (25) est raccordée à la pompe à vide (17), la canalisation de mesure (21) étant en outre raccordée au compteur de particules (19), pour mettre, en communication l'intérieur (10) de l'enveloppe de lénceinteαπte de transport (3) accouplée à ladite section de mesure avec Ie compteur de particules (19). L'invention concerne également un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage en Je stockage atmosphérique de substrats semi- conducteurs.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量用于大气存储和运输半导体衬底的运输箱的颗粒的污染物的站，所述外壳包括可由可拆卸的检修门封闭的外壳，所述站包括：接口（5），其可以联接到运输外壳的外壳;（3）代替所述门，所述接口（5）包括至少一个注射喷嘴（9），所述喷嘴位于软管突出的软管的移动端从所述界面引导气体喷射方向，该方向垂直于耦合到所述测量站的所述壳体的内壁（10）上的壁部分（13）的方向，从而将颗粒（11）从所述壳体（3）通过撞击所述壁（13）的气体射流;以及测量装置（7），包括真空泵（17），颗粒计（19）和测量管（21），一个入口（23）向所述内部（10）开口壳体（3）和一个出口（25）连接到真空泵（17），测量管（21）还连接到颗粒计（19），以便将壳体（10）放置在壳体（3），其与所述测量部分联接，与所述颗粒计（19）连通。本发明还涉及用于测量用于大气存储和运输半导体衬底的运输箱的颗粒污染的方法。

2. 发明申请

WO2010142792A1 DISPOSITIF ET PROCEDE D'ANALYSE DE GAZ, ET STATION DE MESURE ASSOCIEE 审中-公开
标题翻译：用于分析气体和相关测量站的装置和方法
公开(公告)号：WO2010142792A1
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：PCT/EP2010/058251
申请日：2010-06-11
申请人： ALCATEL LUCENT , FAVRE, Arnaud , GODOT, Erwan , BELLET, Bertrand
发明人： FAVRE, Arnaud , GODOT, Erwan , BELLET, Bertrand
IPC分类号： G01N33/00
CPC分类号： G01N33/0018
摘要： L'invention concerne une station de mesure de la contamination gazeuse d'une enceinte de transport de substrats semi-conducteurs comportant un dispositif d'analyse de gaz pour déterminer la concentration du gaz à analyser, ledit dispositif d'analyse comprenant : - une unité de dilution (3) configurée pour diluer un flux de gaz à analyser (Q) selon un coefficient de dilution (D), et - une unité d'analyse (5) communiquant avec l'unité de dilution (3) via une canalisation de prélèvement (7) pour prélever par pompage un flux de gaz dilué (Qa), et comportant au moins un moyen de traitement pour : • analyser le flux de gaz dilué prélevé (Qa), et • déterminer la concentration (C) du flux de gaz à analyser (Q) à partir dudit flux de gaz dilué analysé (Qa) et du coefficient de dilution (D). L'invention concerne encore un procédé d'analyse de gaz associé.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量半导体衬底的运输箱体中的气体污染物的站，包括用于确定待分析气体浓度的气体分析装置，所述分析装置包括：稀释单元（3），其被配置为稀释根据稀释系数（D）分析的气体（Q）和通过取样管（7）与稀释单元（3）连通的分析单元（5），以便对稀释气体（Qa）进行采样，并且包括至少一个处理装置，用于分析稀释气体的采样流量（Qa），并根据所分析的稀释气体流量（Qa）确定要分析的气体流量（Q）的浓度（℃））和稀释系数（D）。本发明还涉及一种相关联的气体分析方法。

3. 发明申请

WO2009021941A1 PROCEDE DE TRAITEMENT D'UN SUPPORT DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS, ET STATION DE TRAITEMENT POUR LA MISE EN ŒUVRE D'UN TEL PROCEDE 审中-公开
标题翻译：处理大气储存和半导体基板输送的运输支持方法以及实施这种方法的处理站
公开(公告)号：WO2009021941A1
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：PCT/EP2008/060548
申请日：2008-08-11
申请人： ALCATEL LUCENT , GODOT, Erwan , THOLLOT, Rémi , FAVRE, Arnaud
发明人： GODOT, Erwan , THOLLOT, Rémi , FAVRE, Arnaud
IPC分类号： F26B5/04 , F26B3/30 , H01L21/00
CPC分类号： F26B5/04 , F26B5/00 , F26B5/048 , F26B25/225 , H01L21/67017 , H01L21/67028 , H01L21/67034 , H01L21/6735 , H01L21/67389 , H01L21/67769
摘要： L'invention a pour objet un procédé de traitement d'un support de transport (1) pour le convoyage et le stockage de substrats semi-conducteurs, ledit support (1) pouvant avoir subi au préalable un nettoyage par un liquide. Le procédé comporte une étape de traitement dans laquelle on place le support de transport (1) dans une chambre étanche (4) raccordée à une pompe à vide (5) et on soumet ledit support de transport (1) à l'action combinée d'une pression subatmosphérique et d'un rayonnement infrarouge pour favoriser l'élimination des corps étrangers sur les parois du support de transport (1). L'invention concerne également une station de traitement d'un support de transport (1) pour la mise en œuvre du procédé.
摘要翻译：本发明的主题是一种处理用于输送和储存半导体衬底的运输支撑件（1）的方法，所述支撑件（1）可能首先经过使用液体的清洁操作。该方法包括处理步骤，其中输送支撑件（1）放置在连接到真空泵（5）的密封室（4）中，并且所述运输支撑件（1）经受低于大气压和红外线的组合作用辐射以促进在运输支架（1）的壁上移除异物。本发明还涉及一种用于处理用于实施该方法的运输支撑件（1）的工位。

4. 发明申请

WO2012000950A1 DISPOSITIF DE TRAITEMENT POUR BOITES DE TRANSPORT ET DE STOCKAGE 审中-公开
标题翻译：运输和储存箱的处理装置
公开(公告)号：WO2012000950A1
公开(公告)日：2012-01-05
申请号：PCT/EP2011/060749
申请日：2011-06-27
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS , RIOUFRAYS, Sylvain , GODOT, Erwan , FAVRE, Arnaud
发明人： RIOUFRAYS, Sylvain , GODOT, Erwan , FAVRE, Arnaud
IPC分类号： B65G1/04 , C23F1/02 , F24F3/16
CPC分类号： B08B5/04 , B08B9/0821 , B08B9/44 , H01L21/67389 , H01L21/6773
摘要： Un dispositif de traitement pour boîtes de transport et de stockage selon l'invention comprend une pluralité de modules de dépollution (24-27) supportés par un châssis commun (100) et disposés selon une rangée d'au moins une colonne (23c) de modules superposés les uns au-dessus des autres. Chaque module de dépollution (24-27) comprend ses propres moyens de pompage (8) ayant au moins une pompe primaire (8a) logée dans un compartiment de pompage primaire (8c) décalé longitudinalement par rapport à la chambre de dépollution (5). L'accès aux modules de dépollution (24-27) se fait par des portes d'accès latérales qui sont toutes orientées selon un même côté d'accès et qui sont sollicitées par des moyens d'actionnement assurant leurs fermeture et ouverture automatiques. Une zone latérale de transfert est prévue selon le côté d'accès, et comprend un robot (29) apte à déplacer les boîtes de transport et de stockage entre un poste frontal de chargement-déchargement (23a) et les chambres de dépollution (5) de chacun des modules de dépollution (24-27). On optimise ainsi l'encombrement et le débit du dispositif de traitement (23).
摘要翻译：根据本发明的用于运输和储存箱的处理装置包括多个净化模块（24-27），其安装在公共底盘（100）上，并且排列成一列至少一个堆叠在一起的模块（23c）的另一个。每个净化模块（24-27）包括其自己的泵送装置（8），其具有容纳在相对于净化室（5）纵向偏移的主泵室（8c）中的至少一个主泵。进入去污模块（24-27）的侧面通道门都是通过侧面检修门进行的，这些门都位于同一入口侧，并通过自动关闭和打开它们的致动装置作用。横向转移区设置在进入侧，并且包括能够将运输和存放箱移动到正面装卸站（23a）和每个去污模块的去污室（5）之间的机器人（29） 24-27）。因此优化了处理装置（23）占据的空间量和生产量。

5. 发明申请

WO2010003927A1 APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING SEMICONDUCTOR WAFERS 审中-公开
标题翻译：装载和卸载半导体波形的装置
公开(公告)号：WO2010003927A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：PCT/EP2009/058527
申请日：2009-07-06
申请人： ALCATEL LUCENT , GODOT, Erwan , VERAN, Emmanuelle
发明人： GODOT, Erwan , VERAN, Emmanuelle
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67201
摘要： The goal of the present invention is to provide an apparatus capable of cooperation with at least one piece of wafer processing equipment, comprising leak proof walls comprising a first opening comprising means for the connection to a first equipment chosen from between a transfer chamber and a processing chamber, a second opening comprising means of connection to a wafer transport case containing a basket, comprising a series of stacked parallel trays suitable for storing a wafer each, the basket being susceptible of being transported inside the apparatus, means of moving the basket from and to the transport case, and means for immobilizing the trays. The apparatus further comprises a third opening comprising means for the connection to a second piece of equipment chosen from between an EFEM module and a transfer chamber, and means for the placement and support of a wafer capable of working together wiih movement means for the wafer enabling its passage through the second opening and/or the third opening.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种能够与至少一片晶片处理设备配合的装置，包括防漏壁，其包括第一开口，其包括用于连接到第一设备的装置，所述第一设备选自传送室和处理室，第二开口，包括连接到包含篮子的晶片运输箱的装置，包括适合于存储每个晶片的一系列堆叠的平行托盘，所述篮子易于在设备内运输，到运输箱，以及用于固定托盘的装置。该装置还包括第三开口，包括用于连接到从EFEM模块和传送室之间选择的第二件设备的装置，以及用于放置和支撑能够一起工作的晶片的装置，其通过第二开口和/或第三开口。

6. 发明申请

WO2008135377A1 INTERFACE D'ENCEINTE DE TRANSPORT 审中-公开
标题翻译：运输POD接口
公开(公告)号：WO2008135377A1
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：PCT/EP2008/054824
申请日：2008-04-21
申请人： ALCATEL LUCENT , GODOT, Erwan
发明人： GODOT, Erwan
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67253 , H01L21/67389
摘要： L'invention concerne une interface (6) d'enceinte de transport (1) comportant une sonde de prélèvement (15) destinée à être reliée à un analyseur de gaz et un actionneur (7) susceptible de s'accoupler à une porte d'accès (5) d'enceinte de transport (1 ) dans une position d'accouplement et susceptible de déplacer ladite porte (5) vers une base (14) de l'interface (6) dans une position de retrait dans laquelle le volume de gaz à analyser contenu dans l'enceinte de transport (1) est accessible par la sonde de prélèvement (15), caractérisée en ce qu'elle comporte au moins un joint d'étanchéité (31) agencé de manière à assurer au moins dans la position de retrait, une étanchéité entre l'actionneur (7) et ladite base (14) de façon à isoler le volume de gaz à analyser.
摘要翻译：本发明涉及一种包括用于连接到气体分析器的采样探针（15）和可连接到门（5）的致动器（7）的运输舱（1）接口（6），该致动器（7）提供对运输（1）处于联接位置并且能够将门（5）朝向接口（6）的基部（14）移动到缩回位置，在缩回位置中，包含在运输箱（1）中待分析的气体体积），可由采样探头（15）访问。本发明的特征在于，界面包括至少一个密封件（31），其被布置成至少在缩回位置中在致动器（7）和基座（14）之间提供密封，以便隔离气体的体积待分析。

7. 发明申请

WO2007141447A1 DISPOSITIF DE TRANSPORT, DE STOCKAGE ET DE TRANSFERT DE SUBSTRATS 审中-公开
标题翻译：基板的运输，储存和转运设备
公开(公告)号：WO2007141447A1
公开(公告)日：2007-12-13
申请号：PCT/FR2007/051363
申请日：2007-05-31
申请人： ALCATEL LUCENT , SYLVESTRE, Raphaël , GODOT, Erwan , SOGAN, Gloria
发明人： SYLVESTRE, Raphaël , GODOT, Erwan , SOGAN, Gloria
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67383 , H01L21/67778
摘要： Selon l'invention, une boîte de transport (1) peut être accouplée à une interface (2), et contient un panier (3) dans lequel peuvent être rangés des substrats (4), Le panier (3) est constitué d'une série de plateaux (3a-3f) empilés les uns à la suite des autres et déplaçables à l'écart les uns des autres. Le panier (3) est déplacé en bloc vers l'intérieur de l'interface (2), puis des moyens de déplacement isolent un plateau choisi en écartant les plateaux adjacents, permettant au robot (5) de venir prélever le substrat choisi. En position de transport les plateaux (3a-3f) sont au contact les uns des autres, réduisant ainsi le volume occupé par les substrats (4).
摘要翻译：根据本发明，运输箱（1）可以连接到接口（2），并且容纳可以放置基板（4）的篮（3）。篮子（3）由一组板（3a-3f）组成，一个接一个堆叠并可单独更换。篮子（3）完全移动到接口（2）的内部，然后通过移动相邻的板来移动所选择的板的移动装置，从而允许机器人（5）进入和提取所选择的基板。当处于运送位置时，板（3a-3f）彼此接触，因此减少了由基板（4）吸收的空间量。

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